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    • 10. 发明公开
    • 반도체 설비의 온라인 표준화 방법
    • 半导体设备的在线标准化方法
    • KR1019990066151A
    • 1999-08-16
    • KR1019980001821
    • 1998-01-22
    • 삼성전자주식회사
    • 장재만이지나
    • H01L21/00
    • 반도체 설비와 호스트를 온라인 연결시킬때 필요한 온라인 서버의 온라인 프로그램을 표준화 규약에 따른 텍스트 화일 형식으로 작성하고, 표준화 규약에 따라 작성된 텍스트 화일을 다시 온라인 서버가 인식가능한 온라인 프로그램을 변환시켜 온라인 프로그램의 수정을 간단하게 함으로써 온라인 프로그램 수정 시간 단축 및 보수, 운영을 용이하게 한 반도체 설비의 온라인 표준화 방법이 개시되고 있다.
      본 발명에 의하면, 반도체 설비의 온라인 표준화 방법에 있어서, 텍스트 형식으로 작성된 파일을 온라인용 파일로 작성, 변환하기 위하여 표준화 규약을 정의하는 단계와, 작업자가 정의되어 있는 표준화 규약에 맞게 온라인용 텍스트 파일을 작성하는 단계와, 작성된 텍스트 파일을 표준화 규약에 맞도록 온라인용 프로그램으로 변환하는 단계와, 오류 발생을 점검하는 단계와, 오류가 발생하지 않으면 변환된 온라인용 프로그램에 의하여 호스트 및 반도체 설비를 온라인시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.