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1. 发明公开

KR1020160140576A 배기구 부품, 및 진공 펌프 审中-实审
标题翻译：排气口组件和真空泵
公开(公告)号：KR1020160140576A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：KR1020167017883
申请日：2015-02-27
申请人： 에드워즈 가부시키가이샤
发明人： 사카구치요시유키 , 구로카와노리히로
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/52 , F04D29/58
CPC分类号： F04D29/5853 , F04D19/042 , F04D29/023 , F04D29/522 , F04D29/584 , F05D2250/52 , F05D2260/607
摘要： [과제] 배치되는진공펌프의배기구전체의온도를효율적으로올리는배기구부품, 및상기배기구부품이배치된진공펌프를제공한다. [해결수단] 본발명의실시형태에따른배기구부품은, 배기구부품에배치된히터로부터얻어지는열을, 베이스측으로전달하기어렵게하고, 배기구의안쪽(진공펌프측)으로효율적으로전달하기위한단열부를구비한다. 또, 본발명의실시형태에따른진공펌프는, 상기단열부를가지는배기구부품을구비한다. 본실시형태에따른배기구부품의단열부는, 배기구부품의외주면에형성된플랜지부와상기플랜지부에밀착하여배치된단열스페이서를구비한다. 혹은, 배기구부품의외주면에형성된플랜지부와상술한단열스페이서가일체형으로형성된구성을가지는배기구부품플랜지부가단열부가된다. 이구성에의해, 진공펌프의배기구전체의온도를효율적으로올려생성물·퇴적물의양을저감시킬수 있다.
摘要翻译：提供了能够有效地提高设置有出口部的真空泵的整个出口的温度的出口部，以及设置有该出口部的真空泵。根据本发明的实施例的出口部分具有用于防止从布置在出口部分的加热器获得的热量朝向基部侧传递的热绝缘部分，并且用于将热量有效地传递到背部（真空泵侧）。此外，根据本发明的实施方式的真空泵具有具有绝热部的出口部。根据本实施例的出口部分的隔热部分设置有形成在出口部分的外周表面上的凸缘部分和与凸缘部分紧密接触的隔热间隔件。或者，通过将形成在出口部的外周面上的凸缘部与上述绝热垫圈一体化的出口部凸缘部作为隔热部发挥作用。该配置可以有效地提高真空泵的整个出口的温度，从而减少产品和沉积物的量。

2. 发明授权

KR102214001B1 진공 펌프, 및 이 진공 펌프에 이용되는 단열 스페이서 有权
公开(公告)号：KR102214001B1
公开(公告)日：2021-02-08
申请号：KR1020167017844
申请日：2015-01-08
申请人： 에드워즈 가부시키가이샤
发明人： 사카구치요시유키 , 구로카와노리히로
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/58
摘要： [과제] 나사홈부내에서의가스의고체화를억제하는진공펌프및 진공펌프에이용되는단열스페이서를제공한다. [해결수단] 진공펌프(1)는, 케이싱(10)과나사홈부(71)를가지는외주측스테이터(70) 사이에끼워설치되고, 케이싱(10)과외주측스테이터(70) 사이에간극을둔 상태로외주측스테이터(70)를로터(20)와동축상에서로터경방향으로지지하며, 케이싱(10) 및외주측스테이터(70)보다저열전도율의단열스페이서(90)를구비하고있다.

3. 发明公开

KR1020160119758A 진공 펌프, 및 이 진공 펌프에 이용되는 단열 스페이서 审中-实审
标题翻译：真空泵和用于真空泵的热绝缘间隙
公开(公告)号：KR1020160119758A
公开(公告)日：2016-10-14
申请号：KR1020167017844
申请日：2015-01-08
申请人： 에드워즈 가부시키가이샤
发明人： 사카구치요시유키 , 구로카와노리히로
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/58
CPC分类号： F04D29/5853 , F04D19/042 , F04D19/044 , F04D29/32 , F04D29/522 , F04D29/542 , F05D2230/642 , F05D2260/607
摘要： [과제] 나사홈부내에서의가스의고체화를억제하는진공펌프및 진공펌프에이용되는단열스페이서를제공한다. [해결수단] 진공펌프(1)는, 케이싱(10)과나사홈부(71)를가지는외주측스테이터(70) 사이에끼워설치되고, 케이싱(10)과외주측스테이터(70) 사이에간극을둔 상태로외주측스테이터(70)를로터(20)와동축상에서로터경방향으로지지하며, 케이싱(10) 및외주측스테이터(70)보다저열전도율의단열스페이서(90)를구비하고있다.

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