专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR1020160027239A ＣＶＤ 챔버의 유동 제어 피쳐 有权
标题翻译： CVD室流量控制功能
公开(公告)号：KR1020160027239A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：KR1020167004522
申请日：2010-07-15
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 죽,키엔,엔 , 리앙,치웨이 , 응우옌,한,디. , 첸,싱룽 , 밀러,매튜 , 박,수남 , 트란,토안,큐. , 칸,아디브 , 양,장규 , 루보미르스키,드미트리 , 벤카타라만,샹카르
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/02 , C23C16/455 , C23C16/452 , H01J37/32
CPC分类号： C23C16/45565 , C23C16/452 , C23C16/45574 , H01J37/3244 , H01J37/32449 , Y10T137/85938
摘要： 가스분배조립체용장치및 방법이제공된다. 일면에서, 내경에위치된내측환형벽, 외경에위치된외측벽, 상부면및 바닥면을갖는환형링; 상기상부면의내측에형성된상부리세스; 상기내측환형벽의반경방향으로외측에형성된립; 및상기내측환형벽의내측에형성된시트;를포함하는환형본체와, 상기상부리세스내에위치된상부판으로서, 관통형성된복수의제 1 구멍을갖는디스크형본체로서, 상기제 1 구멍들이상기본체의표면을넘어연장함으로써상승된원통형본체들을형성하는디스크형본체를포함하는, 상부판, 및상기시트상에위치되는바닥판으로서; 상기제 1 구멍과정렬되도록관통형성된복수의제 2 구멍을갖는디스크형본체; 및상기제 2 구멍들사이에형성되며상기바닥판을통해형성되는복수의제 3 구멍으로서, 상기바닥판이상기상부판에밀봉되게연결됨으로써상기복수의제 1 및제 2 구멍들을상기복수의제 3 구멍으로부터유동적으로격리시키는복수의제 3 구멍;을포함하는, 바닥판을포함하는가스분배조립체가제공된다.
摘要翻译：提供了一种用于气体分配组件的装置和方法。在一个方面，一种环形环，具有定位在内径处的内环形壁，定位在外径处的外壁，上表面和底表面; 形成在上表面的内侧上的上缘; 从内环形壁径向向外形成的唇部; 以及形成在所述内环形壁的内侧上的座部以及定位在所述上凹部中的顶板，所述盘形主体具有穿过其形成的多个第一孔，一个位于所述顶板上的底板，所述顶板包括一个盘形主体，该盘形主体通过延伸超出所述表面而限定凸起的圆柱体; 具有形成为与所述第一孔对齐的多个第二孔的盘形主体; 并且多个第三孔形成在第二孔之间并穿过底板形成，底板气密地连接到顶板，使得多个第一孔和第二孔与多个第三孔连通并且多个第三孔将第一板与第二板流体隔离。

2. 发明授权

KR101598332B1 ＣＶＤ 챔버의 유동 제어 피쳐 有权
标题翻译： CVD气泡流量控制特征
公开(公告)号：KR101598332B1
公开(公告)日：2016-03-14
申请号：KR1020127003136
申请日：2010-07-15
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 죽,키엔,엔 , 리앙,치웨이 , 응우옌,한,디. , 첸,싱룽 , 밀러,매튜 , 박,수남 , 트란,토안,큐. , 칸,아디브 , 양,장규 , 루보미르스키,드미트리 , 벤카타라만,샹카르
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/31
CPC分类号： C23C16/45565 , C23C16/452 , C23C16/45574 , H01J37/3244 , H01J37/32449 , Y10T137/85938
摘要： 가스분배조립체용장치및 방법이제공된다. 일면에서, 내경에위치된내측환형벽, 외경에위치된외측벽, 상부면및 바닥면을갖는환형링; 상기상부면의내측에형성된상부리세스; 상기내측환형벽의반경방향으로외측에형성된립; 및상기내측환형벽의내측에형성된시트;를포함하는환형본체와, 상기상부리세스내에위치된상부판으로서, 관통형성된복수의제 1 구멍을갖는디스크형본체로서, 상기제 1 구멍들이상기본체의표면을넘어연장함으로써상승된원통형본체들을형성하는디스크형본체를포함하는, 상부판, 및상기시트상에위치되는바닥판으로서; 상기제 1 구멍과정렬되도록관통형성된복수의제 2 구멍을갖는디스크형본체; 및상기제 2 구멍들사이에형성되며상기바닥판을통해형성되는복수의제 3 구멍으로서, 상기바닥판이상기상부판에밀봉되게연결됨으로써상기복수의제 1 및제 2 구멍들을상기복수의제 3 구멍으로부터유동적으로격리시키는복수의제 3 구멍;을포함하는, 바닥판을포함하는가스분배조립체가제공된다.

3. 发明授权

KR101659303B1 ＣＶＤ 챔버의 유동 제어 피쳐 有权
公开(公告)号：KR101659303B1
公开(公告)日：2016-09-23
申请号：KR1020167004522
申请日：2010-07-15
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 죽,키엔,엔 , 리앙,치웨이 , 응우옌,한,디. , 첸,싱룽 , 밀러,매튜 , 박,수남 , 트란,토안,큐. , 칸,아디브 , 양,장규 , 루보미르스키,드미트리 , 벤카타라만,샹카르
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/02 , C23C16/455 , C23C16/452 , H01J37/32
CPC分类号： C23C16/45565 , C23C16/452 , C23C16/45574 , H01J37/3244 , H01J37/32449 , Y10T137/85938
摘要： 가스분배조립체용장치및 방법이제공된다. 일면에서, 내경에위치된내측환형벽, 외경에위치된외측벽, 상부면및 바닥면을갖는환형링; 상기상부면의내측에형성된상부리세스; 상기내측환형벽의반경방향으로외측에형성된립; 및상기내측환형벽의내측에형성된시트;를포함하는환형본체와, 상기상부리세스내에위치된상부판으로서, 관통형성된복수의제 1 구멍을갖는디스크형본체로서, 상기제 1 구멍들이상기본체의표면을넘어연장함으로써상승된원통형본체들을형성하는디스크형본체를포함하는, 상부판, 및상기시트상에위치되는바닥판으로서; 상기제 1 구멍과정렬되도록관통형성된복수의제 2 구멍을갖는디스크형본체; 및상기제 2 구멍들사이에형성되며상기바닥판을통해형성되는복수의제 3 구멍으로서, 상기바닥판이상기상부판에밀봉되게연결됨으로써상기복수의제 1 및제 2 구멍들을상기복수의제 3 구멍으로부터유동적으로격리시키는복수의제 3 구멍;을포함하는, 바닥판을포함하는가스분배조립체가제공된다.

4. 发明公开

KR1020120062698A ＣＶＤ 챔버의 유동 제어 피쳐 有权
标题翻译： CVD气泡流量控制特征
公开(公告)号：KR1020120062698A
公开(公告)日：2012-06-14
申请号：KR1020127003136
申请日：2010-07-15
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 죽,키엔,엔 , 리앙,치웨이 , 응우옌,한,디. , 첸,싱룽 , 밀러,매튜 , 박,수남 , 트란,토안,큐. , 칸,아디브 , 양,장규 , 루보미르스키,드미트리 , 벤카타라만,샹카르
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/31
CPC分类号： C23C16/45565 , C23C16/452 , C23C16/45574 , H01J37/3244 , H01J37/32449 , Y10T137/85938
摘要： 가스 분배 조립체용 장치 및 방법이 제공된다. 일면에서, 내경에 위치된 내측 환형 벽, 외경에 위치된 외측 벽, 상부면 및 바닥면을 갖는 환형 링; 상기 상부면의 내측에 형성된 상부 리세스; 상기 내측 환형 벽의 반경 방향으로 외측에 형성된 립; 및 상기 내측 환형 벽의 내측에 형성된 시트;를 포함하는 환형 본체와, 상기 상부 리세스 내에 위치된 상부 판으로서, 관통 형성된 복수의 제 1 구멍을 갖는 디스크형 본체로서, 상기 제 1 구멍들이 상기 본체의 표면을 넘어 연장함으로써 상승된 원통형 본체들을 형성하는 디스크형 본체를 포함하는, 상부 판, 및 상기 시트 상에 위치되는 바닥 판으로서; 상기 제 1 구멍과 정렬되도록 관통 형성된 복수의 제 2 구멍을 갖는 디스크형 본체; 및 상기 제 2 구멍들 사이에 형성되며 상기 바닥 판을 통해 형성되는 복수의 제 3 구멍으로서, 상기 바닥 판이 상기 상부 판에 밀봉되게 연결됨으로써 상기 복수의 제 1 및 제 2 구멍들을 상기 복수의 제 3 구멍으로부터 유동적으로 격리시키는 복수의 제 3 구멍;을 포함하는, 바닥 판을 포함하는 가스 분배 조립체가 제공된다.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式