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1. 发明授权

KR101817170B1 냉각식 이온 주입 시스템의 가열식 로터리 시일 및 베어링 有权
标题翻译：用于冷却离子注入系统的加热旋转密封件和轴承
公开(公告)号：KR101817170B1
公开(公告)日：2018-01-10
申请号：KR1020127034172
申请日：2011-05-26
申请人： 액셀리스 테크놀러지스, 인크.
发明人： 이,윌리엄 , 디버길리오,윌리엄 , 드러몬드,스티브
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/3171 , H01J2237/166 , H01J2237/2001 , H01J2237/20214
摘要： 제 1 축선을중심으로회전하는스캔아암(202) 및피가공재를선택적으로고정하기위해제 2 축선을중심으로상기스캔아암에회전가능하게결합된냉각식엔드이펙터(206)를갖는피가공재스캐닝시스템이제공된다. 상기냉각식엔드이펙터는클램핑플레이트(212) 및상기클램핑플레이트를냉각하는하나또는그 초과의냉각기구를갖는다. 베어링은상기제 2 축선을따라배치되며상기엔드이펙터를상기스캔아암에회전가능하게결합하고, 시일은외부환경과내부환경사이에압력배리어를제공하기위해상기제 2 축선을따라배치된다. 하나또는그 초과의상기베어링및 시일은거기에연관된자성유체를가질수 있다. 히터조립체는상기베어링및 시일부근에배치되고, 상기히터조립체는소정량의열을상기베어링및 시일에선택적으로제공하고, 그에따라상기제 2 축선을중심으로한 상기엔드이펙터의회전성향이증가한다.
摘要翻译：具有围绕第一轴线旋转的扫描臂202的工件扫描系统以及围绕第二轴线可旋转地联接至扫描臂的冷却端部执行器206，以选择性地固定工件它提供。冷却末端执行器具有夹板212和用于冷却夹板的一个或多个冷却机构。轴承沿着第二轴线布置并且将末端执行器可旋转地联接到扫描臂，并且密封件沿着第二轴线布置以在外部环境与内部环境之间提供压力屏障。一个或多个轴承和密封件可以具有与其相关联的磁性流体。加热器组件设置在轴承和密封件附近，加热器组件选择性地向轴承和密封件提供预定量的热量，由此增加端部执行器围绕第二轴线的旋转倾向。

2. 发明公开

KR1020130085957A 냉각식 이온 주입 시스템의 가열식 로터리 시일 및 베어링 审中-实审
标题翻译：加热旋转密封和轴承用于冷冻离子植入系统
公开(公告)号：KR1020130085957A
公开(公告)日：2013-07-30
申请号：KR1020127034172
申请日：2011-05-26
申请人： 액셀리스 테크놀러지스, 인크.
发明人： 이,윌리엄 , 디버길리오,윌리엄 , 드러몬드,스티브
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/3171 , H01J2237/166 , H01J2237/2001 , H01J2237/20214
摘要： 제 1 축선을 중심으로 회전하는 스캔 아암(202) 및 피가공재를 선택적으로 고정하기 위해 제 2 축선을 중심으로 상기 스캔 아암에 회전 가능하게 결합된 냉각식 엔드 이펙터(206)를 갖는 피가공재 스캐닝 시스템이 제공된다. 상기 냉각식 엔드 이펙터는 클램핑 플레이트(212) 및 상기 클램핑 플레이트를 냉각하는 하나 또는 그 초과의 냉각 기구를 갖는다. 베어링은 상기 제 2 축선을 따라 배치되며 상기 엔드 이펙터를 상기 스캔 아암에 회전 가능하게 결합하고, 시일은 외부 환경과 내부 환경 사이에 압력 배리어를 제공하기 위해 상기 제 2 축선을 따라 배치된다. 하나 또는 그 초과의 상기 베어링 및 시일은 거기에 연관된 자성유체를 가질 수 있다. 히터 조립체는 상기 베어링 및 시일 부근에 배치되고, 상기 히터 조립체는 소정량의 열을 상기 베어링 및 시일에 선택적으로 제공하고, 그에 따라 상기 제 2 축선을 중심으로 한 상기 엔드 이펙터의 회전 성향이 증가한다.

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