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1. 发明授权

KR101704901B1 전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오 센서 및 이의 제조방법 有权
标题翻译：使用场效应晶体管的生物传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR101704901B1
公开(公告)日：2017-02-10
申请号：KR1020150059947
申请日：2015-04-28
申请人： 성균관대학교산학협력단
发明人： 이내응 , 김보영 , 손일융
IPC分类号： G01N27/414 , G01N33/53
摘要： 전계효과트랜지스터를이용한바이오센서가개시된다. 전계효과트랜지스터를이용한바이오센서는기판; 상기기판상에형성된 2차원물질; 상기기판상에형성되고일부분이상기 2차원물질과전기적으로연결된소스전극; 상기기판상에형성되고상기소스전극과이격된상태로일부분이상기 2차원물질과전기적으로연결된드레인전극; 상기 2차원물질이노출되도록상기 2차원물질의주변을둘러싸는형태로상기기판, 상기소스전극및 상기드레인전극상에형성된절연층; 상기 2차원물질로부터수직한방향을따라상기 2차원물질상에형성된 1차원구조체들; 상기 1차원구조체들표면에각각형성된제1 보호층; 상기제1 보호층표면에배치되고특정항원과반응할수 있는항체; 상기절연층상에형성된제2 보호층; 및상기제2 보호층상에형성되고, 상기 2차원물질및 상기 1차원구조체들이노출될수 있도록상하면이개방되어있으며, 특정항원을포함하는용액을수용할수 있는케이스를포함한다.

2. 发明公开

KR1020170049073A 전계효과 트랜지스터형 바이오 센서 어레이 제조방법 및 미세유체소자를 포함하는 전계효과 트랜지스터형 바이오 센서 어레이 제조방법 有权
标题翻译：用于制造场效应晶体管型生物传感器阵列的方法和用于制造包括微流体装置的场效应晶体管型生物传感器阵列的方法
公开(公告)号：KR1020170049073A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：KR1020150149985
申请日：2015-10-28
申请人： 성균관대학교산학협력단
发明人： 이내응 , 손일융 , 김보영 , 손영민 , 이원일
IPC分类号： G01N27/414 , B82B3/00 , B82Y15/00 , B82Y30/00
摘要： 전계효과트랜지스터형바이오센서어레이제조방법이개시된다. 전계효과트랜지스터형바이오센서어레이제조방법은기판상에 2차원나노재료로이루어진채널층을배치하는단계; 상기채널층상에희생층을배치하는단계; 상기희생층상에제1 포토레지스트를배치하고상기제1 포토레지스트를노광하여제1 패턴을형성하는단계; 패터닝된상기제1 포토레지스트를마스크로이용하고상기채널층및 상기희생층을식각하여상기기판상에상기제1 패턴에대응하는복수개의나노재료구조체들을형성하는단계; 상기복수개의나노재료구조체들상에제2 포토레지스트를배치하고상기제2 포토레지스트를노광하여제2 패턴을형성하는단계; 패터닝된상기제2 포토레지스트를마스크로이용하고상기복수개의나노재료구조체의희생층을식각하여상기복수개의나노재료구조체의채널층상에소스전극과드레인전극이각각형성될영역을형성하는단계; 상기복수개의나노재료구조체의채널층상에소스전극과드레인전극을각각형성하는단계; 상기기판, 상기소스전극및 상기드레인전극을각각보호하는보호층을배치하는단계; 및상기보호층을마스크로이용하고상기소스전극과상기드레인전극사이의채널층을노출시키는단계를포함한다.
摘要翻译：公开了一种制造场效应晶体管型生物传感器阵列的方法。一种制造场效应晶体管生物传感器阵列的方法包括：将由二维纳米材料制成的沟道层设置在衬底上; 在沟道层上设置牺牲层; 在牺牲层上设置第一光致抗蚀剂并暴露第一光致抗蚀剂以形成第一图案; 使用图案化的第一光致抗蚀剂作为掩模蚀刻沟道层和牺牲层，以在衬底上形成对应于第一图案的多个纳米材料结构; 在所述多个纳米材料结构上布置第二光致抗蚀剂并暴露所述第二光致抗蚀剂以形成第二图案; 利用图案化的第二光致抗蚀剂作为掩模，和形成的区域在所述源电极和由牺牲层蚀刻到所述多个所述多个纳米材料结构的纳米材料结构中的沟道层的漏极电极上形成; 在所述多个纳米材料结构的沟道层上分别形成源电极和漏电极; 设置分别用于保护衬底，源电极和漏电极的保护层; 并且使用保护层作为掩模在源电极和漏电极之间暴露沟道层。

3. 发明公开

KR1020160128542A 전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오 센서 및 이의 제조방법 有权
标题翻译：使用场效应晶体管的生物传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020160128542A
公开(公告)日：2016-11-08
申请号：KR1020150059947
申请日：2015-04-28
申请人： 성균관대학교산학협력단
发明人： 이내응 , 김보영 , 손일융
IPC分类号： G01N27/414 , G01N33/53
摘要： 전계효과트랜지스터를이용한바이오센서가개시된다. 전계효과트랜지스터를이용한바이오센서는기판; 상기기판상에형성된 2차원물질; 상기기판상에형성되고일부분이상기 2차원물질과전기적으로연결된소스전극; 상기기판상에형성되고상기소스전극과이격된상태로일부분이상기 2차원물질과전기적으로연결된드레인전극; 상기 2차원물질이노출되도록상기 2차원물질의주변을둘러싸는형태로상기기판, 상기소스전극및 상기드레인전극상에형성된절연층; 상기 2차원물질로부터수직한방향을따라상기 2차원물질상에형성된 1차원구조체들; 상기 1차원구조체들표면에각각형성된제1 보호층; 상기제1 보호층표면에배치되고특정항원과반응할수 있는항체; 상기절연층상에형성된제2 보호층; 및상기제2 보호층상에형성되고, 상기 2차원물질및 상기 1차원구조체들이노출될수 있도록상하면이개방되어있으며, 특정항원을포함하는용액을수용할수 있는케이스를포함한다.

4. 发明授权

KR101255189B1 자기조립 단분자층의 프린팅 방법을 이용한 환원된 산화 그래핀 패턴을 포함하는 바이오센서의 제조방법 및 이에 따라 제조된 바이오센서 有权
标题翻译：制备生物传感器的方法，使用自组装单层印刷机和生物传感器进行还原的石墨氧化物图案的制备
公开(公告)号：KR101255189B1
公开(公告)日：2013-04-22
申请号：KR1020110043645
申请日：2011-05-09
申请人： 성균관대학교산학협력단
发明人： 이내응 , 박준식 , 정창룡 , 손일융 , 윤옥자 , 김덕진
IPC分类号： G01N27/327 , G01N27/30
摘要： 본 발명은 환원된 산화 그래핀 패턴을 포함하는 바이오센서 제조방법 및 이에 따라 제조된 바이오센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 프린팅 방법을 이용하여 선택적으로 자기조립 단분자층을 형성한 후 상기 자기조립 단분자층에 환원된 산화 그래핀을 흡착시키는 것을 특징으로 하는 환원된 산화 그래핀 패턴을 포함하는 바이오센서의 제조방법 및 이에 따라 제조된 바이오센서에 관한 것이다.

5. 发明授权

KR101767607B1 전계효과 트랜지스터형 바이오 센서 어레이 제조방법 및 미세유체소자를 포함하는 전계효과 트랜지스터형 바이오 센서 어레이 제조방법 有权
公开(公告)号：KR101767607B1
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：KR1020150149985
申请日：2015-10-28
申请人： 성균관대학교산학협력단
发明人： 이내응 , 손일융 , 김보영 , 손영민 , 이원일
IPC分类号： G01N27/414 , B82B3/00 , B82Y15/00 , B82Y30/00
摘要： 전계효과트랜지스터형바이오센서어레이제조방법이개시된다. 전계효과트랜지스터형바이오센서어레이제조방법은기판상에 2차원나노재료로이루어진채널층을배치하는단계; 상기채널층상에희생층을배치하는단계; 상기희생층상에제1 포토레지스트를배치하고상기제1 포토레지스트를노광하여제1 패턴을형성하는단계; 패터닝된상기제1 포토레지스트를마스크로이용하고상기채널층및 상기희생층을식각하여상기기판상에상기제1 패턴에대응하는복수개의나노재료구조체들을형성하는단계; 상기복수개의나노재료구조체들상에제2 포토레지스트를배치하고상기제2 포토레지스트를노광하여제2 패턴을형성하는단계; 패터닝된상기제2 포토레지스트를마스크로이용하고상기복수개의나노재료구조체의희생층을식각하여상기복수개의나노재료구조체의채널층상에소스전극과드레인전극이각각형성될영역을형성하는단계; 상기복수개의나노재료구조체의채널층상에소스전극과드레인전극을각각형성하는단계; 상기기판, 상기소스전극및 상기드레인전극을각각보호하는보호층을배치하는단계; 및상기보호층을마스크로이용하고상기소스전극과상기드레인전극사이의채널층을노출시키는단계를포함한다.

6. 发明授权

KR101437289B1 3차원 그래핀 소자의 제작 방법 및 이를 포함한 센서 有权
标题翻译：制造三维图形装置和包含其的传感器的方法
公开(公告)号：KR101437289B1
公开(公告)日：2014-09-02
申请号：KR1020130097958
申请日：2013-08-19
申请人： 성균관대학교산학협력단
发明人： 이내응 , 김덕진 , 조형진 , 박준식 , 손일융
IPC分类号： B81C1/00 , G01N27/00
摘要： The present invention relates to a method of forming a three-dimensional graphene device by forming graphene on a three-dimensional microstructure a method of producing an electronic device, such as chemical/bio sensors by using the combination of a one-dimensional nanomaterial (nanowire and nanotube) and a zero-dimensional nanowire (nanoparticles and quantum dots). The three-dimensional microstructure is produced by a selective exposure technique of a light-sensitive polymer. The formation of the three-dimensional structure by the adsorption of a two-dimensional material including graphene is possible by the formation of an oxide film and the formation of a self-assembled monolayer. Further, the present invention includes a method of producing the zero-dimensional nanomaterial and the one-dimension nanomaterial on the three-dimensional graphene structure.
摘要翻译：本发明涉及一种通过在三维微结构上形成石墨烯来形成三维石墨烯装置的方法，该方法通过使用一维纳米材料（纳米线）的组合来生产电子器件，例如化学/生物传感器和纳米管）和零维纳米线（纳米粒子和量子点）。通过感光聚合物的选择性曝光技术产生三维微结构。通过形成氧化膜并形成自组装单层，可以通过吸附包括石墨烯在内的二维材料形成三维结构。此外，本发明包括在三维石墨烯结构上制造零维纳米材料和一维纳米材料的方法。

7. 发明公开

KR1020120125906A 자기조립 단분자층의 프린팅 방법을 이용한 환원된 산화 그래핀 패턴을 포함하는 바이오센서의 제조방법 및 이에 따라 제조된 바이오센서 有权
标题翻译：制备生物传感器的方法，使用自组装单层印刷机和生物传感器进行还原的石墨氧化物图案的制备
公开(公告)号：KR1020120125906A
公开(公告)日：2012-11-19
申请号：KR1020110043645
申请日：2011-05-09
申请人： 성균관대학교산학협력단
发明人： 이내응 , 박준식 , 정창룡 , 손일융 , 윤옥자 , 김덕진
IPC分类号： G01N27/327 , G01N27/30
摘要： PURPOSE: A method for manufacturing a bio sensor including restored oxide graphene patterns and the bio sensor manufactured by the same are provided to minimize contamination caused by impurities, thereby removing the influence of an electron caused by scattering impurities on a surface and a positive hole carrier. CONSTITUTION: A method for manufacturing a bio sensor including restored oxide graphene patterns comprises next steps. Self-assembled monolayer patterns(230) having a positive charge is formed on a surface of a base by using a printing method. A restored oxide graphene having a negative charge is absorbed to the self-assembled monolayer patterns formed on the surface of the base so that restored oxide graphene patterns(250) is formed. Electrodes(260) are formed in both end parts of the restore oxide graphene patterns. A biomaterial fixing bio-material immobilization linker(290) is formed on the restored oxide graphene patterns. Bio-materials are fixed to the bio-material immobilization linker.
摘要翻译：目的：提供一种用于制造包括恢复的氧化石墨烯图案的生物传感器和由其制造的生物传感器的方法，以最小化由杂质引起的污染，从而消除由表面和空穴载体上散射杂质引起的电子的影响。构成：用于制造包括恢复的氧化石墨烯图案的生物传感器的方法包括以下步骤。通过使用印刷法在基材的表面上形成具有正电荷的自组装单层图案（230）。具有负电荷的恢复的氧化石墨烯被吸收到形成在基底表面上的自组装单层图案，从而形成恢复的氧化石墨烯图案（250）。电极（260）形成在恢复氧化石墨烯图案的两端部。在恢复的氧化石墨烯图案上形成生物材料固定生物材料固定接头（290）。将生物材料固定在生物材料固定接头上。

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