专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR100796746B1 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법 失效
标题翻译：用于液晶显示的薄膜晶体管阵列面板的制造方法
公开(公告)号：KR100796746B1
公开(公告)日：2008-01-22
申请号：KR1020010012908
申请日：2001-03-13
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 허성욱 , 박영배
IPC分类号： G02F1/136
摘要： 먼저, 알루미늄 계열의 도전 물질을 적층하고 패터닝하여 기판 위에 게이트선, 게이트 전극 및 게이트 패드를 포함하는 가로 방향의 게이트 배선을 형성한다. 다음, 게이트 절연막을 형성하고, 그 상부에 반도체층 및 저항 접촉층을 차례로 형성한다. 이어, 몰리브덴 계열의 데이터 배선용 도전 물질을 적층하고 패터닝하여 게이트선과 교차하는 데이터선, 소스 전극, 드레인 전극 및 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선을 형성한다. 이어, 보호막을 적층하고 그 상부에 감광막을 도포하고 현상하여 부분적으로 다른 두께를 가지는 감광막 패턴을 형성한다. 이때, 감광막 패턴은 드레인 전극 및 데이터 패드 상부에 대응하며 제1 두께를 가지는 제1 부분, 게이트 패드에 대응하며 두께가 거의 없는 제2 부분 및 제1 두께보다 두꺼운 제2 두께를 가지며 제1 및 제2 부분을 제외한 나머지 제3 부분을 포함한다. 이어, 감광막 패턴 및 그 하부의 보호막 및 게이트 절연막을 식각하여 드레인 전극, 게이트 패드 및 데이터 패드를 각각 드러내는 접촉 구멍을 형성한다. 이어, 투명한 도전 물질을 적층하고 패터닝하여 드레인 전극, 게이트 패드 및 데이터 패드와 각각 연결되는 화소 전극, 보조 게이트 패드 및 보조 데이터 패드를 형성한다.
몰리브덴, 슬릿, 감광막, 패드, 접촉구멍

2. 发明授权

KR100720096B1 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：用于液晶显示装置的薄膜晶体管基板及其制造方法
公开(公告)号：KR100720096B1
公开(公告)日：2007-05-18
申请号：KR1020000070977
申请日：2000-11-27
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 허성욱 , 박영배
IPC分类号： G02F1/136
摘要： 절연 기판 위에 게이트선, 게이트 전극 및 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선이 형성되어 있다. 게이트 배선 위에 게이트 절연막, 반도체층 및 저항성 접촉층이 차례로 형성되어 있다. 그 위에 데이터선, 소스 전극, 드레인 전극 및 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선이 형성되어 있다. 데이터 배선을 덮는 보호막에는 드레인 전극, 게이트 패드 및 데이터 패드를 각각 드러내는 접촉 구멍이 형성되어 있다. 보호막 위에 화소 전극, 보조 게이트 패드 및 보조 데이터 패드가 형성되어 있다. 또한, 화소 전극, 보조 게이트 패드 및 보조 데이터 패드로 가리지 않는 보호막 상부에는 아크릴 또는 BCB(benzocyclobutane)과 같은 유기막으로 이루어진 블랙 매트릭스가 형성되어 있다. 이와 같이 박막 트랜지스터 기판 위에 유기막으로 이루어진 블랙 매트릭스가 형성되어 있어 빛샘을 방지할 수 있으며, 블랙 매트릭스를 형성할 때 오정렬을 고려할 필요가 없으므로 개구율이 감소하지 않는다. 또한, 블랙 매트릭스를 형성하기 위해 추가로 사진 식각 공정을 실시하지 않으므로 공정을 단순화할 수 있다.
유기막, 블랙 매트릭스, 빛샘, 오정렬, 개구율
摘要翻译：包括栅极线，栅极电极和栅极焊盘的栅极布线形成在绝缘基板上。在栅极布线上顺序地形成栅极绝缘膜，半导体层和欧姆接触层。包括数据线，源电极，漏电极和数据焊盘的数据线形成在其上。覆盖数据线的接触孔形成在保护膜中以分别暴露漏电极，栅极焊盘和数据焊盘。像素电极，辅助栅极焊盘和辅助数据焊盘形成在保护膜上。另外，在未被像素电极，辅助栅极焊盘和辅助数据焊盘覆盖的保护膜上形成由诸如丙烯酸或BCB（苯并环丁烷）的有机膜形成的黑色矩阵。因此，薄膜晶体管可以防止光泄漏有由有机膜的基板上形成黑色矩阵，没有必要考虑在形成黑底也不会降低开口率的错位。此外，由于不进一步执行光刻工艺以形成黑矩阵，所以可以简化工艺。

3. 发明授权

KR100695347B1 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 失效
标题翻译：薄膜晶体管阵列面板及其制造方法
公开(公告)号：KR100695347B1
公开(公告)日：2007-03-15
申请号：KR1020000064042
申请日：2000-10-30
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 허성욱 , 박영배
IPC分类号： G02F1/136
摘要： 먼저, 알루미늄 계열의 도전 물질을 적층하고 패터닝하여 기판 위에 게이트선, 게이트 전극 및 게이트 패드를 포함하는 가로 방향의 게이트 배선을 형성한다. 이때, 게이트 배선을 통하여 게이트 신호를 균일하게 전달하기 위해 게이트 패드로부터 멀어질수록 두께가 증가하도록 형성한다. 다음, 게이트 절연막을 질화 규소를 적층하여 형성하고, 그 상부에 반도체층 및 저항 접촉층을 차례로 형성한다. 이때, 게이트 절연막의 상부는 굴곡면을 가지도록 하여 이후에 형성되는 데이터 배선용 도전 물질을 두껍게 적층할 수 있도록 한다. 이어, 크롬 등의 금속을 적층하고 패터닝하여 게이트선과 교차하는 데이터선, 소스 전극, 드레인 전극 및 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선을 형성한다. 이어, 유기 물질 또는 질화 규소를 적층하여 보호막을 형성하고 건식 식각으로 패터닝하여 드레인 전극, 게이트 패드 및 데이터 패드를 각각 드러내는 접촉 구멍을 형성한다. 이어 투명한 도전 물질을 적층하고 패터닝하여 드레인 전극, 게이트 패드 및 데이터 패드와 각각 전기적으로 연결되는 화소 전극, 보조 게이트 패드 및 보조 데이터 패드를 형성한다.
지연, 접촉저항, 건식식각

4. 发明授权

KR100560974B1 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그제조 방법 失效
公开(公告)号：KR100560974B1
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：KR1019980050879
申请日：1998-11-26
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 허성욱 , 공향식 , 김동규
IPC分类号： G02F1/136
摘要： 먼저, 첫째 마스크를 이용하여 기판 위에 게이트선, 게이트 전극을 포함하는 게이트 배선을 가로 방향으로 형성하고, 게이트 절연막, 비정질 규소로 이루어진 반도체층, 도핑된 비정질 규소층 및 데이터 금속층의 4중층을 차례로 적층하고 둘째 마스크를 이용하여 데이터 금속층을 패터닝하여 데이터 배선을 형성하고, 도핑된 비정질 규소층을 식각하여 접촉층을 형성한다. 보호막 및 감광막을 차례로 적층하고, 부분적으로 빛의 투과량을 조절할 수 있는 셋째 마스크를 이용하여 보호막, 반도체층 및 게이트 절연막과 함께 한꺼번에 식각하여 드레인 전극, 데이터 패드 및 게이트 패드를 드러낸다. 이때, 게이트 패드 상부의 감광막은 데이터 배선 또는 게이트선 상부의 감광막보다 얇게 남도록 형성한 다음, 건식 식각으로 패터닝하여 보호막은 데이터 배선 또는 게이트선을 덮도록 형성하고 게이트 절연막은 게이트 패드만을 드러내도록 형성한다. 여기서, 서로 이웃하는 두 데이터선이 전기적으로 연결되어 두 데이터선에 전달되는 신호의 간섭이 생기는 것을 방지하기 위하여 게이트선 상부에서 반도체층을 분리하는 것이 바람직하다. 이어, ITO막을 적층하고 넷째 마스크를 이용한 패터닝을 실시하여 드레인 전극과 연결되는 화소 전극, 데이터 패드와 연결되는 데이터용 전극 및 게이트 패드와 연결되는 게이트용 전극을 형성한다.

5. 发明公开

KR1020020095978A 액정 표시 장치 및 그의 수선 방법 无效
标题翻译： LCD及其维修方法
公开(公告)号：KR1020020095978A
公开(公告)日：2002-12-28
申请号：KR1020010034366
申请日：2001-06-18
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김병주 , 박영배 , 허성욱
IPC分类号： G02F1/136
摘要： PURPOSE: A liquid crystal display device and a method for repairing the same are provided to improve the black matrix pattern to have opening patterns for exposing portions of defect pixels for the laser beam radiation. CONSTITUTION: A liquid crystal display device includes a thin film transistor(TFT) substrate and a color filter substrate, wherein the TFT substrate includes a plurality of TFTs formed in the respective pixel areas to be electrically connected to the gate lines and the data lines, pixel electrodes(82) electrically connected to drain electrodes of the TFTs and overlapping gate lines(22) respectively positioned at front ends of the pixel electrodes, and the color filter substrate includes black matrixes(210) respectively having a first opening pattern(211) for exposing the gate lines, the data lines, the pixel areas surrounded by the TFTs, and opposite sides of the drain electrodes, and a second opening pattern(212) for exposing parts of the overlapped portions between the pixel electrodes and the front gate lines, and color filters formed at portions corresponding to the pixel areas.
摘要翻译：目的：提供一种液晶显示装置及其修复方法，以改善黑矩阵图形以具有用于曝光用于激光束辐射的缺陷像素部分的开口图案。构成：液晶显示装置包括薄膜晶体管（TFT）基板和滤色器基板，其中TFT基板包括形成在要与栅极线和数据线电连接的各个像素区域中的多个TFT，电连接到TFT的漏电极的像素电极（82）和分别位于像素电极的前端的重叠栅线（22），滤色器基板包括分别具有第一开口图案（211）的黑矩阵（210）用于暴露栅极线，数据线，由TFT围绕的像素区域和漏极电极的相对侧;以及第二开口图案（212），用于暴露像素电极和前栅极线之间的重叠部分的部分，以及在与像素区域对应的部分处形成的滤色器。

6. 发明公开

KR1020020072882A 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법 失效
标题翻译：用于制造LCD基板的方法
公开(公告)号：KR1020020072882A
公开(公告)日：2002-09-19
申请号：KR1020010012908
申请日：2001-03-13
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 허성욱 , 박영배
IPC分类号： G02F1/136
摘要： PURPOSE: A method for fabricating a TFT(Thin Film Transistor) substrate of an LCD(Liquid Crystal Display) is provided to delay the exposure of data lines to the etching gas via contact holes, thereby preventing the short or corrosion of the data lines. CONSTITUTION: A method for fabricating a TFT substrate of an LCD includes the steps of forming gate wires having gate lines(22), gate electrodes(26) connected to the gate lines and gate pads(24) on an insulating substrate(10) by stacking and patterning a conductive material, forming a gate insulating film, forming a semiconductor layer(40) on the gate insulating film, forming data wires having data lines(62) intersecting the gate lines, source electrodes(65) connected to the data lines and adjacent to the gate electrodes, drain electrodes(66) opposing the source electrodes with respect to the gate electrodes, and data pads(68) connected to the data lines by stacking and patterning a conductive material, forming first to third contact holes(72,74,76) by stacking and patterning a protection film to expose the gate pads, the data pads and the drain electrodes, and forming pixel electrodes(82) electrically connected to the drain electrodes via the third contact holes, wherein the contact holes are formed by photo-etching using a photosensitive film pattern having different thickness partially.
摘要翻译：目的：提供一种用于制造LCD（液晶显示器）的TFT（薄膜晶体管）基板的方法，以延迟通过接触孔将数据线暴露于蚀刻气体，从而防止数据线的短路或腐蚀。构成：用于制造LCD的TFT基板的方法包括以下步骤：在绝缘基板（10）上形成具有栅极线（22），连接到栅极线和栅极焊盘（24）的栅电极（26）的栅极线，通过堆叠和图案化导电材料，形成栅极绝缘膜，在栅极绝缘膜上形成半导体层（40），形成具有与栅极线相交的数据线（62）的数据线，连接到数据线的源电极并且与栅电极相邻，相对于栅极与源电极相对的漏电极（66）和通过堆叠和图案化导电材料连接到数据线的数据焊盘（68），形成第一至第三接触孔（72 ，74,76），通过堆叠和图案化保护膜以暴露栅极焊盘，数据焊盘和漏极电极，以及形成经由第三接触孔电连接到漏电极的像素电极（82），其中接触h 使用部分具有不同厚度的感光膜图案通过光蚀刻形成油墨。

7. 发明公开

KR1020020072648A 박막 트랜지스터 기판 및 그의 제조 방법과 액정 표시장치 失效
标题翻译： TFT基板，其制造方法和液晶显示
公开(公告)号：KR1020020072648A
公开(公告)日：2002-09-18
申请号：KR1020010012592
申请日：2001-03-12
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이정호 , 박영배 , 허성욱
IPC分类号： G02F1/136
摘要： PURPOSE: A TFT(Thin Film Transistor) substrate, a method for fabricating the same, and a liquid crystal display are provided to improve the aperture ratio by resolving the area expansion of a shield film pattern due to the alignment margin for joining the TFT substrate with a color filter substrate by the multi-layer pattern including the opaque metal layer serving as the light shield film pattern. CONSTITUTION: A TFT substrate includes an insulating substrate(10), a plurality of gate lines(22) formed on the insulating substrate, a plurality of data lines(62) intersecting the gate lines for defining a plurality of pixel areas, a plurality of thin film transistors electrically connected to the gate lines and the data lines and formed in the pixel areas respectively, a plurality of pixel electrodes(82) electrically connected to the thin film transistors and formed in the pixel areas respectively, and a multi-layer pattern(100) covered between the pixel areas and including an opaque material layer(98).
摘要翻译：目的：提供TFT（薄膜晶体管）基板，其制造方法和液晶显示器，以通过解决由于用于接合TFT基板的取向余量而导致的屏蔽膜图案的面积扩大而提高开口率具有通过包含作为遮光膜图案的不透明金属层的多层图案的滤色器基板。构成：TFT基板包括绝缘基板（10），形成在绝缘基板上的多个栅极线（22），与用于限定多个像素区域的栅极线相交的多个数据线（62），多个电连接到栅极线和数据线并分别形成在像素区域中的薄膜晶体管，分别电连接到薄膜晶体管并形成在像素区域中的多个像素电极（82）和多层图案（100）覆盖在像素区域之间并且包括不透明材料层（98）。

8. 发明公开

KR1020000033835A 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그제조 방법 失效
标题翻译：液晶显示装置用薄膜晶体管基板及其制造方法
公开(公告)号：KR1020000033835A
公开(公告)日：2000-06-15
申请号：KR1019980050879
申请日：1998-11-26
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 허성욱 , 공향식 , 김동규
IPC分类号： G02F1/136
摘要： PURPOSE: A manufacturing method of TFT(thin film transistor) substrate for liquid crystal display apparatus is provided to reduce steps so as to simplify the manufacturing process. CONSTITUTION: A method for manufacturing a TFT substrate for LCD apparatus comprises the steps of: forming a gate circuit including a gate line(22) in the first direction and a gate electrode(24) connected thereto, on an insulating substrate using a first mask; depositing a gate insulating layer, a semiconductor layer, a doped amorphous silicone layer, and a data conductor layer one after another on the gate circuit and the substrate; patterning the doped amorphous silicone layer and the data conductor layer using a second mask; depositing a protective layer and a photoresist layer on a data circuit and the top of the semiconductor layer; etching the photoresist layer using a third mask; etching the protective layer and the semiconductor layer to form a drain electrode; depositing a conductor layer on the protective layer and the gate insulating layer; and patterning the conductor layer using a fourth mask.
摘要翻译：目的：提供一种用于液晶显示装置的TFT（薄膜晶体管）基板的制造方法以减少步骤，从而简化制造过程。构成：用于制造LCD装置的TFT基板的方法包括以下步骤：在绝缘基板上使用第一掩模形成包括第一方向上的栅极线（22）和与其连接的栅极（24）的栅极电路 ; 在栅极电路和基板上依次沉积栅极绝缘层，半导体层，掺杂非晶硅层和数据导体层; 使用第二掩模图案化掺杂的非晶硅层和数据导体层; 在数据电路和半导体层的顶部上沉积保护层和光致抗蚀剂层; 使用第三掩模蚀刻光致抗蚀剂层; 蚀刻保护层和半导体层以形成漏电极; 在保护层和栅极绝缘层上沉积导体层; 以及使用第四掩模图案化导体层。

9. 发明授权

KR100878263B1 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 失效
标题翻译：用于液晶显示器的薄膜晶体管阵列面板及其制造方法
公开(公告)号：KR100878263B1
公开(公告)日：2009-01-13
申请号：KR1020010033168
申请日：2001-06-13
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 허성욱 , 박영배
IPC分类号： G02F1/136
摘要： 절연 기판 위에 하부의 투명 도전막과 상부의 불투명 도전막의 이중막으로 이루어진 게이트선, 게이트 전극 및 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선이 형성되어 있고, 게이트선 사이에 투명 도전막으로 이루어진 유지 용량 전극이 형성되어 있다. 게이트 배선 및 유지 용량 전극 위에 게이트 절연막이 형성되어 있고, 게이트 절연막 위에 반도체층 및 저항성 접촉층이 차례로 형성되어 있다. 저항성 접촉층 위에 데이터선, 소스 전극, 드레인 전극 및 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선이 형성되어 있으며, 그 위에 보호막이 형성되어 있다. 보호막에는 드레인 전극, 게이트 패드 및 데이터 패드를 각각 노출시키는 접촉 구멍이 형성되어 있으며, 보호막 위에 유지 용량 전극과 중첩하는 화소 전극과 게이트 패드 및 데이터 패드와 각각 연결되는 보조 게이트 패드 및 보조 데이터 패드가 형성되어 있다. 유지 용량 전극은 절연막을 사이에 두고 화소 전극과 중첩하여 유지 용량을 형성하며, 투명 도전막으로 형성되어 있으므로 개구율이 감소하지 않는다.
유지 용량 전극, 투명 도전막, 개구율

10. 发明授权

KR100870012B1 액정 표시 장치 失效
标题翻译：液晶显示器
公开(公告)号：KR100870012B1
公开(公告)日：2008-11-21
申请号：KR1020020048057
申请日：2002-08-14
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 허성욱 , 류혜영
IPC分类号： G02F1/1333
摘要： 절연 기판, 절연 기판 위에 세로 방향으로 뻗어 있는 다수의 수리선, 수리선 위에 형성되어 있는 블랙 매트릭스, 블랙 매트릭스 위에 형성되어 있는 색필터, 색필터 위에 형성되어 있는 기준 전극을 포함하는 액정 표시 장치용 색필터 기판을 마련한다. 이상과 같은 구조로 색필터 기판을 제조하면 박막 트랜지스터 기판에 형성되는 데이터선의 단선이나 다른 배선과의 단락 및 이웃하는 데이터 배선간의 단락에 의한 불량을 그 수에 관계없이 수리할 수 있다.
액정표시장치. 색필터기판, 블랙매트릭스, 수리선
摘要翻译：在绝缘基板上沿纵向延伸的多条修复线，在修复线上形成的黑矩阵，在黑矩阵上形成的滤色器和在滤色器上形成的参考电极，提供过滤器基板。当以上述结构制造滤色器基板时，可以修复由形成在薄膜晶体管基板上的数据线与另一布线之间的短路或者相邻数据线之间的短路引起的缺陷。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式