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    • 4. 发明公开
    • 반도체 가속도 센서 및 그의 제조방법
    • 半导体加速度传感器及其制造方法
    • KR1019980054937A
    • 1998-09-25
    • KR1019960074138
    • 1996-12-27
    • 에스케이하이닉스 주식회사
    • 조광현유성수
    • H01L29/84
    • 본 발명은 전극을 톱니모양으로 형성하여 큰 정전용량을 얻을 수 있을 뿐만 아니라 지지대를 ㄹ자 형태로 형성하여 지지대의 탄성계수를 증가시켜 정전용량의 변화량을 증가시킴으로써, 정확하게 가속도를 측정할 수 있고, 저렴하고 대량생산이 가능한 반도체 습도센서 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
      본 발명의 반도체 가속도센서의 제조방법은 제1실리콘 기판상에 절연막을 형성하는 공정과, 통상의 사진식각공정으로 제2절연막과 제1실리콘 기판의 중심부를 사진식각하는 공정과, 절연막과 제2실리콘 기판을 접착시키는 공정과, 중심부를 제외한 제2실리콘 기판상에 알루미늄 패턴을 형성하는 공정과, 제2실리콘 기판을 제1실리콘 기판의 식각된 부분 및 절연막이 완전히 노출될 때까지 식각하여 상,하부에 톱니모양의 고정전극 및 고정전극사이에 톱니모양의 이동전극 및 이동전극을 지지하는 ㄹ 형태의 지지대를 형성하는 공정을 포함한다.
    • 5. 发明公开
    • 반도체 습도센서 및 그의 제조방법
    • 半导体湿度传感器及其制造方法
    • KR1019980054936A
    • 1998-09-25
    • KR1019960074137
    • 1996-12-27
    • 에스케이하이닉스 주식회사
    • 조광현유성수
    • H01L29/84
    • 본 발명은 반도체 습도센서에 관한 것으로, 특히 반도체 제조공정중 반응성 스퍼터링방법을 TiO
      2 막에 기공을 형성하고, 기공을 통과한 수분에 따라 TiO
      2 막의 유전율의 변화를 감지함으로써 정확하게 습도를 측정하고, 저렴의 대량생산이 가능한 반도체 습도센서 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
      본 발명의 반도체 습도센서의 제조방법은 반도체 기판상에 제1절연막을 형성하는 공정과, 제2절연막상에 제1도전체를 형성하고 사진식각하여 제1도전체 패턴을 형성하는 공정과, 가장자리의 제1도전체 패턴을 포함한 제1절연막상에 마스크물질을 형성하는 공정과, 상기의 제1도전체 패턴을 제외한 제1도전체 패턴을 포함한 제1절연막상에 기공을 갖는 제2절연막을 형성하는 공정과, 제2절연막상에 제2도전체를 형성하는 공정과, 마스크 물질을 제거하는 공정을 포함한다.
    • 7. 发明公开
    • 마이크로 센서 구동회로
    • 微传感器驱动电路
    • KR1019990004512A
    • 1999-01-15
    • KR1019970028636
    • 1997-06-28
    • 에스케이하이닉스 주식회사
    • 김학동조광현유성수이호준권대혁
    • G01P3/489
    • 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
      마이크로 센서
      2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
      종래 마이크로 센서의 출력 감지장치 및 구동회로에서 구조체의 기계적인 열화에 따른 주파수 변화 및 두 방향간의 주파수 부정합에 따른 주파수 변화를 보상해주지 못하는 문제점을 해결하기 위한 것임.
      3. 발명의 해결방법의 요지
      하측 전극(11)에 인가되는 교류신호에 의해 구동되며 상측 전극(12)을 통해 질량체의 상하 변화량에 대응하는 정전용량값을 출력하는 마이크로 센서부(10)와; 상측전극(12)에서 가변되는 정전용량값을 전압으로 변환하는 정전용량/전압 변환부(20)와; 정전용량/전압 변환부(20)에서 얻어지는 전압을 버퍼링하고 소정 레벨로 증폭하는 버퍼링 및 증폭부(30)와; 버퍼링 및 증폭부(30)에서 출력되는 전압의 위상과 클럭발생부(40)에서 얻어지는 기준클럭의 위상과를 비교하고 그 위상차에 따라 발진 주파수를 변화시키는 위상 동기루프부(50)와; 위상동기루프(50)에서 발생하는 주파수에 따라 마이크로 센서부(10)내의 하측 전극(11)의 구동을 제어하는 구동부(60)로 이루어짐을 특징으로 한 것이다.
      4. 발명의 중요한 용도
      회전속도를 측정하는 마이크로 센서에 적용되는 것임.
    • 8. 发明公开
    • 정전용량형 가속도 센서
    • 电容式加速度传感器
    • KR1019990003146A
    • 1999-01-15
    • KR1019970026949
    • 1997-06-24
    • 에스케이하이닉스 주식회사
    • 조광현이호준권대혁김학동유성수
    • G01P15/125
    • 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
      정전용량형 가속도 센서
      2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제
      본 발명은 정전용량의 변화가 생기는 빗살이 긴 직사각형의 막대모양으로 구성되어 있어 정전용량을 정확하게 측정할 수 없고, 가속도 센서의 자기진단시 정확한 가속도 측정에 대한 신뢰성이 저하되는 문제점을 해결하기 위한 것임.
      3. 발명의 해결방법의 요지
      본 발명은 질량체(10)의 상.하부에 양측이 일정간격 이격되게 캔틸레버(13)가 연결되어 기판으로부터 일정 거리 이격되게 설치된 전극(20)(21)에 고정되고, 상기 질량체(10)의 좌.우측에 기판으로부터 일정 거리 이격되게 설치된 전극(30)(40)에 고정된 정전용량형 가속도 센서에 있어서, 상기 질량체(10)의 양측변에 끝이 뾰족한 톱니형의 제1빗살(14)(15)이 연속적으로 구성되고, 상기 양측 전극(30)(40)의 내측변에 제1빗살(14)(15) 사이의 요입된 홈으로 삽입되도록 내측변에 끝이 뾰족한 톱니형 제2빗살(32)(42)이 상.하 연속적으로 구성된 것을 특징으로 하는 것이다.
      4. 발명의 중요한 용도
      정전용량을 크게 하고, 자기진단시에 전극간의 간격을 여유있게 조정할 수 있는 정전용량형 가속도 센서에 적용되는 것임.
    • 10. 实用新型
    • RF 송.수신기가 없는 타이어 압력 경보장치
    • 不具有一个接收机RF发射轮胎压力报警装置
    • KR2019980050297U
    • 1998-10-07
    • KR2019960063468
    • 1996-12-30
    • 에스케이하이닉스 주식회사
    • 조광현유성수김학동
    • B60C23/00
    • B60C23/04B60C2019/007
    • 본고안은기존의타이어압력경보장치에서 RF 신호를사용하기때문에가격이비싼 RF 송·수신기를사용할수 밖에없고, 이에따라타이어압력경보장치의가격이상승하며, 경보장치의비싼가격때문에고급승용차나특별한차종에만사용되어수요가줄어드는문제점이있었으나, 상기와같은문제점을해결하기위하여본 고안에서는타이어의압력감지부와경보장치를타이어에함께부착함으로써, RF 송·수신기를사용할필요가없어졌고, 이에따라타이어압력장치를저렴한가격으로제작할수가있으며, 가격이낮아짐에따라고급차종에만쓰이던것이전 차종에사용됨으로수요가상승하는효과가있다.
    • 里面的文件由于使用的RF信号来自不仅可用于RF发射器和接收器价格昂贵,轮胎压力警告系统的yiettara李·桑斯·普赖斯现有的轮胎气压报警系统,而且由于价格高的报警豪华车和特种车辆只 被使用,但减小的需求的问题,所需的本发明为了解决上述问题是由与轮胎到轮胎的压力传感器和报警系统附连,则不必使用RF收发器,yiettara轮胎压力装置 并以低廉的价格生产数量,价格的效果在以前的型号所用sseuyideon只有豪华轿车,这取决于降低需求上升。