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1. 发明授权

KR100686236B1 박막 트랜지스터 기판 및 그의 제조 방법 失效
标题翻译：薄膜晶体管基板及其制造方法
公开(公告)号：KR100686236B1
公开(公告)日：2007-02-22
申请号：KR1020000031830
申请日：2000-06-09
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 지훈 , 서영갑
IPC分类号： G02F1/136
摘要： 기판 위에 게이트선, 게이트 패드, 게이트 전극을 포함하는 게이트 배선을 형성하고, 게이트 절연막, 반도체층, 중간층 및 도전체층을 연속 증착한 다음 그 위에 양성의 감광막을 도포한다. 마스크를 통하여 감광막에 빛을 조사한 후 현상하여 감광막 패턴을 형성한다. 감광막 패턴 중에서 소스 전극과 드레인 전극 사이의 채널부에 위치한 제1 부분은 데이터 배선이 형성될 부분에 위치한 제2 부분보다 두께가 작게 되도록 하며, 기타 부분의 감광막은 모두 제거한다. 다음, 기타 부분의 노출되어 있는 도전체층을 감광막 패턴의 하부까지 언더 컷이 발생하도록 식각하여 그 하부의 중간층을 노출시키고, 계속해서 노출된 중간층 및 그 하부의 반도체층을 건식 식각 방법으로 제거하여 우선 반도체 패턴을 완성한다. 이어, 에치 백 공정을 통하여 감광막 패턴의 제1 부분을 제거하고 잔류하는 감광막 찌꺼기를 애싱(ashing)을 통하여 제거한 후, 채널부의 도전체층 및 그 하부의 중간층 패턴을 식각하여 제거함으로써, 소스 전극과 드레인 전극을 분리하여 데이터 배선 및 그 하부의 저항성 접촉층 패턴을 완성한다. 남아 있는 감광막을 제거한 후, 보호막과 화소 전극, 보조 게이트 패드 및 보조 데이터 패드를 형성한다.
리플로우, 마스크, 채널, 분해능, 감광막

2. 发明公开

KR1020060062938A 표시패널용 기판 및 이의 제조 방법 无效
标题翻译：用于显示面板的基板及其制造方法
公开(公告)号：KR1020060062938A
公开(公告)日：2006-06-12
申请号：KR1020040101945
申请日：2004-12-06
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 지훈 , 유정식 , 임석영 , 박병승 , 양동주 , 백장미 , 김동석
IPC分类号： G02F1/136
CPC分类号： H01L27/1255 , G02F1/136213 , G02F1/136286
摘要： 제조 공정의 안정성을 확보하기 위한 표시패널용 기판 및 이의 제조 방법이 개시된다. 표시패널용 기판은 스토리지 전극, 제1 보호막, 스토리지 라인, 연결 전극을 포함한다. 스토리지 전극은 기판의 표시 영역에 게이트 라인과 평행하게 형성된다. 제1 보호막은 스토리지 전극을 덮는다. 스토리지 라인은 표시 영역의 주변 영역에 제1 보호막을 커버하면서 데이터 라인과 평행하게 형성된다. 제2 보호막은 스토리지 라인을 덮도록 제1 보호막 상에 형성된다. 연결 전극은 스토리지 라인의 일부가 노출되도록 제2 보호막에 형성된 제1 홀과, 스토리지 전극이 노출되도록 제1 및 제2 보호막에 형성된 제2 홀을 경유하여, 스토리지 라인과 스토리지 전극을 전기적으로 연결시킨다. 이에 따라, 스토리지 라인의 노출되는 면적을 감소시켜 정전기의 발생 면적을 줄임으로써, 제조 공정의 안정성을 확보할 수 있다.

3. 发明公开

KR1020010111252A 박막 트랜지스터 기판 및 그의 제조 방법 失效
标题翻译： TFT基板及其制造方法
公开(公告)号：KR1020010111252A
公开(公告)日：2001-12-17
申请号：KR1020000031830
申请日：2000-06-09
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 지훈 , 서영갑
IPC分类号： G02F1/136
摘要： 기판 위에 게이트선, 게이트 패드, 게이트 전극을 포함하는 게이트 배선을 형성하고, 게이트 절연막, 반도체층, 중간층 및 도전체층을 연속 증착한 다음 그 위에 양성의 감광막을 도포한다. 마스크를 통하여 감광막에 빛을 조사한 후 현상하여 감광막 패턴을 형성한다. 감광막 패턴 중에서 소스 전극과 드레인 전극 사이의 채널부에 위치한 제1 부분은 데이터 배선이 형성될 부분에 위치한 제2 부분보다 두께가 작게 되도록 하며, 기타 부분의 감광막은 모두 제거한다. 다음, 기타 부분의 노출되어 있는 도전체층을 감광막 패턴의 하부까지 언더 컷이 발생하도록 식각하여 그 하부의 중간층을 노출시키고, 계속해서 노출된 중간층 및 그 하부의 반도체층을 건식 식각 방법으로 제거하여 우선 반도체 패턴을 완성한다. 이어, 에치 백 공정을 통하여 감광막 패턴의 제1 부분을 제거하고 잔류하는 감광막 찌꺼기를 애싱(ashing)을 통하여 제거한 후, 채널부의 도전체층 및 그 하부의 중간층 패턴을 식각하여 제거함으로써, 소스 전극과 드레인 전극을 분리하여 데이터 배선 및 그 하부의 저항성 접촉층 패턴을 완성한다. 남아 있는 감광막을 제거한 후, 보호막과 화소 전극, 보조 게이트 패드 및 보조 데이터 패드를 형성한다.

4. 发明授权

KR100720090B1 액정 표시 장치용 글래스 적재 카세트 失效
标题翻译：液晶显示镜盒
公开(公告)号：KR100720090B1
公开(公告)日：2007-05-18
申请号：KR1020000050547
申请日：2000-08-29
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 지훈 , 서영갑
IPC分类号： G02F1/13
摘要： 액정 표시 장치용 글래스 적재 카세트는 윗면과 밑면에 각각 상판과 하판이 있고, 옆면에 글래스를 적재하기 위해 다수의 슬롯이 일정한 간격으로 형성되어 있는 사이드 플레이트가 상판 및 하판과 연결되어 있다. 뒷면에 글래스가 뒤로 흘러나오지 않도록 하기 위한 스톱퍼가 상판 및 하판과 연결되어 있다. 뒷면에는 또한, 글래스가 휘어지지 않도록 받쳐주는 다수의 서포팅 바가 형성되어 있는 사이드 플레이트가 스톱퍼 사이에 위치하며 상판 및 하판과 연결되어 있다. 여기서, 서포팅 바는 사이드 플레이트로부터 길게 뻗어나와 있고 끝부분에 있는 돌출부에 의해 글래스가 적재되었을 때 글래스의 중앙 밑부분을 받쳐준다. 카세트의 앞부분에는 글래스가 앞으로 쏟아져 나오지 않도록 사이드 플레이트와 볼트로 결합되는 블록커가 있다. 상판에는 작업자가 카세트를 쉽게 운반할 수 있도록 하는 손잡이가 양쪽에 있다. 이때, 서포팅 바는 탄성도를 지닌 알루미늄으로 이루어져 있고, 카세트의 중앙 부분이 사이드 플레이트에 인접한 부분보다 얇게 되어 있어 서포팅 바의 상하 간격이 넓다. 따라서, 카세트에 글래스를 적재했을 때 미세한 움직임으로 인해 발생하는 글래스의 긁힘을 최소화할 수 있어 생산 수율을 높일 수 있다.
액정 표시 장치용 글래스 적재 카세트, 서포팅 바

5. 发明授权

KR100635946B1 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 失效
标题翻译：薄膜晶体管阵列液晶显示器及其制造方法
公开(公告)号：KR100635946B1
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：KR1019990060488
申请日：1999-12-22
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 지훈 , 서영갑
IPC分类号： G02F1/136
摘要： 절연 기판 위에 게이트 배선, 게이트 절연막, 반도체층을 차례로 형성하고, 데이터 배선용으로 크롬층과 알루미늄-네오디뮴층을 연속 증착한 다음, 감광막을 도포하고 슬릿이 형성되어 있는 마스크를 사용하여 노광, 현상함으로써 드레인 전극과 데이터 패드 상부에서는 다른 부분보다 두께가 얇은 감광막 패턴을 형성한다. 감광막 패턴을 마스크로 하여 알루미늄-네오디뮴층을 식각하고, 감광막 패턴을 애싱하여 드레인 전극과 데이터 패드의 알루미늄-네오디뮴층을 노출시킨다. 노출된 알루미늄-네오디뮴층을 식각하여 제거한 다음, 보호막을 적층하고 접촉구를 형성한 후, ITO를 증착하고 패터닝하여 화소 전극과 보조 패드를 형성한다. 이렇게 하면, 데이터 배선층과 화소 전극층 간의 접촉구를 통한 연결이 양호하게 되며, 데이터 배선이 화소 전극 형성 과정에서 손상되는 것을 방지할 수 있다.
액정표시장치, 박막트랜지스터기판, 데이터배선, 슬릿, 마스크, IZO

6. 发明公开

KR1020050034115A 박막 트랜지스터 표시판과 그 제조 방법 无效
公开(公告)号：KR1020050034115A
公开(公告)日：2005-04-14
申请号：KR1020030069938
申请日：2003-10-08
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 지훈 , 임석영 , 유정식
IPC分类号： G02F1/136
摘要： 기판 위에 게이트선 및 노광 반사선을 형성하는 단계, 게이트선 및 노광 반사선 위에 게이트 절연막 및 반도체층을 연속하여 적층하는 단계, 반도체층을 사진 식각하는 단계, 반도체층 위에 하부 도전막과 상부 도전막을 증착하는 단계, 상부 도전막 및 하부 도전막을 사진 식각하여 데이터선을 형성하는 단계, 데이터선 위에 보호막을 증착하는 단계, 보호막을 사진 식각하여 접촉 구멍을 형성하는 단계, 접촉 구멍을 통해 데이터선의 일부와 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하고, 접촉 구멍은 노광 반사선과 일부 중첩하는 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법.

7. 发明公开

KR1020010063416A 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 失效
标题翻译：用于液晶显示装置的薄膜晶体管基板及其制造方法
公开(公告)号：KR1020010063416A
公开(公告)日：2001-07-09
申请号：KR1019990060488
申请日：1999-12-22
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 지훈 , 서영갑
IPC分类号： G02F1/136
摘要： PURPOSE: A thin film transistor substrate for a liquid crystal display device and a method for manufacturing the same are provided to improve the connection between a data wiring layer and a pixel electrode layer. CONSTITUTION: A thin film transistor substrate for a liquid crystal display device comprises an insulating substrate(10). A gate wiring is formed on the insulating substrate(10). The gate wiring includes a gate line, a gate electrode(26) connected to the gate line, and a gate pad connected to an end of the gate line. A gate insulating layer(30) is formed on the gate wiring. A semiconductor layer is formed on the gate electrode(26). The first data wiring includes the first data line(60) formed on the gate insulating layer(30), the first source electrode(65) connected to the first data line(60), the first drain electrode(66) opposite to the first source electrode(65), and the first data pad connected to the first data line(60). The second data wiring is formed on the first data wiring. A protective layer(80) is formed on the second data wiring. A pixel electrode makes contact with the first drain electrode.
摘要翻译：目的：提供一种用于液晶显示装置的薄膜晶体管基板及其制造方法，以改善数据布线层与像素电极层之间的连接。构成：用于液晶显示装置的薄膜晶体管衬底包括绝缘衬底（10）。在绝缘基板（10）上形成栅极配线。栅极布线包括栅极线，连接到栅极线的栅电极（26）和连接到栅极线的端部的栅极焊盘。栅极绝缘层（30）形成在栅极布线上。在栅电极（26）上形成半导体层。第一数据布线包括形成在栅绝缘层（30）上的第一数据线（60），连接到第一数据线（60）的第一源电极（65），与第一数据线相反的第一漏电极源电极（65）以及连接到第一数据线（60）的第一数据焊盘。第二数据布线形成在第一数据布线上。在第二数据线上形成保护层（80）。像素电极与第一漏电极接触。

8. 发明公开

KR1020040078225A 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법 및 이를 위한 마스크 无效
标题翻译：薄膜晶体管显示板及其掩模的制造方法
公开(公告)号：KR1020040078225A
公开(公告)日：2004-09-10
申请号：KR1020030013040
申请日：2003-03-03
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 지훈 , 강호민
IPC分类号： G02F1/136
摘要： PURPOSE: A fabrication method of a TFT display plate is provided to thin a portion of a photosensitive pattern overlapped with a boundary line while making the portion have a slow inclined surface, when forming a contact hole, thereby preventing a gate insulating film from being etched. CONSTITUTION: Gate lines(121) including gate electrodes(125) are formed on an insulating substrate(110). A gate insulating film(140) is formed. Semiconductors(150) are formed. Data lines cross the gate lines(121), and include source electrodes(173). Drain electrodes(175) are located in opposite positions to the source electrodes(173). A protective film(180) covers the data lines and the drain electrodes(175). A contact hole(182) is formed to expose at least a portion of the drain electrodes(175) and the gate insulating film(140) adjacent to a boundary line of the drain electrodes(175) by patterning the protective film(180). A pixel electrode(191) is connected to the drain electrodes(175) through the contact hole(182).
摘要翻译：目的：提供TFT显示板的制造方法，当形成接触孔时，使部分具有缓慢的倾斜表面，使与边界线重叠的感光图案的一部分变薄，从而防止栅极绝缘膜被蚀刻。构成：包括栅极（125）的栅线（121）形成在绝缘基板（110）上。形成栅极绝缘膜（140）。形成半导体（150）。数据线与栅极线（121）交叉，并包括源电极（173）。漏电极（175）位于与源电极（173）相对的位置。保护膜（180）覆盖数据线和漏电极（175）。形成接触孔（182），通过图案化保护膜（180），使与漏电极（175）的边界线相邻的漏电极（175）和栅极绝缘膜（140）的至少一部分露出。像素电极（191）通过接触孔（182）与漏电极（175）连接。

9. 发明公开

KR1020020017321A 액정 표시 장치용 글래스 적재 카세트 失效
标题翻译：用于液晶显示的玻璃堆叠
公开(公告)号：KR1020020017321A
公开(公告)日：2002-03-07
申请号：KR1020000050547
申请日：2000-08-29
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 지훈 , 서영갑
IPC分类号： G02F1/13
摘要： PURPOSE: A glass stacking cassette for a liquid crystal display is provided to prevent the scratch of glasses when stacking glasses by extending an interval between supporting bars by forming the supporting bars gradually more thinly as extended. CONSTITUTION: A glass stacking cassette for a liquid crystal display includes top and bottom plates, a plurality of side plates(22) connected to the top and bottom plates and formed with a plurality of slots for stacking glasses(29), and a plurality of supporting bars(23) having protrusions(27) in end portions for supporting the glasses not to be stacked, wherein the supporting bars are extended from the side plates long and become thinner as extended.
摘要翻译：目的：提供一种用于液晶显示器的玻璃堆叠盒，用于通过在延伸的条件下逐渐变薄地形成支撑条来延伸在支撑杆之间的间隔来堆放眼镜时防止玻璃刮伤。构成：用于液晶显示器的玻璃堆叠盒包括顶板和底板，连接到顶板和底板的多个侧板（22），并形成有用于堆叠玻璃（29）的多个狭槽，以及多个支撑杆（23）在端部具有用于支撑玻璃不被堆叠的端部中的突起（27），其中支撑杆从侧板延伸并且变得更长。

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