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1. 发明授权

KR101846598B1 플라즈마 점화 및 지속 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR101846598B1
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：KR1020137009843
申请日：2011-10-19
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 피셔안드레아스 , 벤자민닐마틴폴
IPC分类号： H05H1/26 , H05H1/40
CPC分类号： B23K10/00 , B23K9/013 , B23K2101/40 , H01J37/321 , H01J37/3211 , H01J37/32366 , H01J37/32825 , H05H1/46 , H05H2001/4667
摘要： 대기유도결합플라즈마토치는내부에플라즈마가생성되는용기, 및용기의주변부둘레에와인딩된코일을포함한다. 코일은적어도 2 개의이격된와인딩층들을갖는다. 인접한다중-턴이와인딩되기전에소정의다중-턴의모든와인딩층들이와인딩되도록코일이구성된다. 코일의제 1 단부는접지에결합되고, 코일의제 2 단부는프로세싱을가능하기위해플라즈마를점화하도록구성되는 RF 구동기신호를수신하도록결합된다.

2. 发明授权

KR101277905B1 기판의 온도를 결정하는 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于确定基材温度的装置及其方法
公开(公告)号：KR101277905B1
公开(公告)日：2013-06-25
申请号：KR1020087007755
申请日：2006-09-12
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 가프키스 , 벤자민닐마틴폴
IPC分类号： G01K11/00
CPC分类号： G01K11/20 , G01K11/3213
摘要： 기판의 온도를 측정하는 장치가 개시된다. 장치는 기판과 열 접촉된 인광 물질을 포함하고, 인광 물질은 제 2 파장 범위의 전자기 방사에 노출되었을 때 제 1 파장 범위의 형광 반응을 생성하고, 형광 반응은 인광 물질의 온도와 연관되는 감쇠율로 감쇠 되며, 그리고 인광 물질은 플라즈마에 노출되었을 때 제 1 세트의 비-휘발성 부산물을 생성한다. 장치는 또한 인광 물질과 플라즈마 사이에 위치한 배리어 윈도우 (barrier window) 를 포함하고, 배리어 윈도우는 적어도 제 1 파장과 제 2 파장 부분이 투과되도록 하고, 배리어 윈도우는 플라즈마에 노출되었을 때 제 1 세트의 비-휘발성 부산물보다 적은 제 2 세트의 비-휘발성 부산물을 생성하고, 전자기 방사가 배리어 윈도우를 통하여 인광 물질까지 투과될 때, 온도가 형광 반응의 감쇠율로부터 결정된다.
기판 온도 측정 장치, 플라즈마 처리 시스템, 인광 물질, 노치, 배리어 윈도우

3. 发明授权

KR101846599B1 플라즈마 점화 및 지속 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR101846599B1
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：KR1020137010130
申请日：2011-10-03
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 벤자민닐마틴폴 , 피셔안드레아스
IPC分类号： H05H1/30
CPC分类号： H01J37/32541 , B23K9/013 , B23K10/00 , B23K2101/40 , H01J37/3211
摘要： 플라즈마를생성하기위한장치는플라즈마생성용기, 및코일길이를갖는코일, 및부분적으로둘러싸며길이방향으로배향된도전성 (PELOC) 핑거들의제 1 세트, 및 PELOC 핑거들의제 2 세트를포함한다. PELOC 핑거세트들은용기의길이방향축을따라배향되며, 용기의주변부를각각부분적으로둘러싼다. 2 세트의 PELOC 핑거들은핑거팁들이핑거팁들과마주보게배향되고, 코일길이보다작은세트간거리만큼이격된다.

4. 发明公开

KR1020170106499A 플라즈마 점화 및 지속 방법 및 장치 审中-实审
标题翻译：等离子体点火和维持方法和设备
公开(公告)号：KR1020170106499A
公开(公告)日：2017-09-20
申请号：KR1020177025250
申请日：2011-10-03
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 벤자민닐마틴폴 , 피셔안드레아스
IPC分类号： H01J37/32 , B23K10/00 , B23K9/013 , B23K101/40
CPC分类号： H01J37/32541 , B23K9/013 , B23K10/00 , B23K2201/40 , H01J37/3211
摘要： 플라즈마를생성하도록사용되는용기와함께사용하기위한장치가제공된다. 일장치는용기의외주둘레를부분적으로감도록 (wrap) 구성된제 1 콤구조체를포함한다. 제 1 콤구조체는제 1 단부및 제 2 단부를가지고, 그리고제 1 분리는제 1 단부및 제 2 단부사이에서규정된다. 제 1 콤구조체는용기의외주에수직으로배향된제 1 복수의핑거들을규정한다. 제 1 콤구조체는 RF 코일의제 1 단부에연결되게구성된다. 또한, 용기의외주둘레를부분적으로감도록구성된제 2 콤구조체가제공된다. 제 2 콤구조체는제 1 단부및 제 2 단부를가진다. 제 2 분리는제 2 콤구조체의제 1 단부와제 2 단부사이에서규정된다. 제 2 콤구조체는용기의외주에수직으로배향된제 2 복수의핑거들을규정한다. 제 2 콤구조체는 RF 코일의제 2 단부에연결되게구성된다. 나아가, 제 1 복수의핑거들의단부들및 상기제 2 복수의핑거들의단부들은서로마주보고제 3 분리를유지하게구성된다.
摘要翻译：提供了与用于产生等离子体的容器一起使用的装置。该设备包括第一梳子结构，该第一梳子结构被构造成部分地围绕容器的外周。第一梳状结构具有第一端和第二端，并且第一分隔限定在第一端和第二端之间。第一梳子结构限定垂直于容器周边定向的第一多个指状物。第一梳状结构被配置为连接到RF线圈的第一端。此外，提供了构造成部分地卷绕容器的外周的第二梳状结构。第二梳子结构具有第一端和第二端。第二分离被限定在第二梳状结构的第一端和第二端之间。第二梳状结构限定垂直于容器周边取向的第二多个指状物。并且第二梳状结构被配置为连接到RF线圈的第二端。此外，第一多个指状件的端部和第二多个指状件的端部构造成彼此面对以保持第三分隔。

5. 发明公开

KR1020080053479A 기판의 온도를 결정하는 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于确定基材温度的装置及其方法
公开(公告)号：KR1020080053479A
公开(公告)日：2008-06-13
申请号：KR1020087007755
申请日：2006-09-12
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 가프키스 , 벤자민닐마틴폴
IPC分类号： G01K11/00
CPC分类号： G01K11/20 , G01K11/3213
摘要： An apparatus for measuring a temperature of a substrate is disclosed. The apparatus includes a phosphor material in thermal contact to the substrate, the phosphor material producing a fluorescent response in a first wavelength range when exposed to an electromagnetic radiation in a second wavelength range, the fluorescent response decaying at a decay rate that is related to a temperature of the phosphor material, and the phosphor material producing a first set of non volatile byproducts when exposed to a plasma. The apparatus also includes a barrier window positioned between the phosphor material and a plasma, wherein the barrier window allows at least a portion of the first wavelength and the second wavelength to be transmitted, and wherein the barrier window produces a second set of non volatile byproducts that is less than the first set of non volatile byproducts when exposed to the plasma, wherein when the electromagnetic radiation is transmitted to the phosphor material through the barrier window, the temperature is determined from the decay rate of the fluorescent response.
摘要翻译：公开了一种用于测量衬底温度的装置。该装置包括与衬底热接触的磷光体材料，当暴露于第二波长范围内的电磁辐射时，荧光体材料在第一波长范围内产生荧光响应，荧光响应以与荧光体材料的温度，以及当暴露于等离子体时产生第一组非挥发性副产物的荧光体材料。该设备还包括位于荧光体材料和等离子体之间的屏障窗口，其中屏障窗口允许第一波长和第二波长的至少一部分被传输，并且其中屏障窗口产生第二组非挥发性副产物当暴露于等离子体时，其小于第一组非挥发性副产物，其中当电磁辐射通过阻挡窗口传输到荧光体材料时，根据荧光响应的衰减速率来确定温度。

6. 发明授权

KR101741272B1 플라즈마 프로세싱 툴을 위한 인-시츄 프로세스 모니터링 및 제어를 위한 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR101741272B1
公开(公告)日：2017-05-29
申请号：KR1020117031574
申请日：2010-06-29
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 베누고팔비자야쿠마르씨 , 벤자민닐마틴폴
IPC分类号： H01L21/3065
CPC分类号： H01J37/3299 , H01J37/32935
摘要： 레시피의실행동안자동인-시츄프로세스제어방식을구현하는장치가제공된다. 장치는레시피실행동안세트포인트들의모니터링을용이하게하기위해제1 세트의센서데이터를적어도수집하도록구성된제어-루프센서들을포함하며, 제어-루프센서들은프로세스제어루프의일부이다. 장치는또한프로세스제어루프의일부가아닌제2 세트의센서데이터을적어도수집하도록구성된독립센서들을포함한다. 장치는또한제1 세트의센서데이터및 제 2 세트의센서데이터중 적어도하나를적어도수신하도록구성된허브를포함한다. 장치는또한허브에통신가능하게커플링되어제 1 세트의센서데이터및 제 2 세트의센서데이터중 적어도하나의분석을수행하도록구성된분석컴퓨터를포함한다.

7. 发明授权

KR101310821B1 척 열 캘리브레이션을 위한 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于卡路温度校准的方法和装置
公开(公告)号：KR101310821B1
公开(公告)日：2013-09-23
申请号：KR1020060073962
申请日：2006-08-04
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 가프키스윌리엄 , 벤자민닐마틴폴
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/3065
CPC分类号： H01L21/6833 , H01L21/67248
摘要： 웨이퍼 온도는 웨이퍼가 노출된 열원의 제거 후에 시간의 함수로서 측정된다. 웨이퍼 온도 측정 동안, 가스는 웨이퍼와 웨이퍼를 지지하는 척 사이의 인터페이스에서 실질적으로 일정한 압력으로 제공된다. 가해진 가스 압력에 대응하는 척 열 특성 파라미터 값은, 시간의 함수로서, 측정된 웨이퍼 온도로부터 결정된다. 웨이퍼 온도는, 가스 압력의 함수로서 척 열 특성 파라미터 값들의 세트를 발생시키기 위해서 다수의 가해진 가스 압력에 대하여 측정된다. 척에 대한 열 캘리브레이션 곡선은, 측정된 척 열 특성 파라미터들의 세트와 대응하는 가스 압력들로부터 발생된다. 척에 대한 열 캘리브레이션 곡선은, 제조공정동안 특정 웨이퍼 온도를 얻기 위해, 가스 압력을 튜닝하도록 이용될 수 있다.
플라즈마, 열원, 척

8. 发明公开

KR1020120087925A 전력 회로를 위한 ＲＦ 분리 有权
标题翻译： RF隔离电源电路
公开(公告)号：KR1020120087925A
公开(公告)日：2012-08-07
申请号：KR1020127010167
申请日：2010-10-19
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 벤자민닐마틴폴
IPC分类号： H05H1/46 , H03H7/09
CPC分类号： H02M3/335 , H02M7/44
摘要： 제 1 RF 주파수를 갖는 적어도 하나의 제 1 RF 신호를 포함하는 RF 신호들의 세트들에 또한 종속된 컴포넌트에 분리된 전력을 공급하는 시스템 및 방법이 제공된다. DC 전압 신호 제공 및 분리 변압기를 이용한 DC 전압 신호의 분리된 전력 신호로의 변조가 포함된다. 분리된 전력 신호는 60 Hz 보다는 높고 제 1 RF 주파수보다는 낮은 중간 주파수를 갖는다. 일차 권선에 DC 전압 신호를 제공하는 단계 및 이차 권선으로부터 분리된 전력 신호를 획득하는 단계; 그리고 분리된 전력 신호를 이용하여 분리된 전력을 컴포넌트에 전달하는 단계가 포함된다.

9. 发明授权

KR101866153B1 플라즈마 점화 및 지속 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR101866153B1
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：KR1020177025250
申请日：2011-10-03
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 벤자민닐마틴폴 , 피셔안드레아스
IPC分类号： H01J37/32 , B23K10/00 , B23K9/013 , B23K101/40
CPC分类号： H01J37/32541 , B23K9/013 , B23K10/00 , B23K2101/40 , H01J37/3211
摘要： 플라즈마를생성하도록사용되는용기와함께사용하기위한장치가제공된다. 일장치는용기의외주둘레를부분적으로감도록 (wrap) 구성된제 1 콤구조체를포함한다. 제 1 콤구조체는제 1 단부및 제 2 단부를가지고, 그리고제 1 분리는제 1 단부및 제 2 단부사이에서규정된다. 제 1 콤구조체는용기의외주에수직으로배향된제 1 복수의핑거들을규정한다. 제 1 콤구조체는 RF 코일의제 1 단부에연결되게구성된다. 또한, 용기의외주둘레를부분적으로감도록구성된제 2 콤구조체가제공된다. 제 2 콤구조체는제 1 단부및 제 2 단부를가진다. 제 2 분리는제 2 콤구조체의제 1 단부와제 2 단부사이에서규정된다. 제 2 콤구조체는용기의외주에수직으로배향된제 2 복수의핑거들을규정한다. 제 2 콤구조체는 RF 코일의제 2 단부에연결되게구성된다. 나아가, 제 1 복수의핑거들의단부들및 상기제 2 복수의핑거들의단부들은서로마주보고제 3 분리를유지하게구성된다.

10. 发明授权

KR101791706B1 전력 회로를 위한 ＲＦ 분리 有权
标题翻译：电源电路的射频隔离
公开(公告)号：KR101791706B1
公开(公告)日：2017-10-30
申请号：KR1020127010167
申请日：2010-10-19
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 벤자민닐마틴폴
IPC分类号： H05H1/46 , H03H7/09
CPC分类号： H02M3/335 , H02M7/44
摘要： 제 1 RF 주파수를갖는적어도하나의제 1 RF 신호를포함하는 RF 신호들의세트들에또한종속된컴포넌트에분리된전력을공급하는시스템및 방법이제공된다. DC 전압신호제공및 분리변압기를이용한 DC 전압신호의분리된전력신호로의변조가포함된다. 분리된전력신호는 60 Hz 보다는높고제 1 RF 주파수보다는낮은중간주파수를갖는다. 일차권선에 DC 전압신호를제공하는단계및 이차권선으로부터분리된전력신호를획득하는단계; 그리고분리된전력신호를이용하여분리된전력을컴포넌트에전달하는단계가포함된다.
摘要翻译：提供了一种用于向也依赖于包括具有第一RF频率的至少一个第一RF信号的多组RF信号的组件提供离散功率的系统和方法。提供DC电压信号并使用隔离变压器将DC电压信号调制成单独的电力信号。隔离的功率信号具有高于60Hz的中频并且低于第一RF频率。向所述初级绕组提供DC电压信号并获得与所述次级绕组分开的功率信号; 并使用分离的功率信号将分离的功率传输到组件。

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