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    • 4. 发明授权
    • 기판정렬장치 및 기판정렬방법
    • 用于对准衬底的装置和方法
    • KR100647577B1
    • 2006-11-17
    • KR1020020032854
    • 2002-06-12
    • 삼성에스디아이 주식회사
    • 한상진김진규송관섭
    • H05B33/10
    • 본 발명은, 기판의 처짐을 방지 또는 완화하여, 기판을 하강시킨 상태에서 상기 기판을 상기 마스크에 긁히지 않도록 수평으로 이동시킬 수 있는 기판정렬장치와 기판정렬방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
      이 목적을 달성하기 위하여,
      기판의 가장자리를 지지할 수 있는 기판지지부 및 상기 기판지지부의 단부 중 적어도 일부에 상향으로 형성된 돌출부를 구비하며, 수직 및 수평의 방향으로 이동될 수 있는 하나 이상의 지지테이블;
      상기 지지테이블의 위에 위치하며, 수직 및 수평의 방향으로 이동될 수 있는 지지부재; 및
      상기 지지부재에 의하여 지지되며, 상기 돌출부의 후방에 인접해서 상기 기판의 가장자리를 가압함으로써, 기판을 고정시키고 상기 기판의 가장자리에 기판처짐의 역방향으로 모멘트를 가할 수 있는 기판가압부재;를 포함하는 기판정렬장치를 제공한다.
    • 6. 发明公开
    • 기판정렬장치 및 기판정렬방법
    • 用于对准基板的装置和方法
    • KR1020030095580A
    • 2003-12-24
    • KR1020020032854
    • 2002-06-12
    • 삼성에스디아이 주식회사
    • 한상진김진규송관섭
    • H05B33/10
    • H01L51/0012C23C14/042C23C14/50H01L51/0011
    • PURPOSE: An apparatus and a method for aligning a substrate are provided to prevent a drooping phenomenon of the substrate by using a projection portion. CONSTITUTION: An apparatus for aligning a substrate includes one or more support tables(110), a support member(120), and a substrate pressing member(140). The support table(110) includes a substrate support portion(111) and a projection portion. The substrate support portion(111) supports edges of a substrate(11). The projection portion is projected from a part of end portions of the substrate support portion(111). The support member(120) is located on the support table(110) in order to be moved to the vertical direction or the horizontal direction. The substrate pressing member(140) is supported by the support member(120). The substrate pressing member(140) is used for pressing the edges of the substrate(11) and fixing the substrate(11).
    • 目的:提供一种用于对准衬底的装置和方法,以通过使用突出部分来防止衬底的下垂现象。 构成:用于对准衬底的装置包括一个或多个支撑台(110),支撑构件(120)和衬底按压构件(140)。 支撑台(110)包括基板支撑部(111)和突出部。 衬底支撑部分(111)支撑衬底(11)的边缘。 突出部从基板支撑部(111)的端部的一部分突出。 支撑构件(120)位于支撑台(110)上,以便移动到垂直方向或水平方向。 基板按压部件(140)由支撑部件(120)支撑。 基板按压部件(140)用于按压基板(11)的边缘并固定基板(11)。
    • 10. 发明公开
    • 레이저 용접 장치
    • 激光焊接设备
    • KR1020120105243A
    • 2012-09-25
    • KR1020110022939
    • 2011-03-15
    • 삼성에스디아이 주식회사
    • 고태영김진규노성지
    • B23K26/142B23K26/16B23K26/21B23K26/70
    • PURPOSE: A laser welding apparatus is provided to protect a welded portion with inactive gas and smoothly discharge fume and inactive gas through an exhaust block by spraying inactive gas through a spray port of a gas spray block in scan-type laser welding. CONSTITUTION: A laser welding apparatus comprises a gas spray block(10), an exhaust block(20), a laser protection glass(30), and a laser head(40). The gas spray block sprays inactive gas to a welded portion of a work piece. The exhaust block is installed above the gas spray block and discharges fume and inactive gas produced during welding. The laser protection glass is installed above the exhaust block. The laser head is arranged above the laser protection glass and irradiates the welded portion with a laser beam. The gas spray block includes a chamber formed on the outer periphery of a first space letting a laser beam through, a gas inlet(13) connecting the chamber to outside for drawing in inactive gas, and a spray port(14) connecting the chamber to the first space to spray the inactive gas to the welded portion.
    • 目的:提供一种激光焊接设备,用于通过在扫描型激光焊接中通过气体喷射块的喷射口喷射惰性气体,通过惰性气体保护焊接部分并平滑地排出烟气和惰性气体。 构成:激光焊接装置包括气体喷射块(10),排气块(20),激光保护玻璃(30)和激光头(40)。 气体喷射块将惰性气体喷射到工件的焊接部分。 排气块安装在气体喷射块上方,并排出焊接过程中产生的烟雾和非活性气体。 激光保护玻璃安装在排气块上方。 激光头设置在激光保护玻璃上方并用激光束照射焊接部分。 气体喷射块包括形成在使激光束穿过的第一空间的外周上的腔室,将腔室连接到外部以吸入惰性气体的气体入口(13)和将腔室连接到 第一个将惰性气体喷射到焊接部分的空间。