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1. 发明授权

KR101844524B1 란탄계 원소 이온원의 발생 방법 有权
标题翻译：产生镧系元素离子源的方法
公开(公告)号：KR101844524B1
公开(公告)日：2018-04-02
申请号：KR1020160072114
申请日：2016-06-10
申请人： 어드밴스드 이온 빔 테크놀로지 인크.
发明人： 수케-친 , 장궈-청 , 후앙웨이-콴 , 우밍-웨이 , 쉬우에쳉-헝 , 린밍-치에
IPC分类号： H01J27/08 , H01J27/20 , H01J37/08 , H01J37/317
摘要： 란탄계원소이온원의발생방법은증발기를사용하여 1종또는다종비기체상태의란탄계원소화합물을가열하여, 상기 1종또는다종의비기체상태의란탄계원소화합물을기체상태로전환하는단계; 상기 1종또는다종의기체상태의란탄계원소화합물을아크챔버와연통되는통로를통해상기아크챔버로전송하는단계; 상기 1종또는다종의기체상태의란탄계원소화합물에에너지를제공하여, 란탄계원소이온을함유하는플라즈마가상기아크챔버에형성되도록하는단계; 적어도 1종의지지가스를아크챔버와연통되는통로를통해상기아크챔버로전송하는단계; 및, 란탄계원소이온을란탄계원소이온이함유된상기플라즈마로부터추출하여란탄계원소이온빔을형성하는단계를포함한다.
摘要翻译：所述镧系元素离子源的生成方法包括以下步骤：通过使用蒸发器加热一个或宽的非气态的元素的镧系元素化合物，开关的非气态的所述镧系元素化合物，所述一种或宽处于气态。通过与电弧室连通的通道将一种或多种气态镧基元素化合物转移到电弧室中; 向所述一种或多种气态镧系元素化合物提供能量以在所述电弧室中形成包含镧系元素离子的等离子体; 通过与电弧室连通的通道将至少一种支持气体传送到电弧室; 并且从含有镧系元素离子的等离子体中提取镧系元素离子以形成镧系元素离子束。

2. 发明公开

KR1020170012013A 란탄계 원소 이온원의 발생 방법 审中-实审
标题翻译：用于生成土耳其离子源的方法
公开(公告)号：KR1020170012013A
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：KR1020160072114
申请日：2016-06-10
申请人： 어드밴스드 이온 빔 테크놀로지 인크.
发明人： 수케-친 , 장궈-청 , 후앙웨이-콴 , 우밍-웨이 , 쉬우에쳉-헝 , 린밍-치에
IPC分类号： H01J27/08 , H01J27/20 , H01J37/08 , H01J37/317
CPC分类号： H01J27/08 , H01J27/20 , H01J37/08 , H01J37/3171
摘要： 란탄계원소이온원의발생방법은증발기를사용하여 1종또는다종비기체상태의란탄계원소화합물을가열하여, 상기 1종또는다종의비기체상태의란탄계원소화합물을기체상태로전환하는단계; 상기 1종또는다종의기체상태의란탄계원소화합물을아크챔버와연통되는통로를통해상기아크챔버로전송하는단계; 상기 1종또는다종의기체상태의란탄계원소화합물에에너지를제공하여, 란탄계원소이온을함유하는플라즈마가상기아크챔버에형성되도록하는단계; 적어도 1종의지지가스를아크챔버와연통되는통로를통해상기아크챔버로전송하는단계; 및, 란탄계원소이온을란탄계원소이온이함유된상기플라즈마로부터추출하여란탄계원소이온빔을형성하는단계를포함한다.

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