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    • H01L51/50H01L51/56
    • H01L27/3248H01L27/3258H01L51/56
    • 본발명은기판; 상기기판상에형성되며, 제1트랜치및 제2트랜치를구비하는보조층; 상기기판상에형성되며, 상기제1트랜치에매립된소스전극및 드레인전극과, 상기제2트랜치에매립되고상기소스전극및 상기드레인전극과동일한층에형성된커패시터하부전극; 상기소스전극및 드레인전극과접촉하도록상기보조층상에형성된활성층; 상기활성층을덮도록상기보조층상에형성된제1절연층; 상기제1절연층상에상기활성층과대응되도록형성된게이트전극과, 상기게이트전극과동일한층에상기커패시터하부전극과대응되도록형성된커패시터상부전극; 및상기게이트전극과상기커패시터상부전극을덮도록상기제1절연층상에형성된제2절연층; 을포함함으로써, 박막트랜지스터컨택특성을향상시키고, 커패시터용량을증대시킨평판표시장치용백플레인을제공한다.
    • 基板本发明涉及基板, 辅助层,形成在所述衬底上,所述辅助层包括第一沟槽和第二沟槽; 的衬底,其中所述源电极和嵌入在第一沟槽中的所述漏电极,被埋设在所述源电极和所述电容器形成在同一层作为漏极电极上下电极的第二沟槽上形成的; 形成在辅助层上以接触源电极和漏电极的有源层; 第一绝缘层,形成在所述辅助层上以覆盖所述有源层; 栅电极,形成在第一绝缘层上以对应于有源层;电容器上电极,形成为与电容器下电极在与栅电极相同的层中; 以及形成在第一绝缘层上以覆盖栅电极和电容器上电极的第二绝缘层。 由此提供用于平板显示器的背板,其中薄膜晶体管接触特性得到改善并且电容器容量增加。