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    • 5. 发明公开
    • 구리계 금속막의 식각액 조성물 및 그의 응용
    • 蚀刻剂组成的铜基金属薄膜及其应用
    • KR1020170128111A
    • 2017-11-22
    • KR1020170058219
    • 2017-05-10
    • 동우 화인켐 주식회사
    • 전현수김상태임대성최용석
    • G02F1/1362G02F1/1368C23F1/18C23F1/34C09K13/08C09K13/06
    • 본발명은구리계금속막의식각액조성물및 그의응용에관한것이다. 상기구리계금속막의식각액조성물은, 조성물총 중량에대하여과산화수소 5 내지 30 중량%, 함불소화합물 0.01 내지 1.0 중량%, 고리형아민화합물 0.1 내지 5 중량%, 인산염화합물 0.1 내지 5.0 중량%, 한분자내에질소원자와카르복실기를갖는수용성화합물 0.1 내지 5 중량%, 다가알코올형계면활성제 0.1 내지 5.0 중량%, 부식전위조절제 0.5 내지 10.0중량% 및잔량의물을포함하며, 상기조성물에서측정한몰리브덴또는몰리브덴합금부식전위가 -0.8V 내지 -0.2V인것을특징으로한다.
    • 铜基金属膜的蚀刻剂组合物及其应用技术领域本发明涉及铜基金属膜的蚀刻剂组合物及其应用。 该铜基的金属膜,蚀刻液体组合物,过氧化氢,5至30%以重量计所述组合物水枪重量的0.01〜1.0%(重量)的含氟化合物,0.1至5%(重量)的环状胺化合物,磷酸酯化合物0.1〜5.0重量%,和1分钟椅子的 在包含由所述组合物测得的重量钼或钼的具有羧基,多元醇型表面活性剂,0.1%至5.0%(重量),水的腐蚀电位调节剂0.5〜10.0%,残余量的氮原子,和0.1%至5%(重量)的水溶性化合物 而合金的腐蚀电位为-0.8V至-0.2V。
    • 9. 发明公开
    • 결정성 실리콘 웨이퍼의 텍스쳐 에칭액 조성물 및 텍스쳐 에칭방법
    • 晶体蚀刻溶液的组成和纹理蚀刻方法
    • KR1020130043051A
    • 2013-04-29
    • KR1020120080780
    • 2012-07-24
    • 동우 화인켐 주식회사
    • 홍형표박면규임대성
    • C09K13/02H01L31/04
    • Y02E10/50C09K13/02H01L21/30604
    • PURPOSE: A texture etchant composition is provided to improve light efficiency by minimizing the quality deviation of a texture every location on a crystalline silicon wafer and to reduce reflectivity. CONSTITUTION: A texture etchant composition for crystalline silicon wafers comprises a polymer polymerized of C4-10 cyclic compound-substituted monomer which contains at least one or more nitrogen atom. The monomer additionally comprises one or more of an oxygen atom and sulfur atom in a cyclic structure. The weight average molecular weight of the polymer is 1,000-1,000,000 and the boiling point is 100>=. The comprised amount of the polymer is 10^(-12) - 1 weight% based on the total weight of the etchant composition. The composition additionally comprises alkali compounds and/or polysaccharides.
    • 目的:提供纹理蚀刻剂组合以通过最小化结晶硅晶片上每个位置的纹理的质量偏差并降低反射率来提高光效率。 构成:晶体硅晶片的纹理蚀刻剂组合物包含聚合有含有至少一个或多个氮原子的C 4-10环状化合物取代的单体的聚合物。 单体还包含环状结构中的一个或多个氧原子和硫原子。 聚合物的重均分子量为1,000-1,000,000,沸点为100> =。 基于蚀刻剂组合物的总重量,聚合物的包含量为10 ^( - 12)-1重量%。 该组合物另外包含碱性化合物和/或多糖。