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1. 发明授权

KR100782368B1 반도체 제조장치 有权
标题翻译：半导体制造设备
公开(公告)号：KR100782368B1
公开(公告)日：2007-12-07
申请号：KR1020070007469
申请日：2007-01-24
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 백동석 , 편희수 , 이정배 , 강성욱 , 이준성
IPC分类号： H01L21/02
摘要： A semiconductor manufacturing apparatus is provided to simplify configuration by serving a sub-chamber as a load lock chamber and transfer chamber at the same time. A semiconductor manufacturing apparatus includes a main chamber(1) and a sub-chamber(2). The main chamber is maintained in vacuum. The sub-chamber is selectively connected to external space and the main chamber so as to convey substrates into the main chamber. By receiving the vacuum from the main chamber, the sub-chamber is decompressed to vacuum corresponding to the main chamber. The sub-chamber includes a robot, which carries the substrates between the sub-chamber and the main chamber.
摘要翻译：提供了一种半导体制造装置，用于通过将副室作为负载锁定室和传送室同时进行简化来简化配置。半导体制造装置包括主室（1）和副室（2）。主室保持真空。子室选择性地连接到外部空间和主室，以将基板输送到主室中。通过从主室接收真空，将副室减压至与主室对应的真空。子室包括机器人，该机器人承载在子室和主室之间的基板。

2. 发明授权

KR100713851B1 검사장치 및 그 방법 有权
标题翻译：检查装置及其方法
公开(公告)号：KR100713851B1
公开(公告)日：2007-05-04
申请号：KR1020060001103
申请日：2006-01-04
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 백동석 , 서제완 , 편희수 , 전병환 , 최용호
IPC分类号： H01L21/66
摘要： 본 발명은, 검사장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 검사장치는, 작업물을 지지하는 스테이지와; 상기 스테이지에 접근 이격 가능하게 마련되며, 상기 작업물을 검사하는 대물렌즈를 갖는 광학현미경과; 소정의 곡률반경을 가지며 상기 작업물과 상기 대물렌즈 사이에 설치된 뷰포트렌즈를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 비교적 선명한 화상을 얻을 수 있으며, 검사시 정확한 위치정보 및 데이터를 얻을 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种检查设备及其方法，其中根据本发明的检查设备包括：用于支撑工件的台; 一种具有物镜的光学显微镜，所述物镜设置成可接近所述台并检查所述工件; 以及具有预定曲率半径并设置在工件和物镜之间的视口透镜。因此，可以获得相对清晰的图像，并且在检查时可以获得准确的位置信息和数据。

3. 发明授权

KR100630937B1 지지장치 失效
公开(公告)号：KR100630937B1
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：KR1020050080474
申请日：2005-08-31
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 최용호 , 편희수 , 송근철 , 황충정 , 백동석 , 차병규 , 임상규
IPC分类号： G06F1/16 , G06F3/02

4. 发明公开

KR1020050017242A 반도체 제조 장치의 제어 방법 失效
标题翻译：控制半导体制造装置的方法来缩短审查时间
公开(公告)号：KR1020050017242A
公开(公告)日：2005-02-22
申请号：KR1020030055512
申请日：2003-08-11
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김영환 , 편희수 , 윤광준 , 최승민 , 신경수 , 박동진
IPC分类号： H01L21/66
摘要： PURPOSE: A method of controlling a semiconductor fabrication apparatus is provided to shorten a review period by detecting rapidly and correctly a bad position in a semiconductor review process. CONSTITUTION: A first reference position is set on a map of a first wafer loaded on a stage(504). A plurality of real position values are obtained by setting a plurality of indexes at a predetermined interval from the first reference position on the map of the first wafer(506,508). A second reference position is set on a map of a second wafer loaded on the stage under the same condition as the first reference position(512). Each location value of the indexes is corrected as much as a difference between real position values of the first and the second positions(514,516).
摘要翻译：目的：提供一种控制半导体制造装置的方法，通过快速正确地检测半导体检查处理中的不良位置来缩短审查期间。构成：第一参考位置被设置在装载在平台（504）上的第一晶片的地图上。通过在第一晶片（506,508）的地图上从第一参考位置以预定间隔设置多个索引来获得多个实际位置值。在与第一参考位置（512）相同的条件下，在载置在载物台上的第二晶片的地图上设置第二参考位置。索引的每个位置值被校正为第一和第二位置的实际位置值之间的差异（514,516）。

5. 发明公开

KR1020050014127A ＬＣＤ 패널 검사장치 无效
标题翻译：用于测试LCD面板以减少测试时间的设备
公开(公告)号：KR1020050014127A
公开(公告)日：2005-02-07
申请号：KR1020030052607
申请日：2003-07-30
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 유영수 , 김용식 , 편희수 , 전형조 , 안형민
IPC分类号： G02F1/13
摘要： PURPOSE: An apparatus for testing an LCD(Liquid Crystal Display) panel is provided to reduce a test time by making it possible to test the LCD panel from various angles at one time. CONSTITUTION: An LCD panel supporting part(40) installed on a body(60) supports an LCD panel(30). A probe unit(50) is contacted to the LCD panel and outputs an electrical test pattern image signal to the LCD panel. A plurality of image pickup parts(10a,10b,10c,10d, 10e) are away from the LCD panel by predetermined distance and pick up test pattern images displayed on the LCD panel at different angles. One of the image pickup parts picks up an image to a vertical direction of the LCD panel and others pick up images at various angles sloped from the vertical direction.
摘要翻译：目的：提供一种用于测试LCD（液晶显示器）面板的设备，以便一次可以从各种角度测试LCD面板来缩短测试时间。构成：安装在主体（60）上的LCD面板支撑部件（40）支撑LCD面板（30）。探针单元（50）与LCD面板接触并将电测试图形图像信号输出到LCD面板。多个图像拾取部件（10a，10b，10c，10d，10e）远离LCD面板预定距离，并以不同的角度拾取显示在LCD面板上的测试图案图像。图像拾取部件中的一个拾取液晶显示面板的垂直方向的图像，并且其他图像拾取从垂直方向倾斜的各种角度的图像。

6. 发明授权

KR100465785B1 ＰＣＢ용 납땜검사장치 失效
标题翻译： PCB用途사장치
公开(公告)号：KR100465785B1
公开(公告)日：2005-01-13
申请号：KR1020000040696
申请日：2000-07-14
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 편희수
IPC分类号： H05K3/34
摘要： PURPOSE: A soldering tester for a PCB is provided to closely examine a soldered condition on a PCB by maintaining the PCB in a flat state when it is positioned to be tested. CONSTITUTION: A plurality of PCB holders(14) is arranged on an upper side of a support part, and fixes a PCB(10) that is to be tested in a horizontal direction at a predetermined position. An elevating slider(25) is interposed between the support part(12) and the PCB holders(14). A plurality of cameras(21) are disposed on an upper side of the PCB holders(14), and examine soldered condition by horizontally throwing an image on a plat surface of the PCB(10). The PCB(10) is supported on both sides thereof to be maintained at the pertinent position. A holder body(16) has a jaw(17) that prevents the PCB from being upwardly separated. A pressing member(19) upwardly presses the PCT to the jaw(17). A pushing unit(20) is arranged on the holder body(16) to press a side of the PCB(10) toward other PCB holder(14).
摘要翻译：目的：提供用于PCB的焊接测试器，通过在将PCB定位成测试时将其保持在平坦状态来仔细检查PCB上的焊接状况。组成：多个PCB支架（14）设置在支撑部分的上侧，并且将待测试的PCB（10）在水平方向上固定在预定位置。升降滑块（25）介于支撑部分（12）和PCB保持器（14）之间。多个摄像机（21）设置在PCB保持器（14）的上侧，并通过将图像水平地投影在PCB（10）的平台表面上来检查焊接状态。 PCB（10）在其两侧被支撑以保持在相关位置。保持器主体（16）具有防止PCB向上分离的钳口（17）。一个加压件（19）将PCT向上压到钳口（17）上。推动单元（20）布置在保持器主体（16）上以将PCB（10）的一侧压向其他PCB保持器（14）。

7. 发明授权

KR100161008B1 볼륨조정용 로보트 失效
标题翻译：音量调节机器人
公开(公告)号：KR100161008B1
公开(公告)日：1998-12-15
申请号：KR1019920023708
申请日：1992-12-09
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 편희수
IPC分类号： B25J1/00
摘要： 본 발명은 상하이동가능한 아암에 체결된 지지부의 플레이트의 측면에 취부된 지지축에 의해 좌우이동가능케 삽입고정되어 있는 복수개의 샤프트와, 상기 복수개의 샤프트에 일측면이 고정된 연결부재의 몸체 타측면에 서보모터와 이 서보모터의 샤프트에 결합되어 있는 스파이럴 베벨기어를 하우징에 내장하여 취부되어 있는 수직드라이버와, 상기 수직드라이버의 스파이럴 베벨기어의 일측기어에 체결되어 인쇄회로기판상에 고정된 가변저항 값을 조정하는 조절부재로 구성되어 칼러텔레비나 모니터의 인쇄회로기판상에 장착된 가변저항값을 자동을 조정하도록 한 것이다.

8. 发明授权

KR100155792B1 기판의 조절부재 조정장치 失效
标题翻译：用于调整基板的控制构件的装置
公开(公告)号：KR100155792B1
公开(公告)日：1998-12-15
申请号：KR1019940038326
申请日：1994-12-28
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 편희수 , 염기건
IPC分类号： H05K13/00
摘要： 본 발명은 기판의 조절부재 조정장치를 개시한다.
본 발명은 이송된 기판의 조정부재 상부에 위치되며 소정의 승강수단에 의해 승강되는 승강플레이트와, 이 승강플레이트에 모우터에 의해 정역회전되도록 설치된 회전축과, 그 단부에 비트가 설치되며 탄성바이어스 수단에 의해 하방으로 탄성바이어스되는 지지축과, 상기 지지축의 위치의 초기 위치를 감지하는 감지수단과, 상기 감지수단에 의해 감지된 신호에 의해 회전축을 초기위치로 회전시키는 제어수단을 구비하여 된 것에 특징이 있으며, 이는 조절부재의 조정에 따른 시간을 단축할 수 있고 조작에 따른 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

9. 实用新型

KR2019960003414U 디스플레이장치의 화면 조정장치 失效
标题翻译：显示设备的屏幕调整装置
公开(公告)号：KR2019960003414U
公开(公告)日：1996-01-22
申请号：KR2019940014917
申请日：1994-06-23
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 염기건 , 편희수
IPC分类号： H04N17/00

10. 发明公开

KR1019950015514A 음극선관의 휘도 조정장치 失效
标题翻译：阴极射线管亮度调整装置
公开(公告)号：KR1019950015514A
公开(公告)日：1995-06-17
申请号：KR1019930025912
申请日：1993-11-30
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 편희수 , 전인구 , 감도영
IPC分类号： H01J9/42
摘要： 본 발명은 컬러텔레비젼등에 내장되는 음극선관의 휘도를 조정하는 음극선관의 휘도 조정장치에 관한 것으로써, 특히 휘도를 조정하는 다수개의 볼륨이 배설된 피씨기판이 장착된 음극선관의 휘도를 조정하도록 공업용 로봇에 휘도 조정장치가 장착되어서 음극선관의 휘도를 자동조정할 수 있으므로 제품의 고품질화를 실현할 수 있는 것은 물론이고 생산성이 향상되고 제조코스트를 다운시킬 수 있는 음극선관의 휘도 조정장치에 관한 것이다.

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