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    • 7. 发明授权
    • 환경친화형 감방사선성 조성물용 현상액
    • 开发人员用于环保的辐射敏感组合物
    • KR100571492B1
    • 2006-04-17
    • KR1020040011398
    • 2004-02-20
    • 동우 화인켐 주식회사
    • 최영국양민수임대성이경모이가연최선미김상태전성현
    • G03F7/32
    • 본 발명은 감방사선성 조성물용 현상액에 관한 것으로서, 환경친화형의 생체 계면활성제, 선택적으로 저기포성 비이온성 계면활성제, 알칼리성 화합물 및 물을 함유한다. 본 발명에 따른 현상액은 칼라필터 포토레지스트, 블랙메트릭스, 포토스페이서등의 감방사선성 조성물에 대하여 동시에 양호한 현상성과 패턴의 재현성을 나타내며 스프레이 등의 공정에서 발생할 수 있는 기포에 의한 현상시의 문제점을 제거할 수 있고 환경오염을 최소화할 수 있는 저기포성이며 환경친화형인 감방사선성 조성물용 현상액을 제공한다.
    • 本发明涉及一种用于辐射敏感性组合物的显影剂,和生物体表面活性剂,任选地在环境友好且有包含低发泡非离子表面活性,碱性化合物和水。 根据本发明显影溶液是彩色滤光片光阻剂,黑矩阵,光隔离物这种意义表示了良好的发展和图案再现相对于在去除的显影时的问题的同时,辐射敏感性组合物,由于在诸如喷涂工艺中可能发生的气泡 并且可以将环境污染降至最低,而且对环境无害。