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1. 发明公开

KR1020070041194A 공기베어링용 강성실험장치 有权
标题翻译：空气轴承的刚性测试设备
公开(公告)号：KR1020070041194A
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：KR1020050097082
申请日：2005-10-14
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 지홍규 , 이동진 , 최형길 , 이재응
IPC分类号： G01M13/04
摘要： 본 발명은, 베어링 강성실험장치에 관한 것으로서, 다수의 기공을 갖는 공기베어링과; 상기 공기베어링을 지지하는 베이스와; 일측에 개구를 갖는 저널베어링 하우징과; 일측은 상기 공기베어링을 사이에 두고 상기 베이스와 대향되게 상기 저널베어링 하우징의 개구에 이동가능하게 수용되며, 타측은 상기 공기베어링에 접촉되어 상기 공기베어링에 걸리는 하중을 감지하는 하중감지수단을 갖는 저널베어링과; 상기 공기베어링에 결합되어 상기 베이스의 기준면으로부터 상기 공기베어링의 이격거리를 감지하도록 마련된 복수의 변위센서를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 사용이 간편하며, 다양한 공기베어링 및 다양한 실험조건에 비교적 간편하게 대응할 수 있는 공기베어링용 강성실험장치가 제공된다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测试轴承刚度的设备，包括：具有多个孔的空气轴承; 支撑空气轴承的基座; 轴承座轴承座一侧有开口; 轴颈轴承壳体，其一侧可移动地容纳在轴颈轴承壳体的开口中，以面向基座，其间插入有空气轴承，另一侧具有用于感测施加到空气轴承的载荷的载荷感测装置，轴承; 以及多个位移传感器，其耦合到所述空气轴承并且被配置为感测所述空气轴承与所述基部的参考平面的分离距离。由此，提供了一种空气轴承刚性测试装置，其使用简单，可以相对容易地响应各种空气轴承和各种实验条件。

2. 发明公开

KR1020070117134A 나노임프린트를 이용한 미세 패턴의 형성방법 有权
标题翻译：使用NANOIMPRINT形成精细图案的方法
公开(公告)号：KR1020070117134A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：KR1020060050928
申请日：2006-06-07
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 박정우 , 최형길 , 조성훈 , 김광수 , 김정길 , 이석원 , 이문구
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F7/0002 , B81C1/0046 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要： A method for forming a micro pattern using nano imprint is provided to form a pattern having various shapes and to output a hydrophile region and a hydrophobicity region alternately on a micro structure surface without chemical processing. A stamp(100) comprises a positive part(320) and a negative(120) part, wherein a micro structure having a hydrophile property is imprinted at the negative part. The micro structure of the stamp is copied at a surface region of a hydrophile property resist(300) which is coated on a substrate(200) by using a nano imprint.
摘要翻译：提供了使用纳米压印形成微图案的方法，以形成具有各种形状的图案，并且在微结构表面上交替地输出亲水区域和疏水性区域而无需化学处理。印模（100）包括正极（320）和负极（120）部分，其中具有亲水性的微结构印在负极部分。通过使用纳米印记将印模的微结构复制在涂布在基板（200）上的亲水性抗蚀剂（300）的表面区域。

3. 发明公开

KR1020170052993A 대상체의 두께를 측정하는 두께 측정 장치 및 그 방법 审中-实审
标题翻译：用于测量物体厚度的设备和方法
公开(公告)号：KR1020170052993A
公开(公告)日：2017-05-15
申请号：KR1020150155202
申请日：2015-11-05
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 서순영 , 목진호 , 유권재 , 김성철 , 최형길
IPC分类号： G01B11/06 , G01B11/28 , G06T7/60
摘要： 대상체의두께측정을위한방법이개시된다. 대상체의두께측정방법은, 시트의일면에격자패턴을인쇄하는단계, 시트를성형하여대상체를제작하는단계, 대상체의격자패턴을촬영하는단계, 촬영이미지내에포함된격자패턴이미지를이용하여, 격자패턴을이루는각 셀들의면적을측정하는단계및 격자패턴의각 셀들의면적변화에기초하여대상체의두께를산출하는단계를포함한다.
摘要翻译：公开了一种用于测量对象的厚度的方法。测量目标对象的厚度的方法包括以下步骤：在片材的一侧上打印网格图案，通过模制片材形成目标对象，拍摄目标对象的网格图案，测量构成图案的每个单元的面积，并且基于网格图案的每个单元的面积的变化来计算对象的厚度。

4. 发明授权

KR100805229B1 나노임프린트를 이용한 미세 패턴의 형성방법 有权
标题翻译：使用纳米压印形成精细图案的方法
公开(公告)号：KR100805229B1
公开(公告)日：2008-02-21
申请号：KR1020060050928
申请日：2006-06-07
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 박정우 , 최형길 , 조성훈 , 김광수 , 김정길 , 이석원 , 이문구
IPC分类号： H01L21/027
摘要： 본 발명은 나노임프린트를 이용하여 간단한 공정으로 친수성과 소수성을 동시에 가지는 미세 패턴을 형성하는 방법을 제공한다. 본 발명은 소수성을 갖는 미세 구조물을 각인한 스탬프를 이용하여 친수성 레지스트의 표면에 상기 스탬프의 미세 구조물을 복제한다. 상기 미세 구조물의 복제는 상기 스탬프의 미세 구조물을 상기 친수성 레지스트에 접촉시켜 소정 압력으로 가압하고, 가열 또는 자외선 조사하여 상기 친수성 레지스트를 경화하고 나서 상기 스탬프를 이형하는 단계를 포함한다.

5. 发明授权

KR100774009B1 공기베어링용 강성실험장치 有权
标题翻译：空气轴承静态试验装置
公开(公告)号：KR100774009B1
公开(公告)日：2007-11-08
申请号：KR1020050097082
申请日：2005-10-14
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 지홍규 , 이동진 , 최형길 , 이재응
IPC分类号： G01M13/04
摘要： 본 발명은, 베어링 강성실험장치에 관한 것으로서, 다수의 기공을 갖는 공기베어링과; 상기 공기베어링을 지지하는 베이스와; 일측에 개구를 갖는 저널베어링 하우징과; 일측은 상기 공기베어링을 사이에 두고 상기 베이스와 대향되게 상기 저널베어링 하우징의 개구에 이동가능하게 수용되며, 타측은 상기 공기베어링에 접촉되어 상기 공기베어링에 걸리는 하중을 감지하는 하중감지수단을 갖는 저널베어링과; 상기 공기베어링에 결합되어 상기 베이스의 기준면으로부터 상기 공기베어링의 이격거리를 감지하도록 마련된 복수의 변위센서를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 사용이 간편하며, 다양한 공기베어링 및 다양한 실험조건에 비교적 간편하게 대응할 수 있는 공기베어링용 강성실험장치가 제공된다.

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