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1. 发明授权

KR102017962B1 샤워 헤드 및 성막 장치 有权
公开(公告)号：KR102017962B1
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：KR1020177010087
申请日：2015-08-31
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 이이즈카요지
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/50 , H01L21/02 , H01L21/3065

2. 发明公开

KR1020170054500A 샤워 헤드 및 성막 장치 审中-实审
标题翻译：淋浴头和成膜装置
公开(公告)号：KR1020170054500A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：KR1020177010087
申请日：2015-08-31
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 이이즈카요지
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/50 , H01L21/02 , H01L21/3065
CPC分类号： B05B1/185 , C23C16/45544 , C23C16/45561 , C23C16/45565 , C23C16/45574
摘要： 일실시형태에서는성막장치용의샤워헤드가제공된다. 이샤워헤드는두께방향을따라연장되는복수의가스분사구멍이형성된가스분사플레이트와, 공통유로로부터복수의가스분사구멍에가스를인도하기위한복수의유로로서, 공통유로에접속되는일단및 타단을갖는, 해당복수의유로를제공하는가스공급부를구비하고, 복수의유로중 임의의 2개의유로로서, 한쪽의유로의일단의배치위치와타단의배치위치와의제 1 직선거리가다른쪽의유로의일단의배치위치와타단의배치위치와의제 2 직선거리보다짧은, 해당 2개의유로는한쪽의유로의길이와제 1 직선거리와의차이가다른쪽의유로의길이와제 2 직선거리와의차이보다큰 관계를갖는다.
摘要翻译：在一个实施例中，提供了用于成膜设备的淋浴头。伊斯战争头是多个用于气体从所述多个气体的气体喷射板注射孔引导到所述多个气体喷射孔的流动路径的形成，其沿厚度方向延伸的共同的流路，一端和另一端连接到所述共用流路具有，包括一气体供应，用于提供所述多个流路和作为所述多个流动路径中的任意两个流路，另外流动路径的一个流路的另一端的配置位置之间的第一直线距离的一种布置位置一旦被放置在适当的位置，并且比另一端的配置位置之间的第二直线距离越短，所述两个流动通道是一个流路的第一直线距离的长度之差比其它流路的第二直线距离的长度的差越大它有关系。

3. 发明授权

KR101161296B1 프로세스 모듈, 기판 처리 장치 및, 기판 반송 방법 失效
标题翻译：过程模块，基板处理设备和基板传输方法
公开(公告)号：KR101161296B1
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：KR1020100085263
申请日：2010-09-01
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 이이즈카요지
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67742 , H01L21/6719 , H01L21/67748 , H01L21/67754
摘要： (과제) 신속한 기판 반송을 가능하게 하고, 스루풋의 향상에 이바지하는 프로세스 모듈, 이것을 포함하는 기판 처리 장치 및, 이들에 있어서의 기판 반송 방법을 제공한다.
(해결 수단) 본 발명의 일 실시 형태에 따른 프로세스 모듈(15)은, 기판(W)이 올려놓여지고, 올려놓여진 당해 기판(W)에 대하여 기판 처리가 행해지는 재치부(15S)와, 외부의 기판 반송 장치(16)에 대하여 기판 주고받기가 행해지는 제1 위치와 상기 재치부(15S)의 위쪽의 제2 위치에 각각 독립적으로 위치할 수 있고, 각각 기판을 보지 가능한 복수의 기판 보지구(15U, 15M, 15D)를 포함하는 기판 반송 기구(150)를 구비한다.

4. 发明授权

KR101246775B1 반송 장치 및 이 반송 장치를 구비한 피처리체 처리 장치 失效
标题翻译：传输设备和目标对象处理设备，包括它们
公开(公告)号：KR101246775B1
公开(公告)日：2013-03-26
申请号：KR1020100129426
申请日：2010-12-16
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 사카우에히로미츠 , 오자와마사히토 , 이이즈카요지
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07
CPC分类号： H01L21/67742
摘要： 본 발명은 처리 장치에 있어서의 처리 시간을 단축해도 생산성이 한계점에 달하는 사정을 억제하는 것이 가능하고 또한 구조도 간이한 반송 장치를 제공한다. 수직방향으로 설치되고 회전 가능한 제 1 샤프트부(35a)와, 제 1 샤프트부(35a)에 부착되고 선단에 피처리체(W)를 유지하는 제 1 픽(40a)을 구비한 수평방향으로 신축 가능한 제 1 아암(39a)을 구비한 제 1 반송 기구(33a)와, 수직방향으로 설치되고 회전 가능한 제 2 샤프트부(35b)와, 제 2 샤프트부(35b)에 부착되고 선단에 피처리체(W)를 유지하는 제 2 픽(40b)을 구비한 수평방향으로 신축 가능한 제 2 아암(39b)을 구비한 제 2 반송 기구(33b)를 구비하고, 제 1 반송 기구(33a) 및 제 2 반송 기구(33b)를, 제 1 샤프트부(35a)의 회전 중심(42a)과 제 2 샤프트부(35b)의 회전 중심(42b)이 일치되도록 하고, 수직방향으로 서로 이간되어 배치된다.

5. 发明公开

KR1019980024442A 피처리체의 반송을 위한 중계장치 失效
公开(公告)号：KR1019980024442A
公开(公告)日：1998-07-06
申请号：KR1019970046304
申请日：1997-09-09
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 아사카와데루오 , 이이즈카요지
IPC分类号： H01L21/68
摘要： 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
피처리체를 반송아암과 카세트 사이에서 받아 넘기기 위한 중계장치에 관한 것이다.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
피처리체의 벗어남이나 낙하를 방지하고, 피처리체의 피처리면에 불순물을 부착시키는 일 없이, 피처리체를 반송아암과 카세트와의 사이에서 받아 넘길 수 있는 중계장치를 제공한다.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명의 중계장치는, 피처리체를 처리실에 대하여 반출입하기 위한 반송기구와, 피처리체를 수용하기 위한 카세트와의 사이에서 피처리체를 받아 넘기는 중계장치로서, 복수의 피처리체를 개별로 아래쪽으로부터 유지하는 유지부를 가지고, 피처리체가 반송기구에 받아 넘겨지는 받아 넘김위치와 카세트와의 사이에서 복수의 피처리체를 유지부에 의하여 유지하면서 반송하는 반송부와; 받아 넘김위치에 배치되고, 받아 넘김위치에서 유지부에 유지된 모든 피처리체의 둘레 가장자리부를 유지하여 유지부에 대한 피처리체의 수평방향의 벗어남을 방지하는 스톱퍼를 구비하고 있다.
4. 발명의 중요한 용도
반도체 제조공정에 이용한다.

6. 发明公开

KR1020110068939A 반송 장치 및 이 반송 장치를 구비한 피처리체 처리 장치 失效
标题翻译：传输设备和目标对象处理设备，包括它们
公开(公告)号：KR1020110068939A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：KR1020100129426
申请日：2010-12-16
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 사카우에히로미츠 , 오자와마사히토 , 이이즈카요지
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07
CPC分类号： H01L21/67742 , B25J9/042 , B25J9/106 , B25J11/0095 , H01L21/68707
摘要： PURPOSE: A transferring device and an object processing device including the same are provided to improve yield by preventing the collision between wafers through a collision preventing member on both sides of a pick. CONSTITUTION: A bottom transfer tool(33a) is arranged in the center of a bottom plate unit(31a) of a transfer chamber(31). A driving unit(34a) is installed outside the bottom plate unit to drive the bottom transfer tool. A seal unit(36a) is formed between a shaft unit(35a) and the bottom plate unit. An exhaust device(38) decompresses the inner pressure of the transfer chamber to the same pressure as the inner pressure of a transfer chamber. A top transfer tool(33b) is arranged in the center of a top plate unit(31b) of the transfer chamber.
摘要翻译：目的：提供一种转印装置和包括该转印装置的物体处理装置，以通过防止晶片两侧的防撞构件之间的碰撞来提高产量。构成：在传送室（31）的底板单元（31a）的中心布置有底部传送工具（33a）。驱动单元（34a）安装在底板单元的外部以驱动底部转移工具。密封单元（36a）形成在轴单元（35a）和底板单元之间。排气装置（38）将传送室的内部压力与传送室的内部压力相同的压力。顶部传送工具（33b）布置在传送室的顶板单元（31b）的中心。

7. 发明公开

KR1020110033777A 프로세스 모듈, 기판 처리 장치 및, 기판 반송 방법 失效
标题翻译：过程模块，基板处理设备和基板传输方法
公开(公告)号：KR1020110033777A
公开(公告)日：2011-03-31
申请号：KR1020100085263
申请日：2010-09-01
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 이이즈카요지
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67742 , H01L21/6719 , H01L21/67748 , H01L21/67754 , B25J11/0095 , B25J15/0052 , Y10S414/137
摘要： PURPOSE: A process module, a substrate processing apparatus and a substrate transfer method are provided to improve throughput by arranging a plurality of process chambers to be adjacent to one transfer chamber. CONSTITUTION: In a process module, a substrate processing apparatus and a substrate transfer method, a substrate transfer apparatus is arranged in a buffer chamber. The substrate transfer apparatus includes substrate supports(15U,15M,15D) and a rotation shaft. The rotation shaft independently rotates the substrate supports. A susceptor in which a wafer is loaded is arranged in a process chamber. A gate valve(GV2) is arranged between a buffer chamber and a process chamber.
摘要翻译：目的：提供一种处理模块，基板处理装置和基板转印方法，以通过将多个处理室布置成与一个传送室相邻来提高产量。构成：在处理模块中，衬底处理装置和衬底转移方法，衬底转移装置布置在缓冲室中。基板传送装置包括基板支撑件（15U，15M，15D）和旋转轴。旋转轴独立地旋转衬底支撑件。其中装载晶片的感受体布置在处理室中。闸阀（GV2）布置在缓冲室和处理室之间。

8. 发明授权

KR100338535B1 피처리체의 반송을 위한 중계장치 失效
标题翻译：一种用于传送待处理物体的中继装置
公开(公告)号：KR100338535B1
公开(公告)日：2002-10-25
申请号：KR1019970046304
申请日：1997-09-09
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 아사카와데루오 , 이이즈카요지
IPC分类号： H01L21/68
摘要： 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
피처리체를 반송아암과 카세트 사이에서 받아 넘기기 위한 중계장치에 관한 것이다.
2. 발명의 해결하려고 하는 기술적 과제
피처리체의 벗어남이나 낙하를 방지하고, 피처리체의 피처리면에 불순물을 부착시키는 일 없이, 피처리체를 반송아암과 카세트와의 사이에서 받아 넘길 수 있는 중계장치를 제공한다.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명의 중계장치는, 피처리체를 처리실에 대하여 반출입하기 위한 반송기구와, 피처리체를 수용하기 위한 카세트와의 사이에서 피처리체를 받아 넘기는 중계장치로서, 복수의 피처리체를 개별로 아래쪽으로부터 유지하는 유지부를 가지고, 피처리체가 반송기구에 받아 넘겨지는 받아 넘김위치와 카세트와의 사이에서 복수의 피처리체를 유지부에 의하여 유지하면서 반송하는 반송부와; 받아 넘김위치에 배치되고, 받아 넘김위치에서 유지부에 유지된 모든 피처리체의 둘레 가장자리부를 유지하여 유지부에 대한 피처리체의 수평방향의 벗어남을 방지하는 스톱퍼를 구비하고 있다.
4. 발명의 중요한 용도
반도체 제조공정에 이용한다.

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