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1. 发明公开

KR1020030087941A 유기 전계 발광 소자의 제조 방법 및 제조 장치, 및 유기전계 발광 소자를 이용한 표시장치의 제조 시스템 및 제조방법 失效
标题翻译：制造有机电致发光器件的方法和装置，以及制造系统和制造方法
公开(公告)号：KR1020030087941A
公开(公告)日：2003-11-15
申请号：KR1020030028798
申请日：2003-05-07
申请人： 소니 주식회사
发明人： 가미야마이사오 , 모리다까오 , 야마구찌마사루
IPC分类号： H05B33/10
CPC分类号： H05B33/10 , C23C14/568 , H01L51/001 , H01L51/56
摘要： 기판 상에 복수의 층들이 순차적으로 적층되어 이루어지는 유기 전계 발광 소자를 제조하는 데 있어서, 기판이 병렬 배치된 복수의 증착원(142a)∼(142d)과 대향하는 위치를 순차적으로 통과하도록, 피 성막물인 기판(2)과 각 증착원(142a)∼(142d)과의 상대 위치를 가변시켜, 그 기판(2) 상의 성막 부분에 복수층을 적층시킨다.

2. 发明授权

KR100945997B1 유기 전계 발광 소자의 제조 방법 및 제조 장치, 및 유기전계 발광 소자를 이용한 표시장치의 제조 시스템 및 제조방법 失效
标题翻译：用于制造有机电致发光器件的方法和装置，以及使用有机电致发光器件制造显示器的系统和方法
公开(公告)号：KR100945997B1
公开(公告)日：2010-03-09
申请号：KR1020030028798
申请日：2003-05-07
申请人： 소니 주식회사
发明人： 가미야마이사오 , 모리다까오 , 야마구찌마사루
IPC分类号： H05B33/10
CPC分类号： H05B33/10 , C23C14/568 , H01L51/001 , H01L51/56
摘要： 기판 상에 복수의 층들이 순차적으로 적층되어 이루어지는 유기 전계 발광 소자를 제조하는 데 있어서, 기판이 병렬 배치된 복수의 증착원(142a)∼(142d)과 대향하는 위치를 순차적으로 통과하도록, 피 성막물인 기판(2)과 각 증착원(142a)∼(142d)과의 상대 위치를 가변시켜, 그 기판(2) 상의 성막 부분에 복수층을 적층시킨다.
반도체 장치, 유기 전계 발광 소자, 증착원, 전송 지그, 표시 장치

3. 发明公开

KR1020020095081A 유기 전계발광 표시장치를 제조하는 장치 및 방법 无效
标题翻译：成膜装置和成膜方法
公开(公告)号：KR1020020095081A
公开(公告)日：2002-12-20
申请号：KR1020020029287
申请日：2002-05-27
申请人： 소니 주식회사
发明人： 모리다카오 , 야마구찌마사루 , 가미야마이사오
IPC分类号： H05B33/10
CPC分类号： H01L51/56 , C23C14/022 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/568 , H01L27/12 , H01L27/3211 , H01L27/3244 , H01L27/3295 , H01L51/0008
摘要： PURPOSE: To provide a film-forming device and a film-forming method with which a tact time of an organic layer forming process for an organic EL display equipment can be shortened and useless consumption of organic materials for formation of an organic layer can be curbed. CONSTITUTION: The device is composed of an alignment room 53 where masks for film-forming with openings corresponding to a specified pattern are aligned with a substrate on which is formed an anode electrode layer and equipped with an alignment mechanism coupling the masks for film-forming with the substrate in free detachment, of vacuum processing rooms 62, 63, 64 where a plurality of organic material layers are sequentially formed on the substrate coupled with the masks for film-forming, and of a conveyance robot 45 which conveys the masks for film-forming and the substrate in a coupled state by the alignment mechanism to one of the vacuum processing rooms 62, 63, 64 and conveys them sequentially among the vacuum processing rooms 62, 63, 64.
摘要翻译：目的：提供可以缩短有机EL显示设备的有机层形成工艺的触控时间并且可以抑制用于形成有机层的有机材料的无用消耗的成膜装置和成膜方法。构成：该装置由对准室53构成，其中用于成膜的用于形成与具体图案对应的开口的掩模与其上形成阳极电极层的基板对齐，并配备有将成膜用掩模其中基板处于自由分离的真空处理室62,63,64中，其中多个有机材料层顺序地形成在与用于成膜的掩模耦合的基板上，以及传送机器人45，其传送用于膜的掩模以及通过对准机构处于耦合状态的基板到真空处理室62,63,64中的一个，并且在真空处理室62,63,64之间依次传送它们。

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