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1. 发明公开

KR1020140126533A 관성 센서 및 그 제조방법 审中-实审
标题翻译：惯性传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020140126533A
公开(公告)日：2014-10-31
申请号：KR1020130044821
申请日：2013-04-23
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 이유헌
IPC分类号： G01C19/56 , G01P15/02 , G01P15/097
摘要： 본 발명은 관성 센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 판상의 멤브레인과, 상기 멤브레인의 중앙부분 하측에 구비된 질량체 및 상기 멤브레인과 질량체 사이에 구비되어 질량체를 멤브레인에 접합시키는 접합층을 포함하되, 상기 접합층은 측면 테두리에 소정의 곡률반경을 가지도록 함몰된 오목부가 형성된다.
摘要翻译：惯性传感器及其制造方法技术领域本发明涉及惯性传感器及其制造方法。惯性传感器包括：板状膜; 放置在膜的下部中心部分的重量; 以及连接层，其被放置在膜和重物之间以将重物附接到膜。接合层包括在其侧边具有固定的曲率半径的凹部。

2. 发明公开

KR1020120103027A 관성센서 无效
标题翻译：惯性传感器
公开(公告)号：KR1020120103027A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：KR1020110021011
申请日：2011-03-09
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 임준 , 이유헌
IPC分类号： G01P15/097 , G01P15/08
CPC分类号： G01C19/5712 , G01P15/0922 , G01P15/18 , G01P2015/084
摘要： PURPOSE: An inertia sensor is provided to improve the measurement sensitivity of acceleration by using an excitation electrode as well as a sensing electrode. CONSTITUTION: A driving body is supported in a floating state to enable the displacement of a flexible substrate(110). A displacement detecting unit detects the displacement of the driving unit by forming sensing electrodes(111a,111a',111b,111b'). An excitation unit excites the driving unit by forming excitation electrodes(112a,112a',112b,112b'). A differential amplifier connects the sensing electrodes with the excitation electrodes. A circuit calculates angular speed and acceleration through the differential amplifier.
摘要翻译：目的：提供惯性传感器，通过使用激励电极以及感应电极来提高加速度的测量灵敏度。构成：驱动体被支撑在浮动状态，以使柔性基板（110）的移位。位移检测单元通过形成感测电极（111a，111a'，111b，111b'）来检测驱动单元的位移。励磁单元通过形成激励电极（112a，112a'，112b，112b'）来激励驱动单元。差分放大器将感测电极与激励电极连接。电路通过差分放大器计算角速度和加速度。

3. 发明公开

KR1020150021863A 각속도 센서 有权
标题翻译：角速度传感器
公开(公告)号：KR1020150021863A
公开(公告)日：2015-03-03
申请号：KR1020130099331
申请日：2013-08-21
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 한원 , 김종운 , 이유헌
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01P3/14 , G01C19/5705
摘要： 본 발명에 따른 각속도 센서는 복수의 질량체를 포함하는 질량체부와, 상기 질량체부를 지지하는 내부 프레임과, 상기 질량체부를 회전운동가능하도록 상기 내부 프레임에 연결하고, 감지수단이 형성된 감지측 가요부와, 상기 내부 프레임을 지지하는 외부 프레임과, 상기 내부 프레임을 외부 프레임에 회전운동 가능하도록 연결하고 구동수단이 형성된 가진측 가요부를 포함하고, 상기 구동수단이 형성된 가진측 가요부는 질량체부의 회전에 따른 변위방향에 대해 상기 내부 프레임의 외측으로 배치된다.
摘要翻译：根据本发明，角速度传感器包括：质量体部分，其包括多个质量体; 内部框架支撑质量体部分; 传感器侧的柔性部分将质量体部分连接到内部框架以可旋转地移动，并且具有传感器元件; 支撑内框架的外框; 以及将内部框架连接到外部框架的振动侧的柔性部分可旋转地移动，并具有操作元件。具有操作元件的振动侧的柔性部分通过质量体部分的旋转而布置在用于位移方向的内部框架的外侧。

4. 发明公开

KR1020140134064A 관성센서 패키징 방법 审中-实审
标题翻译：惯性传感器封装的制造方法
公开(公告)号：KR1020140134064A
公开(公告)日：2014-11-21
申请号：KR1020130053716
申请日：2013-05-13
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 이유헌
IPC分类号： G01P15/09 , B81C3/00
摘要： 본 발명은 관성센서 패키징 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 관성센서 패키징 방법은, IC 상부에 형성된 정렬용 패드에 드라이 필름을 도포하는 단계; 상기 드라이 필름 상면에 솔더 페이스트를 인쇄하는 단계; 상기 솔더 페이스트 상부에 관성센서를 배치하는 단계; 상기 IC와 상기 관성센서가 결합하도록 리플로우하는 단계; 상기 드라이필름을 제거하는 단계; 및 상기 IC 하부에 패키지 캐리어를 접착시키는 단계; 를 포함하여 간단한 구성만으로도 관성센서의 좌표계와 캐리어의 좌표계를 정확히 일치시키는 자동정렬이 가능하므로 비용절감 및 제조 시간을 줄일 수 있는 효과가 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种包装惯性传感器的方法。根据本发明的用于包装惯性传感器的方法包括以下步骤：在形成在IC的上侧的布置垫上喷涂干膜; 在干膜的上侧印刷焊膏; 将惯性传感器布置在焊膏的上侧; 执行回流操作以将IC与惯性传感器组合; 去除干膜; 并将封装载体接合到IC的下侧。因此，通过执行自动布置以通过简单的配置使惯性传感器的坐标系与载体的坐标系一致来降低成本和制造时间。

5. 发明授权

KR101331653B1 관성센서 및 이의 폴링방법 有权
标题翻译：使用惯性传感器和轮询方法
公开(公告)号：KR101331653B1
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：KR1020120032934
申请日：2012-03-30
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 이유헌 , 임준
IPC分类号： G01P15/02
CPC分类号： G01P15/09 , G01C19/56
摘要： 본 발명에 따른 관성센서는 관성력을 검출하기 위해 변위가능하도록 지지된 구동부의 이동을 검출하기 위해 전극층이 형성되고 압전소자로 이루어진 센서부와, 상기 센서부와 전기적으로 연결된 IC와, 상기 센서부와 IC의 전기적 연결을 단속하기 위해 상기 센서부와 IC 사이에 연결된 스위치를 포함한다.

6. 发明公开

KR1020130111490A 관성센서의 폴링방법 无效
标题翻译：惯性传感器的惯性传感器检测方法
公开(公告)号：KR1020130111490A
公开(公告)日：2013-10-10
申请号：KR1020130074543
申请日：2013-06-27
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 이유헌 , 임준
IPC分类号： G01P15/09 , H01L41/22
CPC分类号： G01P15/0907 , G01C19/5712 , G01P1/023 , H01L41/29
摘要： PURPOSE: A method for polling an inertial sensor is provided to prevent damage to an IC by turning off a switch when polling a piezoelectric device. CONSTITUTION: A switch is connected between a sensor part and an IC. It is determined whether the switch is on or off (S110). If the switch is on, a switch off signal is applied (S120). A high voltage for polling is applied to the sensor part (S130). A switch on signal is applied to a package switch control pad. [Reference numerals] (S110) Switch ON; (S120) Switch OFF ?; (S130) High voltage ?
摘要翻译：目的：提供轮询惯性传感器的方法，以在轮询压电装置时关闭开关来防止IC损坏。构成：开关连接在传感器部件和IC之间。确定开关是开或关（S110）。如果开关打开，则应用断开信号（S120）。用于轮询的高电压被施加到传感器部分（S130）。开关信号被施加到封装开关控制板。 [参考号]（S110）接通; （S120）OFF OFF？（S130）高压？

7. 发明公开

KR1020130067324A 관성센서 无效
标题翻译：惯性传感器
公开(公告)号：KR1020130067324A
公开(公告)日：2013-06-24
申请号：KR1020110102511
申请日：2011-10-07
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 김종운 , 이유헌 , 임준 , 강윤성
IPC分类号： G01C19/56 , G01P15/08
摘要： PURPOSE: An inertia sensor is provided to control a resonant frequency by controlling the rigidity of a flexible unit with a control piezoelectric element. CONSTITUTION: An inertia sensor comprises a driving unit(10), a flexible unit(20), a driving electrode(30), a sensing electrode(40), a control piezoelectric element, an impedance element, and a control unit. The driving unit is driven in a first direction. Coliolis' force is applied to a third direction perpendicular to the first direction and a second direction by an angular speed of the driving unit rotating in the second direction perpendicular to the first direction so that the displacement of the driving unit is generated. The flexible unit supports the driving unit so that the driving unit is moved in the first, second, and the third directions. The driving electrode drives the driving unit. The sensing electrode senses the displacement of the driving unit. The control piezoelectric element controls the rigidity of the flexible unit. The impedance element is connected to the control piezoelectric element in order to control the rigidity of the flexible unit. [Reference numerals] (AA) Short, Opening; (BB,DD) Z axis; (CC) X axis; (EE) Time
摘要翻译：目的：提供惯性传感器，通过控制压电元件控制柔性单元的刚度来控制谐振频率。构成：惯性传感器包括驱动单元（10），柔性单元（20），驱动电极（30），感测电极（40），控制压电元件，阻抗元件和控制单元。驱动单元沿第一方向驱动。 Coliolis力通过垂直于第一方向的第二方向旋转的驱动单元的角速度施加到垂直于第一方向的第三方向和第二方向，从而产生驱动单元的位移。柔性单元支撑驱动单元，使得驱动单元在第一，第二和第三方向上移动。驱动电极驱动驱动单元。感测电极感测驱动单元的位移。控制压电元件控制柔性单元的刚度。阻抗元件连接到控制压电元件，以便控制柔性单元的刚性。（标号）（AA）短，开; （BB，DD）Z轴; （CC）X轴; （EE）时间

8. 发明公开

KR1020160112155A 신호 처리 장치, 그를 이용한 자이로 센서 구동 장치 및 방법 无效
标题翻译：用于信号处理的装置，使用其的驱动陀螺传感器的装置和方法
公开(公告)号：KR1020160112155A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：KR1020150037318
申请日：2015-03-18
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 길재형 , 임준 , 이유헌
IPC分类号： H03L7/081 , H03L7/099
CPC分类号： H03K5/135 , G01C19/5776 , H03K2005/00286 , H03L7/081 , H03L7/099
摘要： 본발명의일 실시예는신호처리장치, 그를이용한자이로센서구동장치및 방법에관한것으로서, 입력된신호의위상과비교하여기 설정된위상차의위상인클럭을생성하는클럭생성부; 클럭의위상을일정위상만큼이동시켜보정하는위상보정부; 및위상이보정된클럭과상기입력된신호를합성하는신호합성부; 를포함하고, 위상보정부는입력된신호의크기및 입력된신호에포함된잡음의크기에기초하여이동시킬위상을결정함으로써, S/N 비를개선시킬수 있다.
摘要翻译：本发明的实施例涉及一种用于驱动使用该陀螺仪传感器的信号处理装置，装置和方法。信号处理装置包括时钟生成部，其与输入信号的相位进行比较，生成具有预定相位差的相位的时钟; 相位校正部，其以恒定相位移位时钟的相位，以校正相位; 以及合成输入信号的信号合成部分和具有校正相位的时钟。相位校正部根据输入信号中包含的噪声的大小和输入信号的大小来决定要移位的相位。因此，可以提高S / N比。

9. 发明公开

KR1020160032439A 진동 유닛 및 각속도 센서 모듈 审中-实审
标题翻译：角速度传感器
公开(公告)号：KR1020160032439A
公开(公告)日：2016-03-24
申请号：KR1020140122536
申请日：2014-09-16
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 이유헌
IPC分类号： G01C19/56 , G01P3/02
CPC分类号： G01C19/5607
摘要： 본발명의진동유닛은몸체부재로부터연장되고, 제1구동신호에따라제1평면에서진동하도록구성되는제1진동부재; 및상기몸체부재로부터연장되고, 상기제1진동부재와비평행상태로배치되며, 제2구동신호에따라상기제1평면에서진동하도록구성되는제2진동부재;를포함한다.
摘要翻译：本发明提供了一种振动单元，其中即使检测各种角速度也能够容易地减小其尺寸; 和角速度传感器模块。振动单元包括：第一振动构件，其从主体构件延伸并且根据第一驱动信号形成以在第一平面上振动; 以及第二振动构件，其从所述主体构件延伸并且与所述第一振动构件以非平衡状态布置，其中所述第二振动构件根据第二驱动信号在所述第一平面上振动。

10. 发明公开

KR1020160000772A 자이로 센서 审中-实审
标题翻译： GYRO传感器
公开(公告)号：KR1020160000772A
公开(公告)日：2016-01-05
申请号：KR1020140078420
申请日：2014-06-25
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 이유헌 , 김종운 , 김창현 , 송종형
IPC分类号： G01C19/5719 , G01C19/5733 , G01C19/5776
摘要： 본발명의일 실시예에따른자이로센서는압전체의일면에구비된감지전극또는구동전극에보정전압을인가하여질량체를회전시켜질량체의무게중심과회전중심을질량체의진동방향으로일직선상에놓이도록함으로써쿼드러쳐에러(Quadrature error)를제거또는상쇄시킬수 있다.
摘要翻译：根据本发明的实施例，陀螺仪传感器对驱动电极或感测电极施加校正电压，驱动电极或感测电极设置在压电材料的一个表面上并旋转质量体，并使重心和中心质量体的旋转位于质量体的振动方向的一条直线上; 从而消除或消除正交误差。

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