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1. 发明公开

KR1020170097427A 기화기 및 이를 구비하는 박막 증착 장치 审中-实审
标题翻译：具有蒸发器的蒸发器和薄膜沉积装置
公开(公告)号：KR1020170097427A
公开(公告)日：2017-08-28
申请号：KR1020160019165
申请日：2016-02-18
申请人： 삼성전자주식회사 , 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 심현식 , 니시카와이치로 , 오정석 , 김재석 , 김호곤 , 데라사카마사노리 , 이준원 , 김형호 , 최혁열 , 하마다마사시 , 신동옥 , 염장현 , 이태훈 , 이혁재 , 최상진
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/205 , H01L21/54
CPC分类号： C23C16/4412 , C23C16/4481 , C23C16/455
摘要： 본발명의기술적사상은높이방향으로좁아지는상단부를가지는제1 바디, 상기제1 바디가수용되는캐비티가형성된제2 바디, 및상기제1 바디와상기제2 바디에사이에형성된혼합실을포함하며, 상기제2 바디는, 상기혼합실의상부에형성된캐리어가스주입구와연결되고, 상기혼합실로주입되는캐리어가스가이동하는캐리어가스주입경로와, 상기혼합실에형성된원료주입구와연결되고, 상기혼합실로주입되는액상의원료가이동하는원료주입경로와, 상기혼합실의하부에형성된배출구와연결되고, 상기혼합실로부터배출된상기캐리어가스와상기원료가혼합된혼합유체가이동하는배출경로를가지는것을특징으로하는기화기를제공한다.
摘要翻译：本发明的技术特征包括所述第二本体与所述第一主体和所述第二主体之间界定的混合室是第一主体，其中，所述第一主体被收纳用的上端部的空腔的高度的方向变窄，形成并且，第一和第二主体，并与形成在所述混合物破碎顶部的载气导入口相连接，具有用于确实注入的载气，混合运动，形成在所述混合腔室中的原料入口，混合载气导入路径连接和原始材料注射通道向液体运动的原料是确实注入，连接到形成在破碎下部的混合物排出口，具有放电路径到混合室中的所述载气和原料混合的混合流体从移动排出提供蒸发器。

2. 发明公开

KR1020160076431A 유체 가열기 审中-实审
标题翻译：流体加热器
公开(公告)号：KR1020160076431A
公开(公告)日：2016-06-30
申请号：KR1020150165661
申请日：2015-11-25
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 다구치아키히로 , 하마다마사시 , 야다히데타카
IPC分类号： H01L21/324 , H01L21/67
CPC分类号： F24H1/142
摘要： 본발명은, 소형화가용이하고, 염가로제조할수 있으며, 또, 안정된가열성능을얻는것이며, 유체를히터(232)에의해가열하는유체가열기(23)로서, 상기유체를도입하는도입구(231a) 및상기유체를도출하는도출구(231b)를가지는내부유로(231R)가형성됨과아울러, 소정의축방향으로연장하는히터삽입부(231H)가형성된가열블록(231)을구비하며, 상기내부유로(231R)가, 상기소정의축방향으로연장하는복수의주 유로부(231R1)와, 상기복수의주 유로부(231R1)를접속하는하나또는복수의접속유로부(231R2)를가진다.
摘要翻译：本发明涉及容易小型化的流体加热器（23），可以以低成本制造，获得稳定的加热性能，并通过加热器（232）加热流体。流体加热器包括：加热块（231），其设有具有用于引入流体的入口（231a）和用于排出流体的出口（231b）的内部流路（231R），以及加热器插入部分），其中所述内流路（231R）包括在所述预定轴向延伸的多个主流路部（231R1）和与所述内流路（231R）连接的一个或多个连通流路部（231R2）主流路部分（231R1）。

3. 发明公开

KR1020160076430A 기화 시스템 审中-实审
标题翻译：蒸发系统
公开(公告)号：KR1020160076430A
公开(公告)日：2016-06-30
申请号：KR1020150165408
申请日：2015-11-25
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 다구치아키히로 , 하마다마사시 , 야다히데타카
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/205 , H01L21/54 , H01L21/324
CPC分类号： F22D5/30 , F22B1/285 , F22D5/34
摘要： 본발명은, 기화기의내부에유량제어기기를장착하기위한유로를형성하지않고, 기화시스템에서의배관을불필요하게하여기화시스템을소형화하는것이며, 액체재료를기화하는기화기(21)와, 상기기화기(21)로의액체재료의공급량을제어하는공급량제어기기(22)와, 내부에유로가형성됨과아울러, 상기기화기(21) 및상기공급량제어기기(22)가장착되는기기장착면(B1x)을가지는매니폴드블록(B)을구비하며, 상기기화기(21) 및상기공급량제어기기(22)가, 상기기기장착면(B1x)에장착되는것에의해, 상기유로(R1~R4)를통해서연결되도록구성되어있다.
摘要翻译：本发明涉及一种蒸发系统，其中不需要在汽化器中形成用于安装流量控制装置的流动通道，并且不需要蒸发系统中的管道来使蒸发系统小型化。蒸发系统包括：蒸发器（21），其蒸发液体材料; 供给量控制装置（22），其控制供给到蒸发器（21）的液体材料的量; 以及在其中设置有流路的歧管块（B），并具有用于安装蒸发器（21）和供给量控制装置（22）的装置安装面（B1x），其中，蒸发器（21）和供给量控制装置（22）安装在装置安装面（B1x）上，通过流路（R1〜R4）连接。

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