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    • G01K7/16G01K1/08
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    • 근위단부와원위단부를갖는단일본체를갖는하우징을포함하는센서어셈블리가마련된다. 원위단부는개방되어있고, 외부환경에노출되는내부공동부를형성하고, 근위단부는내부공동부안으로연장및 개방되어있는복수의내부통로를형성한다. 박막저항온도장치(RTD) 또는다른마이크로센서가내부공동부내에배치되며, 박막 RTD는복수의리드와이어를가지며, 이들리드와이어는복수의내부통로를통과해연장되어있고, 박막 RTD는내부공동부의적어도하나의벽과접촉한다. 박막 RTD와리드와이어는, 하우징및 박막 RTD 기판의열팽창계수와부합하는열팽창계수를갖는열 접착제에의해하우징내에고정된다.
    • 提供了一种传感器组件,该传感器组件包括具有单体的外壳,该单体具有近端和远端。 远端是敞开的并且形成暴露于外部环境的内腔,并且近端形成多个延伸并通向内腔的内部通道。 一种薄膜电阻温度装置(RTD)或其它微传感器在腔内设置的部分,所述薄膜RTD具有多个引线,并且这些引线,并延伸穿过多个内部通道,薄膜RTD具有内部空腔 并联系至少一个墙。 薄膜RTD覆盖导线通过具有与壳体和薄膜RTD基板的热膨胀系数相匹配的热膨胀系数的热粘合剂固定在壳体内。