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1. 发明授权

KR100546367B1 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치, 이를 구비한 가스스크러버 및 흡착제의 잔류 수명 확인 방법 有权
标题翻译：用于识别吸收剂的残留寿命的检测器，包括检测器的气体洗涤器和识别吸收剂的剩余寿命的方法
公开(公告)号：KR100546367B1
公开(公告)日：2006-01-26
申请号：KR1020030058250
申请日：2003-08-22
申请人： 삼성전자주식회사 , 코아텍주식회사
发明人： 강형돈 , 박진석 , 이동규 , 조도현 , 김필원 , 허종렬
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： B01D53/0454
摘要： 본 발명은 유해한 배기 가스를 처리하기 위한 가스 스크러버 내에 포함된 흡착제의 잔류 수명을 확인하는 감지 장치, 이 감지 장치를 포함하는 가스 스크러버 및 흡착제의 잔류를 수명을 확인하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 감지 장치는 흡착제의 흡착 능력 소모로 인해 미처리된 배기 가스와 직접 반응하여 변색될 수 있는 고상형 약재와, 이 고상형 약재를 내부에 수용하여 상기 고상형 약재의 변색 여부를 외부에서 육안으로 식별할 수 있도록 설치된 검지창과, 상기 검지창의 상측 및 하측 단부에 위치한 체결부를 포함한다. 이 검지창을 통하여 고상형 약재의 변색 상태를 직접 육안으로 관찰함으로써 지속적이고 안정적으로 흡착제의 잔류 수명 및 흡착제의 교체 시기를 확인할 수 있다. 이에 따라 가스 스크러버의 처리 능력에 대한 신뢰성을 확보할 수 있다.
가스 스크러버, 흡착제

2. 发明公开

KR1020050020358A 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치, 이를 구비한 가스스크러버 및 흡착제의 잔류 수명 확인 방법 有权
标题翻译：检测单元具有固相式化学和检测窗口，用于检查吸附剂的残留残余物，具有该吸附剂的气体保护剂和检测吸附物残留寿命的方法
公开(公告)号：KR1020050020358A
公开(公告)日：2005-03-04
申请号：KR1020030058250
申请日：2003-08-22
申请人： 삼성전자주식회사 , 코아텍주식회사
发明人： 강형돈 , 박진석 , 이동규 , 조도현 , 김필원 , 허종렬
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： B01D53/0454
摘要： PURPOSE: A detecting unit for checking the residual lifetime of an adsorbent, a gas scrubber with the same and a method of checking the residual lifetime of the adsorbent are provided to check exactly the replacement time of the adsorbent by inspecting the change of color in a solid phase type chemical using a detection window. CONSTITUTION: A detecting unit(50) includes a solid phase type chemical, a detection window, and an upper and lower connection part. The solid phase type chemical(52) is capable of being changed in color due to an abnormal state of an adsorbent. The detection window(54) stores the solid phase type chemical, so that the change of color of the chemical is inspected through the detection window itself. The upper and lower connection parts(56,58) are installed on the detection window and under the detection window.
摘要翻译：目的：提供用于检查吸附剂的残留寿命的检测单元，具有该吸附剂的气体洗涤器和检查吸附剂的剩余寿命的方法，以通过检查吸附剂的颜色变化来精确检查吸附剂的更换时间使用检测窗的固相型化学品。构成：检测单元（50）包括固相型化学品，检测窗和上下连接部。由于吸附剂的异常状态，固相型化学物（52）能够变色。检测窗（54）存储固相型化学物质，使得通过检测窗口本身检查化学品的颜色变化。上下连接部分（56,58）安装在检测窗口和检测窗口下方。

3. 发明公开

KR1020030088252A 가스 공급 시스템 및 이의 가스 배출 방법 无效
标题翻译：气体供应系统及其排气方法
公开(公告)号：KR1020030088252A
公开(公告)日：2003-11-19
申请号：KR1020020026317
申请日：2002-05-14
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 허종렬 , 조도현 , 김필원 , 강형돈 , 임충현 , 최원석 , 이금희 , 이원정 , 서정석 , 권순홍
IPC分类号： H01L21/02
摘要： PURPOSE: A gas supply system and a gas exhausting method thereof are provided to be capable of minimizing the exhaust of gas residues by controlling the exhausted volume of the liquefied gas by-passed when abnormality happens to a semiconductor manufacturing process. CONSTITUTION: A gas supply system is provided with a gas supply part(50) for supplying the mixed gas of liquefied gas and carrier gas to a chamber(60), a gas removing part(58) located at a gas line(78) between the gas supply part and the chamber for removing the mixed carrier gas, and a gas exhaust part(70) connected with vacuum lines(80a,80b) branched off from the gas line and the gas removing part when abnormality happens to a semiconductor manufacturing process for filtering and exhausting the liquefied gas by-passed through the vacuum lines. The gas supply system further includes a gas detecting part(72) installed at the vacuum line for alarming a worker when detecting the by-passed liquefied gas and a flow control valve(74) installed at the vacuum line for controlling the flow of the by-passed liquefied gas.
摘要翻译：目的：提供一种气体供给系统及其排气方法，其能够通过在半导体制造过程中发生异常时通过控制被排出的液化气体的排出体积来最小化排气。构成：气体供应系统设置有气体供应部分（50），用于将液化气体和载体气体的混合气体供应到室（60），气体去除部分（58）位于气体管线（78）之间，气体供给部和用于除去混合载气的室，以及当从半导体制造过程发生异常时从与气体管线分支的真空管线（80a，80b）和气体除去部分连接的气体排出部（70）用于过滤和排出通过真空管线的液化气体。气体供给系统还包括安装在真空管路处的气体检测部（72），用于在检测旁路液化气体时对工作人员进行报警;以及流量调节阀（74），其安装在真空管路处，用于控制通过通过液化气。

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