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1. 发明公开

KR1020160055119A 진공 펌프의 고정 부품 审中-实审
标题翻译：真空泵的固定组件
公开(公告)号：KR1020160055119A
公开(公告)日：2016-05-17
申请号：KR1020167000422
申请日：2014-06-06
申请人： 에드워즈 가부시키가이샤
发明人： 사카구치요시유키
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/52 , F04D29/64
CPC分类号： F04D29/023 , F04D17/168 , F04D19/042 , F04D25/06 , F04D29/28 , F04D29/4206 , F04D29/444 , F04D29/522 , F04D29/644 , F05D2230/21 , F05D2300/518
摘要： (과제) 파괴에너지(로터가회전중에파손됨으로써발생하는파괴의에너지)의저감, 또한, 펌프사이즈의컴팩트화를도모하는데적절한진공펌프의고정부품과이것을구비한진공펌프를제공한다. (해결수단) 진공펌프(P)에있어서, 고정부품으로서의스페이서(9) 또는나사홈펌프스테이터(8)는, 펌프케이스(C) 내에수용된상태로, 그외주면과펌프케이스(C)의내주면사이에, 후기《조건》을만족시키는간극(G1)을형성한다. 《조건》 2d/D≤ε또한, 상기《조건》에있어서, D는고정부품(스페이서(9) 또는나사홈펌프스테이터(8))의외경, d는상기간극의폭, ε는상기고정부품의파단신장이다.
摘要翻译：本发明提供一种真空泵的定子部件，其适用于降低断裂能（在旋转期间泵的转子损坏时发生的断裂能量）和泵的尺寸，并且还提供真空泵具有该定子部件。在真空泵中，作为定子部件的间隔件或螺纹槽泵定子在容纳在真空泵的泵壳体的每个的外周面之间形成满足以下“条件”的间隙，以及泵壳体的内圆周表面，其中定子部件容纳在泵壳体中。 «条件»2d / D‰¤μmax，其中D是定子部件（间隔器或螺纹槽泵定子）的外径，d是间隙的宽度，μmax是定子部件的断裂伸长率。

2. 发明授权

KR101204633B1 터보 분자 펌프 및 터보 분자 펌프의 조립 방법 有权
标题翻译：涡轮分子泵和组装涡轮分子泵的方法
公开(公告)号：KR101204633B1
公开(公告)日：2012-11-23
申请号：KR1020077027228
申请日：2006-06-16
申请人： 에드워즈 가부시키가이샤
发明人： 사카구치요시유키 , 다카아다츠토무
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/042 , F04D29/644
摘要： 본 발명은 배기구 측의 회전익의 외경이 흡기구 측의 회전익의 외경보다 작아지는 구조를 갖는 터보 분자 펌프의 조립 효율을 향상시키는 것을 목적으로 한다.
스페이서 링(31f～h)을 나사홈 스페이서(3)에 세트한다. 다음에, 상방으로부터 회전부를 베이스(24)의 베어링부의 내벽을 따라 삽입하여 고정한 후, 스페이서 링(31f～h)을 들어올려, 스페이서 링(31h)과 나사홈 스페이서(3) 사이에 간극을 만든다. 이 간극을 통해 반할 형상의 고정익(30)을 회전익(9) 사이에 삽입한다. 삽입 후, 스페이서 링(31h)을 내려 나사홈 스페이서(3)와 스페이서 링(31h)으로 고정익(30)을 끼움 지지하여 고정한다. 마찬가지로 하여, 스페이서 링(31h)과 스페이서 링(31g)과의 간극, 및 스페이서 링(31g)과 스페이서 링(31f)과의 간극을 통해 회전익(9) 사이에 고정익(30)을 삽입한다.

3. 发明授权

KR100860179B1 진공 펌프 有权
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：KR100860179B1
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：KR1020020071193
申请日：2002-11-15
申请人： 에드워즈 가부시키가이샤
发明人： 가와니시신지 , 사카구치요시유키 , 마에지마야스시 , 오쿠데라사토시
IPC分类号： F04D29/00
CPC分类号： F04D29/644 , F04D19/04 , F04D27/0292 , F04D29/601
摘要： 회전하고 있는 회전자가 케이싱 내벽에 충돌할 때에 발생하는 파괴 토오크가 진공 챔버에 전달되어 진공 챔버를 파괴하는 일이 없는 진공 펌프를 제공한다.
진공 챔버와 접속 플랜지부(1a)의 볼트 구멍(3)의 구멍 직경, 펌프 케이스와 그 하측의 베이스와의 접속 부분의 볼트 구멍의 구멍 직경을 각각에 삽입되는 볼트 직경의 20% 이상 크게 해, 파괴 토오크에 의해 진공 펌프(100) 전체가 회전할 때, 진공 챔버 결합용 구멍과 펌프·챔버 결합용 볼트(30)와의 간극만큼, 또한 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트 구멍과 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트와의 간극만큼, 진공 챔버와 펌프 케이스 또는 펌프 케이스와 베이스를 미끄러지게 해서, 파괴 토오크를 흡수하고, 진공 챔버(200)에 파괴 토오크가 전달되는 것을 막는다.
摘要翻译：提供了一种真空泵，其中当旋转的转子碰撞壳体的内壁时产生的破坏扭矩不传递到真空室破坏真空室。

4. 发明授权

KR102167208B1 진공 펌프 有权
公开(公告)号：KR102167208B1
公开(公告)日：2020-10-19
申请号：KR1020157032437
申请日：2014-06-06
申请人： 에드워즈 가부시키가이샤
发明人： 사카구치요시유키
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/58 , F04D29/08

5. 发明授权

KR101839162B1 배기 펌프 有权
标题翻译：排气泵
公开(公告)号：KR101839162B1
公开(公告)日：2018-03-15
申请号：KR1020127030091
申请日：2011-07-25
申请人： 에드워즈 가부시키가이샤
发明人： 사카구치요시유키 , 이토아키히로 , 와다아키히코
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D3/00 , F04D19/042 , F04D19/044 , F04D29/644 , F04D29/662 , F05D2230/10
摘要： 버르제거작업이용이하며기체의배기성능의향상을도모하는데에적합한연통개구부를구비한배기펌프를제공한다. 배기펌프(P)의로터(6)(통형회전부재)는, 이면외주부에링형상볼록부(60A)를갖는판체(60)와, 그링형상볼록부(60A)의외주에끼워넣어장착되는통체(61)를구비하는것으로하며, 상기배기펌프(P)의연통개구부(H)는, 판체(60)의외주부및 링형상볼록부(60A)의외주부를잘라내어이루어지는구멍(H1, H2)으로이루어짐과더불어, 그구멍(H1, H2) 전체중 가로구멍의형태로개구되어있는부분(구체적으로는구멍(H2))이통체(61)의상단부외주에서막혀진구조로한다.
摘要翻译：提供了一种具有连通开口的排气泵，该连通开口适合于利用毛刺去除操作并且改善气体的排气性能。的排气泵（P）（筒状旋转部件）的转子6是，当具有在其外周上的环状的凸部（60A）的板体60，geuring状突起（60A）气缸是安装嵌入在意外状态和作为具有61，排气泵（P）坚决圆筒形孔（H）时，阀元件60是切割和令人惊奇的主妇形成意想不到周并通过任何孔（H1，H2）构成的环状凸部（60A）并且另外，孔（H1，H2）中的总面积的横向孔的形式被打开（具体euroneun孔（H2））YITONG本体61收在三三两两球形外端服装。

6. 发明公开

KR1020160119758A 진공 펌프, 및 이 진공 펌프에 이용되는 단열 스페이서 审中-实审
标题翻译：真空泵和用于真空泵的热绝缘间隙
公开(公告)号：KR1020160119758A
公开(公告)日：2016-10-14
申请号：KR1020167017844
申请日：2015-01-08
申请人： 에드워즈 가부시키가이샤
发明人： 사카구치요시유키 , 구로카와노리히로
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/58
CPC分类号： F04D29/5853 , F04D19/042 , F04D19/044 , F04D29/32 , F04D29/522 , F04D29/542 , F05D2230/642 , F05D2260/607
摘要： [과제] 나사홈부내에서의가스의고체화를억제하는진공펌프및 진공펌프에이용되는단열스페이서를제공한다. [해결수단] 진공펌프(1)는, 케이싱(10)과나사홈부(71)를가지는외주측스테이터(70) 사이에끼워설치되고, 케이싱(10)과외주측스테이터(70) 사이에간극을둔 상태로외주측스테이터(70)를로터(20)와동축상에서로터경방향으로지지하며, 케이싱(10) 및외주측스테이터(70)보다저열전도율의단열스페이서(90)를구비하고있다.

7. 发明公开

KR1020080019591A 터보 분자 펌프 및 터보 분자 펌프의 조립 방법 有权
标题翻译：涡轮分子泵和组装涡轮分子泵的方法
公开(公告)号：KR1020080019591A
公开(公告)日：2008-03-04
申请号：KR1020077027228
申请日：2006-06-16
申请人： 에드워즈 가부시키가이샤
发明人： 사카구치요시유키 , 다카아다츠토무
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/042 , F04D29/644
摘要： A turbo-molecular pump enabling an increase in assembling efficiency, wherein the outer diameter of a rotor on the air outlet side is smaller than the outer diameter of a rotor on the air inlet side. Spacer rings (31f) to (31h) are set on a screw groove spacer (3). After a rotating part is fixedly inserted, from the upper side, into a base (24) along the inner wall of a bearing part, the spacer rings (31f) to (31h) are raised to form a clearance between the spacer ring (31h) and the screw groove spacer (3). A split-shaped stator (30) is inserted between the rotors (9) through the clearance. After that insertion, the spacer ring (31h) is lowered, and the rotor (30) is fixedly held by the screw groove spacer (3) and the spacer ring (31h). In the same manner, the stators (30) are inserted between the rotors (9) through a clearance between the spacer ring (31h) and the spacer ring (31g) and a clearance between the spacer ring (31g) and the spacer ring (31f). ® KIPO & WIPO 2008
摘要翻译：能够提高组装效率的涡轮分子泵，其中，空气出口侧的转子的外径小于空气入口侧的转子的外径。间隔环（31f）至（31h）设置在螺纹槽间隔件（3）上。在将旋转部分从上侧固定地插入到沿着轴承部分的内壁的基部（24）中，间隔环（31f）至（31h）被升高以在间隔环（31h）之间形成间隙）和螺纹槽间隔件（3）。分体式定子（30）通过间隙插入转子（9）之间。在该插入之后，间隔环（31h）下降，转子（30）由螺纹槽间隔件（3）和间隔环（31h）固定地保持。以相同的方式，定子（30）通过间隔环（31h）和间隔环（31g）之间的间隙和间隔环（31g）和间隔环（ 31F）。 ®KIPO＆WIPO 2008

8. 发明公开

KR1020030040181A 진공 펌프 有权
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：KR1020030040181A
公开(公告)日：2003-05-22
申请号：KR1020020071192
申请日：2002-11-15
申请人： 에드워즈 가부시키가이샤
发明人： 다카미네마사요시 , 마에지마야스시 , 가와니시신지 , 사카구치요시유키 , 오쿠데라사토시 , 가바타겐지 , 이나요시유타카
IPC分类号： F04D29/00 , F04D29/28 , F04D29/04 , F04D29/66
CPC分类号： F04D29/023 , F04D19/04 , F04D29/662 , F05D2230/53 , F05D2260/95 , F05D2300/171 , F05D2300/21 , F05D2300/40 , Y10S416/50
摘要： PURPOSE: To provide a vacuum pump which can prevent breakage of a rotating body caused by corrosion, and maintain the balance of the rotating body for a long time. CONSTITUTION: This vacuum pump comprises a pump case 1 with a gas intake port opened in an upper surface thereof, a rotor shaft 5 rotatably supported in the pump case 1, a plurality of rotor blades 10, etc., which are accommodated in the pump case 1 and integrated with an outer circumferential surface of a rotor 8 fixed to the rotor shaft 5, a plurality of stator blades 11, etc., which are alternately positioned between the plurality of rotor blades 10, etc., and fixed in the pump case 1, and a drive motor 9 to rotate the rotor shaft 5. A corrosion preventive film by the electroless plating is formed on an inner circumferential surface 8b and an outer circumferential surface 8a of the rotor 8, and a heat-resistant and corrosion-resistant adhesive 15a is applied to the inner circumferential surface 8b of the rotor 8 as a mass adding means 15.
摘要翻译：目的：提供一种真空泵，可以防止由腐蚀引起的旋转体的破损，并保持旋转体的平衡很长时间。构成：该真空泵包括：泵壳1，其上表面具有开口的进气口，可旋转地支撑在泵壳1中的转子轴5，容纳在泵中的多个转子叶片10等壳体1并且与固定在转子轴5上的转子8的外圆周表面一体化，多个定子叶片11等交替地位于多个转子叶片10之间，并固定在泵壳体1和驱动马达9使转子轴5旋转。通过化学镀的防腐蚀膜形成在转子8的内周面8b和外周面8a上，耐磨粘合剂15a作为质料添加机构15施加到转子8的内周面8b。

9. 发明公开

KR1020160140576A 배기구 부품, 및 진공 펌프 审中-实审
标题翻译：排气口组件和真空泵
公开(公告)号：KR1020160140576A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：KR1020167017883
申请日：2015-02-27
申请人： 에드워즈 가부시키가이샤
发明人： 사카구치요시유키 , 구로카와노리히로
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/52 , F04D29/58
CPC分类号： F04D29/5853 , F04D19/042 , F04D29/023 , F04D29/522 , F04D29/584 , F05D2250/52 , F05D2260/607
摘要： [과제] 배치되는진공펌프의배기구전체의온도를효율적으로올리는배기구부품, 및상기배기구부품이배치된진공펌프를제공한다. [해결수단] 본발명의실시형태에따른배기구부품은, 배기구부품에배치된히터로부터얻어지는열을, 베이스측으로전달하기어렵게하고, 배기구의안쪽(진공펌프측)으로효율적으로전달하기위한단열부를구비한다. 또, 본발명의실시형태에따른진공펌프는, 상기단열부를가지는배기구부품을구비한다. 본실시형태에따른배기구부품의단열부는, 배기구부품의외주면에형성된플랜지부와상기플랜지부에밀착하여배치된단열스페이서를구비한다. 혹은, 배기구부품의외주면에형성된플랜지부와상술한단열스페이서가일체형으로형성된구성을가지는배기구부품플랜지부가단열부가된다. 이구성에의해, 진공펌프의배기구전체의온도를효율적으로올려생성물·퇴적물의양을저감시킬수 있다.
摘要翻译：提供了能够有效地提高设置有出口部的真空泵的整个出口的温度的出口部，以及设置有该出口部的真空泵。根据本发明的实施例的出口部分具有用于防止从布置在出口部分的加热器获得的热量朝向基部侧传递的热绝缘部分，并且用于将热量有效地传递到背部（真空泵侧）。此外，根据本发明的实施方式的真空泵具有具有绝热部的出口部。根据本实施例的出口部分的隔热部分设置有形成在出口部分的外周表面上的凸缘部分和与凸缘部分紧密接触的隔热间隔件。或者，通过将形成在出口部的外周面上的凸缘部与上述绝热垫圈一体化的出口部凸缘部作为隔热部发挥作用。该配置可以有效地提高真空泵的整个出口的温度，从而减少产品和沉积物的量。

10. 发明公开

KR1020160061921A 나사 홈 펌프 기구, 상기 나사 홈 펌프 기구를 이용한 진공 펌프, 및 상기 나사 홈 펌프 기구에 이용되는 로터, 외주측 스테이터 및 내주측 스테이터 审中-实审
标题翻译：螺旋泵泵机构，使用该螺旋泵机构的真空泵，以及该螺旋泵机构使用的转子，外部定子和内循环定子
公开(公告)号：KR1020160061921A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：KR1020157036960
申请日：2014-09-01
申请人： 에드워즈 가부시키가이샤
发明人： 사카구치요시유키 , 와다아키히코 , 가바사와다카시
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/40 , F04D29/28 , F04D29/00
CPC分类号： F04D19/042 , F04D19/044 , F04D29/002 , F04D29/28 , F04D29/403
摘要： 나사홈 펌프기구내에서의가스의역류를억제함과더불어, 나사홈 펌프기구의출구부근에서의펌프경 방향의압력차를경감하고, 배기성능및 압축성능을향상시키는나사홈 펌프기구, 상기나사홈 펌프기구를이용한진공펌프, 및상기나사홈 펌프기구에이용되는로터, 외주측스테이터, 및내주측스테이터를제공한다. 나사홈 펌프기구(PB)는, 외주측스테이터(70)의로터원통부(45)에대한대향면에형성된외주측나사홈부(71)와, 내주측스테이터(80)의로터원통부(45)에대한대향면에형성된내주측나사홈부(81)에배기성능향상수단을구비하고있다.

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