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1. 发明公开

KR1020090125014A 박막 증착에서 여과 및 가스/증기 혼합 장치 有权
标题翻译：过滤和气体/蒸汽混合在薄膜沉积中的装置
公开(公告)号：KR1020090125014A
公开(公告)日：2009-12-03
申请号：KR1020090047843
申请日：2009-05-29
申请人： 엠 에스피 코포레이션
发明人： 벤자민와이.에이치.리우 , 야민마 , 덕딘
IPC分类号： H01L21/22 , H01L21/02
CPC分类号： B01D46/0027 , C23C16/4402 , F22B1/28
摘要： PURPOSE: A filtering and gas/vapor mixing apparatus in thin film deposition is provided to form a thin film with uniform thickness on a wafer, by removing particles from gas/vapor mixture and improving uniformity of the gas/vapor mixture at the same time. CONSTITUTION: A first enclosure(110) comprises a first porous filter element for particle filtering. A base part(115) comprises a feed flow path(130) and a drain flow path(140) for flowing in and drawing out gas/vapor mixture in the first enclosure. The mixture forms vapor from a liquid precursor for thin film deposition. Angular relationship between orifice(150) and the feed flow path and the drain flow path is nearly normal angular relationship. An evaporation apparatus generates a heated exhaust gas/vapor mixture stream. The porous filter element is made of a stainless steel.
摘要翻译：目的：提供薄膜沉积中的过滤和气/蒸气混合装置，以在晶片上形成具有均匀厚度的薄膜，通过从气体/蒸气混合物中除去颗粒并同时改善气体/蒸汽混合物的均匀性。构成：第一外壳（110）包括用于颗粒过滤的第一多孔过滤元件。基部（115）包括用于在第一外壳中流入和抽出气体/蒸汽混合物的进料流动路径（130）和排出流动路径（140）。混合物从用于薄膜沉积的液体前体形成蒸汽。孔（150）与进料流路和排出流路之间的角度关系几乎是正常的角度关系。蒸发装置产生加热的废气/蒸汽混合物流。多孔过滤元件由不锈钢制成。

2. 发明授权

KR101626839B1 박막 증착에서 여과 및 가스/증기 혼합 장치 有权
标题翻译： /薄膜沉积过滤和气体/蒸气混合装置
公开(公告)号：KR101626839B1
公开(公告)日：2016-06-13
申请号：KR1020090047843
申请日：2009-05-29
申请人： 엠 에스피 코포레이션
发明人： 벤자민와이.에이치.리우 , 야민마 , 덕딘
IPC分类号： H01L21/22 , H01L21/02
CPC分类号： B01D46/0027 , C23C16/4402 , F22B1/28
摘要： 본발명은가스/증기혼합물로부터입자를제거하고, 동시에가스/증기혼합물의균일성을향상시켜박막증착및 반도체소자제조를위해보다균일하게혼합된혼합물스트림을생성하기위한장치에관한것이다.

3. 发明公开

KR1020160003578A 박막 증착에서 여과 및 가스/증기 혼합 장치 无效
标题翻译：过滤和气体/蒸汽混合在薄膜沉积中的装置
公开(公告)号：KR1020160003578A
公开(公告)日：2016-01-11
申请号：KR1020150173102
申请日：2015-12-07
申请人： 엠 에스피 코포레이션
发明人： 벤자민와이.에이치.리우 , 야민마 , 덕딘
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/60
CPC分类号： B01D46/0027 , C23C16/4402 , F22B1/28
摘要： 본발명은가스/증기혼합물로부터입자를제거하고, 동시에가스/증기혼합물의균일성을향상시켜박막증착및 반도체소자제조를위해보다균일하게혼합된혼합물스트림을생성하기위한장치에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种从气体/蒸汽混合物中除去颗粒并提高气体/蒸汽混合物的均匀性以产生用于薄膜沉积和半导体器件制造的更均匀混合的混合物流的装置。该装置包括：第一外壳，其包含用于颗粒过滤的第一多孔过滤元件; 以及具有用于气体/蒸汽混合物进入和离开第一外壳的入口和出口流动通道并且附接到第一外壳的基座部分。

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