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1. 发明授权

KR101946432B1 키형 웨이퍼 캐리어 有权
公开(公告)号：KR101946432B1
公开(公告)日：2019-02-11
申请号：KR1020157037006
申请日：2013-03-01
申请人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 크리쉬난샌딥 , 모이켕 , 구래리알렉산더아이. , 킹매튜 , 보구슬라프스키바딤 , 크롬먼호크스티븐
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/67 , C23C16/458 , C23C16/46

2. 发明公开

KR1020160006253A 키형 웨이퍼 캐리어 审中-实审
标题翻译：关键晶圆载具
公开(公告)号：KR1020160006253A
公开(公告)日：2016-01-18
申请号：KR1020157037006
申请日：2013-03-01
申请人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 크리쉬난샌딥 , 모이켕 , 구래리알렉산더아이. , 킹매튜 , 보구슬라프스키바딤 , 크롬먼호크스티븐
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/67 , C23C16/458 , C23C16/46
CPC分类号： C23C16/4584 , C23C16/4586 , C23C16/46 , H01L21/6719 , H01L21/68764 , H01L21/68771 , H01L21/68792
摘要： 화학증착반응기를위한구조체(10)는바람직하게내부(26)를갖는반응챔버(12), 반응챔버에장착되는스핀들(30), 및함께회전하기위해상기스핀들에해체가능하게장착되는웨이퍼캐리어(40)를포함한다. 스핀들은바람직하게수직회전축(32)을따라연장하는샤프트(36) 및샤프트로부터외향으로돌출하는키(80)를구비한다. 웨이퍼캐리어(40)는바람직하게상면과하면(41, 44)을형성하는몸체(40a) 및웨이퍼(50)를고정하도록구성되는하나이상의웨이퍼-지지피쳐부(43)를구비한다. 웨이퍼캐리어(40)는바람직하게하면(44)으로부터몸체로연장하는리세스(47) 및리세스의주변부(104)로부터외향으로횡단축(106)을따라돌출되는키웨이(48)를더 구비한다. 샤프트(36)는바람직하게리세스(47) 내에체결되고, 키(80)는바람직하게키웨이(48)로체결된다.
摘要翻译：用于化学气相沉积反应器的结构10优选包括反应室12，反应室12具有内部26，安装到反应室的心轴30和可拆卸地安装在心轴上以与其一起旋转的晶片载体（未示出） 40）一个。自旋优选地具有沿竖直旋转轴线32延伸的轴36和从轴向外突出的键80。晶圆载具40优选地具有限定上表面41和下表面44的主体40a以及构造成固定晶圆50的至少一个晶圆支撑特征43。晶片承载器40优选地包括键槽48，该键槽48沿着横向轴线106从凹槽47向外延伸并且凹槽的周边部分104从底面44延伸到本体。轴36优选地紧固在凹部47内，并且键80优选地连接到键槽48。

3. 发明公开

KR1020140121905A 키형 웨이퍼 캐리어 有权
标题翻译：键盘拖车
公开(公告)号：KR1020140121905A
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：KR1020147027578
申请日：2013-03-01
申请人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 크리쉬난샌딥 , 모이켕 , 구래리알렉산더아이. , 킹매튜 , 보구슬라프스키바딤 , 크롬먼호크스티븐
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/205 , C23C16/458
CPC分类号： C23C16/4584 , C23C16/4586 , C23C16/46 , H01L21/6719 , H01L21/68764 , H01L21/68771 , H01L21/68792
摘要： 화학 증착 반응기를 위한 구조체(10)는 바람직하게 내부(26)를 갖는 반응 챔버(12), 반응 챔버에 장착되는 스핀들(30), 및 함께 회전하기 위해 상기 스핀들에 해체 가능하게 장착되는 웨이퍼 캐리어(40)를 포함한다. 스핀들은 바람직하게 수직 회전축(32)을 따라 연장하는 샤프트(36) 및 샤프트로부터 외향으로 돌출하는 키(80)를 구비한다. 웨이퍼 캐리어(40)는 바람직하게 상면과 하면(41, 44)을 형성하는 몸체(40a) 및 웨이퍼(50)를 고정하도록 구성되는 하나 이상의 웨이퍼-지지 피쳐부(43)를 구비한다. 웨이퍼 캐리어(40)는 바람직하게 하면(44)으로부터 몸체로 연장하는 리세스(47) 및 리세스의 주변부(104)로부터 외향으로 횡단축(106)을 따라 돌출되는 키웨이(48)를 더 구비한다. 샤프트(36)는 바람직하게 리세스(47) 내에 체결되고, 키(80)는 바람직하게 키웨이(48)로 체결된다.
摘要翻译：化学气相沉积反应器的结构理想地包括具有内部的反应室，安装在反应室中的主轴和可拆卸地安装到主轴上以与其一起旋转的晶片载体。主轴理想地具有沿着垂直旋转轴线延伸的轴和从轴向外突出的键。晶片载体优选地具有限定相对面对的顶表面和底表面的主体，并且至少一个晶片保持特征被构造成使得晶片可以被保持在其中，晶片的表面暴露在主体的顶表面处。晶片载体理想地还具有从主体的底表面延伸到主体中的凹槽和沿着第一横向轴线从凹部的周边向外突出的键槽。轴优选地接合在凹部中，并且键优选地接合到键槽中。

4. 发明公开

KR1020110091584A 화학 기상 증착 유동물 유입구 부재 및 방법 有权
标题翻译：化学气相沉积流入元件和方法
公开(公告)号：KR1020110091584A
公开(公告)日：2011-08-11
申请号：KR1020117015335
申请日：2009-12-03
申请人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 벨로소프미하일 , 미트로빅보얀 , 모이켕
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/455
CPC分类号： C30B25/14 , C23C16/45574 , C23C16/45578 , C23C16/4584
摘要： 화학 기상 증착 반응기(10)용 유동물 유입구 부재(22)는 업스트림을 가로지르는 평면에서 반응기의 다운스트림 방향으로 서로 나란히 연장되는 복수의 긴 관형 부재(64, 65)로 형성된다. 이 관형 부재는 다운스트림 방향으로 기체를 방출하는 유입구를 가진다. 웨이퍼 캐리어(14)는 업스트림 다운스트림간 축(upstream to downstream axis) 주위를 회전한다. 기체 분배 부재는 축을 관통해 연장되는 중앙 평면(108)에 대해 비대칭인 기체 분배의 패턴을 제공한다.

5. 实用新型

KR2020160003441U 31 포켓 구성을 갖는 웨이퍼 캐리어 审中-实审
标题翻译： 31带31个POCKET配置的拖车
公开(公告)号：KR2020160003441U
公开(公告)日：2016-10-06
申请号：KR2020150006434
申请日：2015-09-30
申请人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 크리쉬난산딥 , 모이켕
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/205
CPC分类号： H01L21/68771 , C23C16/4584 , H01L21/68764
摘要： 본명세서에설명및 청구된웨이퍼캐리어는상단표면상에배열된 31개포켓을포함한다.

6. 发明授权

KR101639230B1 화학 기상 증착 유동물 유입구 부재 및 방법 有权
标题翻译：化学气相沉积流入元件和方法
公开(公告)号：KR101639230B1
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：KR1020117015335
申请日：2009-12-03
申请人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 벨로소프미하일 , 미트로빅보얀 , 모이켕
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/455
CPC分类号： C30B25/14 , C23C16/45574 , C23C16/45578 , C23C16/4584
摘要： 화학기상증착반응기(10)용유동물유입구부재(22)는업스트림을가로지르는평면에서반응기의다운스트림방향으로서로나란히연장되는복수의긴 관형부재(64, 65)로형성된다. 이관형부재는다운스트림방향으로가스를방출하는유입구를가진다. 웨이퍼캐리어(14)는업스트림다운스트림간축(upstream to downstream axis) 주위를회전한다. 가스분배부재는축을관통해연장되는중앙평면(108)에대해비대칭인가스분배의패턴을제공한다.

7. 发明授权

KR101582909B1 키형 웨이퍼 캐리어 有权
标题翻译：键盘拖车
公开(公告)号：KR101582909B1
公开(公告)日：2016-01-19
申请号：KR1020147027578
申请日：2013-03-01
申请人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 크리쉬난샌딥 , 모이켕 , 구래리알렉산더아이. , 킹매튜 , 보구슬라프스키바딤 , 크롬먼호크스티븐
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/205 , C23C16/458
CPC分类号： C23C16/4584 , C23C16/4586 , C23C16/46 , H01L21/6719 , H01L21/68764 , H01L21/68771 , H01L21/68792
摘要： 화학증착반응기를위한구조체(10)는바람직하게내부(26)를갖는반응챔버(12), 반응챔버에장착되는스핀들(30), 및함께회전하기위해상기스핀들에해체가능하게장착되는웨이퍼캐리어(40)를포함한다. 스핀들은바람직하게수직회전축(32)을따라연장하는샤프트(36) 및샤프트로부터외향으로돌출하는키(80)를구비한다. 웨이퍼캐리어(40)는바람직하게상면과하면(41, 44)을형성하는몸체(40a) 및웨이퍼(50)를고정하도록구성되는하나이상의웨이퍼-지지피쳐부(43)를구비한다. 웨이퍼캐리어(40)는바람직하게하면(44)으로부터몸체로연장하는리세스(47) 및리세스의주변부(104)로부터외향으로횡단축(106)을따라돌출되는키웨이(48)를더 구비한다. 샤프트(36)는바람직하게리세스(47) 내에체결되고, 키(80)는바람직하게키웨이(48)로체결된다.
摘要翻译：化学气相沉积反应器的结构理想地包括具有内部的反应室，安装在反应室中的主轴和可拆卸地安装到主轴上以与其一起旋转的晶片载体。主轴理想地具有沿着垂直旋转轴线延伸的轴和从轴向外突出的键。晶片载体优选地具有限定相对面对的顶表面和底表面的主体，并且至少一个晶片保持特征被构造成使得晶片可以被保持在其中，晶片的表面暴露在主体的顶表面处。晶片载体理想地还具有从主体的底表面延伸到主体中的凹槽和沿着第一横向轴线从凹部的周边向外突出的键槽。轴优选地接合在凹部中，并且键优选地接合到键槽中。

8. 发明公开

KR1020100116169A 허브를 구비한 웨이퍼 캐리어 无效
标题翻译：带框架的拖车
公开(公告)号：KR1020100116169A
公开(公告)日：2010-10-29
申请号：KR1020107012860
申请日：2008-12-01
申请人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 보구슬라브스키바딤 , 구래리알렉산더아이. , 모이켕 , 아모르에릭에이.
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/683 , H01L21/677 , H01L21/205
CPC分类号： C23C16/4581 , C23C16/4584 , H01L21/68764 , H01L21/68771 , H01L21/68792 , H01L21/68757
摘要： 회전 디스크 CVD 반응로용 본 발명의 웨이퍼 캐리어(30)는, 웨이퍼 캐리어의 상류 표면(34) 상에 포켓(38)과 같은 웨이퍼 유지부를 형성하는 탄화규소와 같은 세라믹으로 이루어진 유니타리 플레이트(32), 및 상기 플레이트(32)의 중앙 영역(44)에서 상기 플레이트(32)에 제거 가능하게 장착된 허브(40)를 포함한다. 상기 허브(40)는, 상기 세라믹 플레이트(32) 상에 집중 응력을 부과하지 않으면서 상기 반응로의 상기 스핀들(16)에 견고하게 연결된다. 상기 허브(40)는 상기 플레이트(32)의 세정 동안에 제거될 수 있다. 상기 웨이퍼 캐리어(30)는 또한 바람직하게 상기 플레이트(32)의 상기 중앙 영역(44)에서 상기 플레이트(32)의 상기 상류 표면(34)에 가스 흐름 촉진 부재(348, 448)를 포함한다. 상기 가스 흐름 촉진 부재(348, 448)는, 입사 가스의 흐름을 상기 상류 표면(34)을 따라, 상기 중앙 영역(44)에서 흐름 불연속성으로부터 멀리 방향을 재설정하는 것을 보조한다.

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