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1. 发明授权

KR102172620B1 기판의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102172620B1
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：KR20160056868
申请日：2016-05-10
申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
发明人： 마츠이,하루노부 , 하라다,다이지츠 , 다케우치,마사키
IPC分类号： H01L21/304 , B24B37/005 , B24B37/04 , H01L21/02 , H01L21/306
摘要： 본발명은, 기판, 특히합성석영유리기판의가공에있어서, 킬러결함이될 수있는기판표면의결함을억제하고, 또한대규모의장치나고정밀도의정반을사용하지않고, 기존의설비를사용한가공에있어서의불량률을줄여, 수율을향상시킬수 있는기판의제조방법을제공한다. 하부정반상에설치된캐리어에형성된워크홀 중에기판을보유지지하고, 해당기판표면에충격흡수액이도포된상태에서하부정반을회전시키면서상부정반을상기기판표면에착반시키고, 계속해서상기기판표면에연마슬러리를동반하면서상하정반을회전시켜상기기판을연마가공하는공정을포함하는기판의제조방법을제공한다.

2. 发明公开

KR1020130070541A 산화세륨의 회수 방법 审中-实审
标题翻译：回收氧化铈的方法
公开(公告)号：KR1020130070541A
公开(公告)日：2013-06-27
申请号：KR1020120148046
申请日：2012-12-18
申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
发明人： 마츠이,하루노부 , 하라다,다이지츠 , 다케우치,마사키
IPC分类号： B24B57/02 , B01D21/01 , C02F1/52 , B24B37/00
CPC分类号： C09K3/1409 , C01F17/0043 , C09G1/02
摘要： PURPOSE: A method for recovering cerium oxide is provided to recover an abrading agent that the main components are cerium oxide without foreign matters so that the abrading agent is used for grinding a quartz glass substrate. CONSTITUTION: A method for recovering cerium oxide comprises following steps. The aqueous solution of basic material is added. A sedimentation agent is added to remove a supernatant after generating deposits including cerium oxide as a main component. An acid solution is added to the deposits such that the deposits become slightly acid or neutral. The deposits are washed by an organic solvent. The deposits are dried and crushed.
摘要翻译：目的：提供一种回收氧化铈的方法，以回收主要成分为氧化铈而不含异物的研磨剂，以便研磨剂用于研磨石英玻璃基板。构成：回收氧化铈的方法包括以下步骤。添加碱性水溶液。加入沉淀剂后，产生沉积物，除去上清液，包括氧化铈作为主要成分。向沉积物中加入酸溶液使得沉积物变得稍酸或中性。沉积物用有机溶剂洗涤。沉积物被干燥并粉碎。

3. 发明授权

KR101977435B1 합성 석영 유리 기판의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101977435B1
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：KR1020150007206
申请日：2015-01-15
申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
发明人： 마츠이,하루노부 , 하라다,다이지츠 , 다케우치,마사키
IPC分类号： B24B7/24 , C03C3/06

4. 发明授权

KR101612153B1 합성 석영 유리 기판용 연마제 및 합성 석영 유리 기판의 제조 방법 有权
标题翻译：合成石英玻璃基板抛光浆料和合成石英玻璃基板的制造
公开(公告)号：KR101612153B1
公开(公告)日：2016-04-12
申请号：KR1020120129865
申请日：2012-11-16
申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
发明人： 마츠이,하루노부 , 하라다,다이지츠 , 다케우치,마사키
IPC分类号： C09K3/14 , B24B1/00 , H01L21/304
CPC分类号： C09K13/00 , B24B7/241 , C03C19/00 , C09G1/02 , C09K13/02
摘要： 본발명은 (i) -[발린-프롤린-글리신-발린-글리신]-으로표시되는펜타펩티드를반복단위로서가지며, 분자량이 800 내지 150,000인, 올리고펩티드또는상기펜타펩티드와이것과공중합가능한다른단량체와의공중합체, (ii) 콜로이드용액을 포함하는합성석영유리기판용연마제를제공한다. 본발명에따르면, 특히포토마스크, 나노임프린트, 자기디스크등의반도체관련재료에있어서중요한광 리소그래피법에사용되는합성석영유리기판등의합성석영유리의제조에있어서, 기판표면의고감도결함검사장치에서검출되는결함을적게할 수있고, 또한긴 연마수명으로사용할수 있기때문에, 제조품질의향상뿐만아니라, 환경으로의부하나비용측면에서도유익해진다.

5. 发明公开

KR1020150143330A 합성 석영 유리 기판의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：制备合成石英玻璃基材的方法
公开(公告)号：KR1020150143330A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：KR1020150081739
申请日：2015-06-10
申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
发明人： 하라다,다이지츠 , 시로타,가즈오 , 야기,히사시 , 다케우치,마사키
IPC分类号： G01N21/23 , G01N21/41 , B24B7/00
CPC分类号： C03C17/00 , B28D1/00 , C03C19/00 , G01N21/23 , G01N21/958
摘要： 본발명은합성석영유리블록을준비하는공정과, 상기합성석영유리블록의임의의면과그것에대향하는면의 2면에대해서복굴절을측정하는파장에있어서의투과율이 99.0%/mm 이상인액체를도포하는공정과, 한쪽의도포면으로부터입사하고다른쪽의도포면으로부터출사하는광에의해합성석영유리블록의복굴절을측정하는공정과, 얻어진복굴절률에기초하여합성석영유리블록의양호·불량선별을행하는공정을포함하는합성석영유리기판의제조방법에관한것이다. 본발명에따르면, 엑시머레이저조사, 특히 ArF 엑시머레이저조사, 또한한 ArF 액침기술등에도사용되는레티클, 포토마스크용합성석영유리기판용으로서각각의그레이드에적합한기판을합성석영유리기판의제조공정의비교적빠른단계인연삭공정등의가공공정전에선별할수 있기때문에, 합성석영유리기판의생산성을높여서, 경제적으로제조할수 있는방법을제공하는것이가능하게된다.
摘要翻译：本发明涉及一种制造合成石英玻璃基板的方法，包括：制备合成石英玻璃块的方法; 扩散波长为99.0％/ mm以上的渗透率的液体的方法，以测量两个表面，合成石英玻璃块的任意表面和与其对应的表面的双折射; 使用从一个展开面引入的光然后从另一个展开面发射的方式测量合成石英玻璃块的双折射的过程; 以及基于所获得的双折射来分选合成石英玻璃块是否良好的处理。本发明提高合成石英玻璃基板的生产率，通过将适用于各等级的基板分类为用于分划板和用于准分子激光照射的光掩模的合成石英玻璃基板，ArF准分子激光照射和ArF浸渍在诸如抛光工艺的加工过程之前的技术，其是合成石英玻璃基板制造工艺中相对较早的步骤。

6. 发明公开

KR1020150087112A 합성 석영 유리 기판의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：制备合成石英玻璃基材的方法
公开(公告)号：KR1020150087112A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：KR1020150007206
申请日：2015-01-15
申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
发明人： 마츠이,하루노부 , 하라다,다이지츠 , 다케우치,마사키
IPC分类号： B24B7/24 , B24B29/00
CPC分类号： B24B7/241 , C03C3/06 , C03C2204/08 , B24B29/00
摘要： 본발명은정밀연마전에계면활성제가첨가되어있는수용액에합성석영유리기판을침지시킨후, 콜로이달실리카수분산액을사용하여합성석영유리기판을정밀연마하는것을특징으로하는합성석영유리기판의제조방법을제공한다. 본발명에따르면, 일반적인콜로이달실리카지립을사용한연마슬러리를사용한경우보다도연마레이트를향상시키면서, 기판표면의결함수가적고, 또한면 거칠기가작은합성석영유리기판을제조하는것이가능해진다. 또한, 기판을제조하기위한시간이적어지기때문에, 제조공정의슬림화, 비용절감으로도이어진다.
摘要翻译：本发明提供一种制备合成石英玻璃基板的方法，包括：将合成石英玻璃基板浸入加入表面活性剂的水溶液中; 以及使用胶体二氧化硅分散液精确研磨合成石英玻璃基板的工序。根据本发明，与使用由典型的胶体二氧化硅磨料颗粒制成的研磨浆料的方法相比，制备合成石英玻璃基材的方法提高了研磨速度; 并且允许制备具有少量缺陷和低表面粗糙度的合成石英玻璃基板。除此之外，制备合成石英玻璃基板的方法通过减少制备基板的时间来降低制备工艺和成本。

7. 发明公开

KR1020130054179A 기판의 제조 방법 有权
标题翻译：制备基材的方法
公开(公告)号：KR1020130054179A
公开(公告)日：2013-05-24
申请号：KR1020120128496
申请日：2012-11-14
申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
发明人： 마츠이,하루노부 , 하라다,다이지츠 , 와타베,아츠시 , 우에다,슈헤이 , 다케우치,마사키
IPC分类号： H01L21/304 , B24B37/04 , B24B37/24 , B24D3/28
CPC分类号： B24B37/042 , B24B37/044 , B24B37/24 , B24D3/28 , H01L21/304
摘要： PURPOSE: A method for manufacturing a substrate is provided to improve productivity by extending the use time of a polishing pad. CONSTITUTION: A polishing pad has a nap layer. The nap layer is contacted with the substrate. The nap layer has air gaps. The nap layer is made of base resin. The base resin includes ether resin, ester resin, and polycarbonate resin.
摘要翻译：目的：提供一种用于制造基板的方法，以通过延长抛光垫的使用时间来提高生产率。构成：抛光垫具有薄层。绒毛层与基底接触。绒毛层具有气隙。薄层由基础树脂制成。基础树脂包括醚树脂，酯树脂和聚碳酸酯树脂。

8. 发明授权

KR102237371B1 합성 석영 유리의 열 처리 방법 有权
公开(公告)号：KR102237371B1
公开(公告)日：2021-04-07
申请号：KR1020150022024
申请日：2015-02-13
申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
发明人： 야기,히사시 , 다케우치,마사키 , 하라다,다이지츠
IPC分类号： C03B25/00
摘要： 본발명은 OH기농도의최댓값과최솟값의차(ΔOH)가 350ppm 미만인합성석영유리를 1150 내지 1060℃에서일정시간유지하는제1 열처리공정과, 제2 열처리온도까지일정속도로냉각하는냉각공정과, 1030 내지 950℃에서일정시간유지하는제2 열처리공정과, -25 내지 -85℃/시간의속도로서냉하는공정을 포함하는합성석영유리의열 처리방법이며, 상기제2 열처리공정시간이 5시간이상인합성석영유리의열 처리방법을제공한다. 본발명에따르면, 2단계의열 처리를행함으로써, ArF 엑시머레이저용광학부재로서레이저의조사를받는유효범위내에서적합한저복굴절률의합성석영유리를얻을수 있다.

9. 发明授权

KR101977418B1 산화세륨의 회수 방법 有权
公开(公告)号：KR101977418B1
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：KR1020120148046
申请日：2012-12-18
申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
发明人： 마츠이,하루노부 , 하라다,다이지츠 , 다케우치,마사키
IPC分类号： B24B57/02 , B01D21/01 , C02F1/52 , B24B37/00

10. 发明公开

KR1020160134506A 기판의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：生产基材的方法
公开(公告)号：KR1020160134506A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：KR1020160056868
申请日：2016-05-10
申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
发明人： 마츠이,하루노부 , 하라다,다이지츠 , 다케우치,마사키
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/306 , H01L21/02 , B24B37/005 , B24B37/04
CPC分类号： B24B37/10 , B24B7/228 , B24B7/241 , B24B37/042 , B24B37/08
摘要： 본발명은, 기판, 특히합성석영유리기판의가공에있어서, 킬러결함이될 수있는기판표면의결함을억제하고, 또한대규모의장치나고정밀도의정반을사용하지않고, 기존의설비를사용한가공에있어서의불량률을줄여, 수율을향상시킬수 있는기판의제조방법을제공한다. 하부정반상에설치된캐리어에형성된워크홀 중에기판을보유지지하고, 해당기판표면에충격흡수액이도포된상태에서하부정반을회전시키면서상부정반을상기기판표면에착반시키고, 계속해서상기기판표면에연마슬러리를동반하면서상하정반을회전시켜상기기판을연마가공하는공정을포함하는기판의제조방법을제공한다.
摘要翻译：这里提出的是用于生产基材，特别是合成石英玻璃的基板的方法，同时将基材表面免除杀伤缺陷，而不需要使用任何大型装置和精密抛光板，从而比常规设备的生产减少缺陷并提高产量。通过研磨制造基板的方法包括以下步骤：将基板原料分别放置在下抛光板上的载体形成的工作孔中，使上抛光板与基板原料的表面接触，基板原料的表面涂覆有冲击吸收液体，并且下抛光板旋转，并且随着基材料的表面伴随有抛光浆料而旋转上和下抛光板。

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