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热词
    • 2. 发明公开
    • 대면적 나노스케일 패턴형성방법
    • 大面积纳米图案的制作方法
    • KR1020120067707A
    • 2012-06-26
    • KR1020100129255
    • 2010-12-16
    • 엘지이노텍 주식회사한국과학기술원
    • 이영재유경종김진수이준이용인윤준보연정호이주형이정언
    • H01L21/027
    • H01L21/0337B82Y10/00H01L21/0338Y10S438/947H01L21/0274
    • PURPOSE: A method for forming a large area nano-scale pattern is provided to uniformly produce a fine pattern by repeatedly reducing pattern pitch without distortion of shape after forming a pattern of micrometer scale. CONSTITUTION: Main thin films(140, 160) which are separated by a protective layer are formed. The protective layer is formed into a silicon nitride film or a silicon oxide film. A first main pattern(121) is formed by patterning a first main thin film. A first spacer pattern(191) is formed based on the first main pattern. A second main pattern(141) is formed by transferring the first spacer pattern to a second main thin film. A second spacer pattern is formed based on the second main pattern. A third main pattern is formed by transferring the second spacer pattern to a third main thin film.
    • 目的:提供一种形成大面积纳米尺度图案的方法,通过在形成微米尺度的图案之后,通过重复地减少图形间距而不变形,均匀地产生精细图案。 构成:形成由保护层分离的主薄膜(140,160)。 保护层形成为氮化硅膜或氧化硅膜。 第一主图案(121)通过图案化第一主薄膜而形成。 基于第一主图形形成第一间隔图案(191)。 第二主图案(141)通过将第一间隔图案转印到第二主薄膜而形成。 基于第二主图形形成第二间隔图案。 通过将第二间隔图案转印到第三主薄膜上形成第三主图案。
    • 6. 发明授权
    • 투명 디스플레이 장치
    • 透明显示装置
    • KR101272498B1
    • 2013-06-10
    • KR1020110024538
    • 2011-03-18
    • 한국과학기술원
    • 유승협윤준보최정민연정호
    • H01L51/50G02F1/1347G02F1/1335
    • 본 발명은 투명 디스플레이 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 투명 유기 발광 다이오드를 이용한 투명 디스플레이 장치의 시인성을 향상시키는 것이 가능한 투명 디스플레이 장치에 관한 것이다. 본 발명은 투명 재질로 형성된 소자를 이용해 영상을 디스플레이하는 영상 표시부; 및 상기 영상 표시부 하부에 결합되는 블라인드 패널을 포함하고, 상기 블라인드 패널은 상기 영상 표시부를 통과한 후 상기 블라인드 패널 측으로 조사되는 광 중 가시광 대역의 광을 투과시키거나 또는 상기 영상 표시부 측으로 반사시키는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면 영상 표시부 하부에 콜레스테릭 액정 기반의 블라인드 패널을 결합하여 가시광 대역의 광을 선택적으로 투과 또는 반사시킴으로써 영상 표시부와 주변 배경과의 이미지 중첩을 방지하고 영상 표시부 측으로 조사되는 광량을 늘리므로 투명 디스플레이 장치의 시인성 향상이 가능한 효과를 갖는다.