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1. 发明授权

KR101500963B1 이온빔 조사 장치 有权
标题翻译：离子束辐射装置
公开(公告)号：KR101500963B1
公开(公告)日：2015-03-10
申请号：KR1020130126644
申请日：2013-10-23
申请人： 닛신 이온기기 가부시기가이샤
发明人： 히사다신야 , 타나카코헤이 , 타무라시게히사 , 나카야마코토
IPC分类号： H01J37/317
CPC分类号： C23C14/48 , C23C14/50 , H01J37/20 , H01J37/3171 , H01J2237/022 , H01J2237/1825 , H01J2237/20228 , H01J2237/31705
摘要： 웨이퍼 처리실에서 파티클이 발생하는 것을 방지할 뿐만 아니라 웨이퍼 처리실에 파티클이 확산되는 것을 방지하고, 웨이퍼 처리실 내의 웨이퍼에 파티클이 부착되는 것을 방지한다.
웨이퍼(W)를 지지하는 웨이퍼 지지기구(2)를 수용하고, 웨이퍼 지지기구(2)에 지지된 웨이퍼(W)에 이온빔을 조사하기 위한 웨이퍼 처리실(20)과, 웨이퍼 처리실(20)의 아래쪽에 마련되어 웨이퍼 지지기구(2)를 대략 수평방향으로 이동시키기 위한 반송기구(3)를 수용하는 반송기구 수용실(30)을 구비하고, 웨이퍼 처리실(20)과 반송기구 수용실(30) 사이를 구분하는 칸막이벽(4)에 웨이퍼 지지기구(2) 및 반송기구(3)를 연결하는 연결 부재(5)를 웨이퍼 지지기구(2)와 함께 이동시키기 위한 개구(4a)가 반송기구(3)의 이동방향을 따라 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

2. 发明公开

KR1020140105359A 이온빔 조사 장치 有权
标题翻译：离子束辐射装置
公开(公告)号：KR1020140105359A
公开(公告)日：2014-09-01
申请号：KR1020130126644
申请日：2013-10-23
申请人： 닛신 이온기기 가부시기가이샤
发明人： 히사다신야 , 타나카코헤이 , 타무라시게히사 , 나카야마코토
IPC分类号： H01J37/317
CPC分类号： C23C14/48 , C23C14/50 , H01J37/20 , H01J37/3171 , H01J2237/022 , H01J2237/1825 , H01J2237/20228 , H01J2237/31705
摘要： The present invention prevents the generation of particles in a wafer processing chamber, prevents the dispersion of particles in the wafer processing chamber and prevents the adhesion of the particles to a wafer in the wafer processing chamber. An apparatus provided with a wafer processing chamber (20) which houses a wafer supporting mechanism (2) supporting a wafer (W) and is used to irradiate the wafer (W) supported by the wafer supporting mechanism (2) with an ion beam and a transport mechanism housing chamber (30) which houses a transport mechanism (3) provided underneath the wafer processing chamber (20) and used for moving the wafer supporting mechanism (2) in a substantially horizontal direction, wherein an aperture (4a) used for moving the wafer supporting mechanism (2) along with a coupling member (5) coupling the wafer supporting mechanism to the transport mechanism (3) is formed in the direction of movement of the transport mechanism (3) in a partition wall (4) separating the wafer processing chamber (20) from the transport mechanism housing chamber (30).
摘要翻译：本发明防止在晶片处理室中产生颗粒，防止颗粒在晶片处理室中的分散，并防止颗粒粘附在晶片处理室中的晶片上。一种设置有晶片处理室（20）的装置，其容纳支撑晶片（W）的晶片支撑机构（2），并且用于利用离子束照射由晶片支撑机构（2）支撑的晶片（W）一个传送机构容纳室（30），其容纳设置在晶片处理室（20）下面并用于沿大致水平方向移动晶片支撑机构（2）的输送机构（3），其中，用于将晶片支撑机构（2）与将晶片支撑机构联接到输送机构（3）的联接构件（5）沿着分隔壁（4）的输送机构（3）的移动方向形成，所述晶片处理室（20）从所述输送机构收容室（30）流出。

3. 发明授权

KR101341827B1 필라멘트 교환기 및 필라멘트 교환 구조 有权
标题翻译： FILAMENT EXCHANGE JIG AND FILAMENT EXCHANGE STRUCTURE
公开(公告)号：KR101341827B1
公开(公告)日：2013-12-17
申请号：KR1020130008031
申请日：2013-01-24
申请人： 닛신 이온기기 가부시기가이샤
发明人： 타키가미요시히로 , 나카야마코토 , 타무라시게히사
IPC分类号： H01J27/02 , H01J37/08
摘要： 본발명은필라멘트교환을위해쓸데없는스페이스를상시점유하는일이없고, 교환시에보조진공용기의착탈횟수를줄일수 있는필라멘트교환기를제공한다. 보조진공용기(1)와, 상기보조진공용기(1)를관통하여그 선단부가보조진공용기(1) 내에서상기필라멘트지지구조(62)에장착되고, 상기보조진공용기(1) 내부가진공배기된상태에서상기진공실(C) 내에서상기보조진공용기(1) 내에필라멘트(61)를뽑아내기위한조작로드(21)를구비하고, 상기보조진공용기(1)가, 상기진공실(C)의외부에접촉시켜서착탈가능하게장착되고, 상기조작로드(21)에의해뽑히는상기필라멘트(61)가통과하는장착구(11a) 및상기필라멘트(61) 교환시에상기필라멘트(61)가통과하는필라멘트추출구(11b)가형성된용기본체(11)와, 상기필라멘트추출구(11b)를개폐할수 있는뚜껑체(12)를구비하였다.

4. 发明公开

KR1020130130619A 필라멘트 교환기 및 필라멘트 교환 구조 有权
标题翻译： FILAMENT EXCHANGE JIG AND FILAMENT EXCHANGE STRUCTURE
公开(公告)号：KR1020130130619A
公开(公告)日：2013-12-02
申请号：KR1020130008031
申请日：2013-01-24
申请人： 닛신 이온기기 가부시기가이샤
发明人： 타키가미요시히로 , 나카야마코토 , 타무라시게히사
IPC分类号： H01J27/02 , H01J37/08
摘要： The present invention provides a filament exchange jig which does not require a space for the exchange of filaments and reduces the attachment and detachment number of an assistant vacuum container when exchanging the filaments. The filament exchange jig comprises: the assistant vacuum container (1); and a manipulation rod (21) for penetrating the assistant vacuum container, having the front end installed at a filament support structure (62) within the assistant vacuum container, and extracting filaments (61) from the assistant vacuum container within a vacuum chamber while the assistant vacuum container is evacuated. The assistant vacuum container includes: a container body (11) installed to be attached to or detached from the vacuum chamber and forming an installation hole (11a) through which the filaments extracted by the manipulation rod pass and a filament extraction hole (11b) through which the filaments pass when exchanging the filaments; and a lid body (12) for opening and closing opening or closing the filament extraction hole.
摘要翻译：本发明提供了一种长丝交换夹具，其不需要用于更换长丝的空间，并且在更换长丝时减少辅助真空容器的附着和分离次数。灯丝交换夹具包括：辅助真空容器（1）; 以及用于穿透辅助真空容器的操纵杆（21），其具有安装在辅助真空容器内的灯丝支撑结构（62）的前端，并且在真空室内从辅助真空容器中提取细丝（61），同时辅助真空容器被抽真空。辅助真空容器包括：容器主体（11），其安装在真空室上或从真空室中分离，并形成一个安装孔（11a），通过操作杆抽出的细丝通过该安装孔和一个细丝抽取孔（11b）穿过长丝在交换细丝时通过; 以及用于打开和关闭灯丝抽出孔的盖体（12）。

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