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1. 发明授权

KR101796333B1 표면 유체 액적들의 비접촉 검출 有权
标题翻译：表面液滴的非接触式检测
公开(公告)号：KR101796333B1
公开(公告)日：2017-11-09
申请号：KR1020127028996
申请日：2011-03-29
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 노튼피터 , 아부드찰리
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/302
CPC分类号： G01N27/226
摘要： 기판상의유체를검출하는시스템이제공된다. 시스템은센서보드, 제 1 용량성센서및 기판이배치되는플랫폼을포함하지만, 이에한정되지않는다. 제 1 용량성센서는센서보드상에장착된다. 제 1 용량성센서는신호를송신하기위한송신센서패드, 신호를수신하기위한수신센서패드, 및수신된신호를분석하기위해수신센서패드와접속된아날로그-디지털컨버터를갖는다. 플랫폼은송신센서패드및 수신센서패드로부터제 1 거리에있다.
摘要翻译：提供了一种用于检测基板上的流体的系统。该系统包括但不限于传感器板，第一电容式传感器和基板布置在其上的平台。第一个电容式传感器安装在传感器板上。第一电容式传感器具有用于发送信号的发送传感器垫，用于接收信号的接收传感器垫以及连接到接收传感器垫以用于分析接收到的信号的模数转换器。该平台距发射传感器垫和接收传感器垫第一距离。

2. 发明授权

KR102110616B1 3차원 온도 구배에 대한 다중채널 써모커플 보상 有权
公开(公告)号：KR102110616B1
公开(公告)日：2020-05-14
申请号：KR1020140028899
申请日：2014-03-12
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 이글리프레드 , 디스틴티존 , 노튼피터 , 왕안드레아
IPC分类号： G01K7/02 , G01K7/12

3. 发明公开

KR1020130044233A 표면 유체 액적들의 비접촉 검출 有权
标题翻译：表面流体液滴的非接触检测
公开(公告)号：KR1020130044233A
公开(公告)日：2013-05-02
申请号：KR1020127028996
申请日：2011-03-29
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 노튼피터 , 아부드찰리
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/302
CPC分类号： G01N27/226 , H01L22/12 , H01L21/302
摘要： 기판 상의 유체를 검출하는 시스템이 제공된다. 시스템은 센서 보드, 제 1 용량성 센서 및 기판이 배치되는 플랫폼을 포함하지만, 이에 한정되지 않는다. 제 1 용량성 센서는 센서 보드 상에 장착된다. 제 1 용량성 센서는 신호를 송신하기 위한 송신 센서 패드, 신호를 수신하기 위한 수신 센서 패드, 및 수신된 신호를 분석하기 위해 수신 센서 패드와 접속된 아날로그-디지털 컨버터를 갖는다. 플랫폼은 송신 센서 패드 및 수신 센서 패드로부터 제 1 거리에 있다.

4. 发明公开

KR1020140111991A 3차원 온도 구배에 대한 다중채널 써모커플 보상 审中-实审
标题翻译：用于三维温度梯度的多通道热电偶补偿
公开(公告)号：KR1020140111991A
公开(公告)日：2014-09-22
申请号：KR1020140028899
申请日：2014-03-12
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 이글리프레드 , 디스틴티존 , 노튼피터 , 왕안드레아
IPC分类号： G01K7/02 , G01K7/12
CPC分类号： G01K7/13 , G01K1/026 , G01K7/023
摘要： Provided is a method for using a thermocouple. Not limited to the followings, the method includes an operation in which one or more temperature sensors are arranged at each of two or more individual parts of an electric connector configured to receive thermocouple signals; an operation in which temperatures of the two or more individual parts are arranged; and an operation in which temperatures of respective terminals of the electric connector are calculated based on temperature values measured at the two or more individual parts having the arranged temperature sensors. Not limited to the followings, the method further includes an operation in which a terminal cold junction temperature with respect to one or more thermocouple channels transmitting the thermocouple signal is calculated based on the temperature values measured or calculated at the terminals or a combination thereof.
摘要翻译：提供了一种使用热电偶的方法。不限于此，该方法包括一种操作，其中一个或多个温度传感器布置在被配置为接收热电偶信号的电连接器的两个或更多个单独部分中的每一个处; 设置两个以上的单个部件的温度的动作; 以及基于在具有布置的温度传感器的两个或更多个单独部件处测量的温度值来计算电连接器的各个端子的温度的操作。不限于以下，该方法还包括基于在端子处测量或计算的温度值或其组合来计算相对于传输热电偶信号的一个或多个热电偶通道的端子冷端温度的操作。

5. 发明授权

KR101433403B1 전기 히터를 제어하기 위한 방법 및 시스템 有权
标题翻译：控制电加热器的方法和系统
公开(公告)号：KR101433403B1
公开(公告)日：2014-08-26
申请号：KR1020097009935
申请日：2007-11-12
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 노튼피터 , 디스틴티존
IPC分类号： H05B3/02 , H05B1/02
CPC分类号： G05B11/28
摘要： 시스템들 및 방법들은 부하 온도를 세트포인트에 근사화시키기 위해 히터를 제어한다. 각각의 AC 사이클의 시작에서, AC 사이클이 턴온 또는 턴오프되어야 하는지 여부를 결정하기 위해 시그마 델타 변조 알고리즘이 컴퓨팅된다. 과거의 실제 듀티 사이클의 러닝 추정치가 원하는 출력 듀티 사이클과 비교되고, 양자 간의 차이가 다음 사이클의 출력을 조정하기 위해 사용된다. 이는, 가열되는 엘리먼트 상에 바람직하지 않은 작은 주기적인 열 '리플' 을 야기할 수도 있는 상당히 주기적인 컴포넌트들을 포함하지 않는 의사 랜덤 펄스 시퀀스 출력을 초래한다.
부하 온도, 세트포인트, 히터

6. 发明公开

KR1020090080526A 전기 히터를 제어하기 위한 방법 및 시스템 有权
标题翻译：控制电加热器的方法和系统
公开(公告)号：KR1020090080526A
公开(公告)日：2009-07-24
申请号：KR1020097009935
申请日：2007-11-12
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 노튼피터 , 디스틴티존
IPC分类号： H05B3/02 , H05B1/02
CPC分类号： G05B11/28
摘要： Systems and methods for controlling a heater to drive a load temperature to approximate a setpoint. At the beginning of each 1/2 AC cycle, a sigma delta modulation algorithm is computed to determine whether the AC cycle should be turned on or off. The running estimate of the past actual duty cycle is compared to the desired output duty cycle, and the difference between the two is used to adjust the next 1/2 cycle's output. This results in a pseudo-random pulse sequence output which does not contain significant periodic components that could cause undesirable small periodic thermal 'ripples' on the element being heated.
摘要翻译：用于控制加热器以驱动负载温度以近似设定值的系统和方法。在每个1/2 AC周期的开始，计算一个Σ-Δ调制算法，以确定是否应该打开或关闭AC循环。将过去实际占空比的运行估计与期望的输出占空比进行比较，两者之间的差异用于调整下一个1/2周期的输出。这导致伪随机脉冲序列输出，其不包含可能在被加热元件上引起不期望的小的周期性热“波纹”的显着的周期性分量。

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