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    • 1. 发明授权
    • 반도체 이온주입설비의 소스부싱 보호장치
    • 用于保护半导体离子植入设备中的源极布置的装置
    • KR101633829B1
    • 2016-06-28
    • KR1020140148431
    • 2014-10-29
    • 김종훈주식회사 현택이현수
    • 이현수김종훈
    • H01J37/317
    • 본개시(Disclosure)는반도체이온주입설비에사용되는소스부싱(Source Bushing)의보호장치에관한것으로, 본개시의일 태양에따른반도체이온주입설비의소스부싱보호장치는, 고전압이인가되며이온을발생시키는소스헤드; 상기소스헤드의제1 측이고정되는소스플랜지; 상기소스헤드와분리되어배치되며, 그라운드전위를가지는소스라이너; 상기소스라이너가고정되며, 상기소스플랜지와분리되어배치되는소스챔버; 상기소스챔버와상기소스플랜지에양측이고정되고, 절연체로구비되는소스부싱; 상기소스헤드의상기제1 측의반대측으로서상기소스라이너에인접한제2 측에구비되는일렉트로헤드; 및상기소스라이너에일 측이고정되고, 타측은상기소스플랜지와분리되어구비되며, 상기일렉트로헤드와인접한위치에서발생되는설정된오염원이상기소스부싱에이르는경로를연장시키는경로연장부재;를포함한다.
    • 2. 发明公开
    • 반도체 이온주입설비의 소스부싱 보호장치
    • 用于保护半导体离子植入设备中的源极布置的装置
    • KR1020160052939A
    • 2016-05-13
    • KR1020140148431
    • 2014-10-29
    • 김종훈주식회사 현택이현수
    • 이현수김종훈
    • H01J37/317
    • H01J37/317H01J37/3171H01J37/3172
    • 본개시(Disclosure)는반도체이온주입설비에사용되는소스부싱(Source Bushing)의보호장치에관한것으로, 본개시의일 태양에따른반도체이온주입설비의소스부싱보호장치는, 고전압이인가되며이온을발생시키는소스헤드; 상기소스헤드의제1 측이고정되는소스플랜지; 상기소스헤드와분리되어배치되며, 그라운드전위를가지는소스라이너; 상기소스라이너가고정되며, 상기소스플랜지와분리되어배치되는소스챔버; 상기소스챔버와상기소스플랜지에양측이고정되고, 절연체로구비되는소스부싱; 상기소스헤드의상기제1 측의반대측으로서상기소스라이너에인접한제2 측에구비되는일렉트로헤드; 및상기소스라이너에일 측이고정되고, 타측은상기소스플랜지와분리되어구비되며, 상기일렉트로헤드와인접한위치에서발생되는설정된오염원이상기소스부싱에이르는경로를연장시키는경로연장부재;를포함한다.
    • 本发明涉及用于保护用于半导体离子注入设备的源套管的设备。 根据本发明实施例的用于保护半导体离子注入设备的源套管的设备包括:源头,用于接收高电压以产生离子; 源头法兰,其源头的第一侧被固定; 源极衬底,与源极头分离并具有接地电位; 源室,其中源衬垫被固定并与源凸缘分离; 源套管,其两侧固定在源室和源极法兰上,由绝缘材料制成; 电子头,其是源头的第一侧的相对侧,并且形成在邻近源衬垫的第二侧中; 以及一个路径延伸构件,其一侧固定到源衬垫,另一侧与源凸缘分离,以延伸在靠近电头的位置处产生的污染物到达源衬套的路径。
    • 3. 实用新型
    • 반도체고전압이온주입설비의 일렉트로드헤드구조
    • 电极头结构
    • KR2020140003872U
    • 2014-06-24
    • KR2020120011815
    • 2012-12-14
    • 주식회사 현택
    • 이현수
    • H01J37/317H01J37/10
    • 본 고안은 반도체고전압이온주입설비에 사용되는 일렉트로드헤드(Electrode Head)의 구조에 관한 것으로 더욱 상세하게는 일렉트로드헤드에 사용되는 절연체의 구조 및 절연체커버의 구조 변경하여 사용시간을 연장시킴으로서 유지비용을 절감시키고 생산성을 향상 시킬 수 있도록 한 일렉트로드헤드 구조에 관한 것으로
      종래의 기술적과제를 해결하기 위해서는 절연체가 오염원에 직접적으로 노출이 되지않도록 하면서 절연이 유지되도록 절연체커버를 사용해 절연체를 오염원으로부터 차단시키거나 절연체 및 절연체커버의 표면적을 증가시켜 절연체가 오염되는 시간을 연장시키는 것이 바람직하다. 따라서 이를 해결하기 위해 종래에 사용되던 음극의 고전압이 인가되는 앞쪽써프레션플레이트(도1 201)를 고정시키기 위해 그라운드플레이트(도1 202)와 연결시켜주던 짧은절연체(도2 204) 및 절연체커버(도2 205,206)의 구조를 본 고안은 앞쪽써프레션플레이트(도3 101)와 뒤쪽써프레션플레이트(도3 108)를 플레이트연결봉(도3 107)으로 연결하여 고정시키고 앞쪽써프레션플레이트(도3 101)와 동일한 음극의 고전압이 인가되는 뒤쪽써프레션플레이트(도3 108)를 그라운드플레이트(도3 102)에 절연체(도3 104) 및 절연체커버(도3 105,106)를 사용해 연결하면 종래에 사용되던 절연체보다 길이가 길어져 표면적이 약8배 늘어나고 절연체를 감싸주던 절연체커버 또한 길어져 절연체를 효과적으로 오염원으로부터 차단할 수 있다. 따라서, 종래에 상기문제 발생으로 인한 일렉트로드헤드의 교체주기를 50%이상 증가시키게 되어 이온빔을 생성시켜주는 소스헤드의 사용시간 보다 일렉트로드헤드의 사용시간이 길어지는 효과가 있어 소스헤드 교체주기 내에서 상기 문제로인한 일렉트로드헤드의 교체 작업이 발생하지 않아 소스헤드 교체주기에 맞춰 일렉트로드헤드를 교체함으로써 전체적으로 교체작업 횟수가 감소하여 유지비용 절감효과를 기대할 수 있으며 동시에 설비의 가동시간이 증가함에 따라 생산성 향상에도 크게 기여할 수 있다.
    • 8. 发明授权
    • 디스플레이 화면분할 영상 오버랩 제어 장치
    • KR101881370B1
    • 2018-07-24
    • KR1020170068168
    • 2017-06-01
    • 퍼시픽솔루션 주식회사이현수
    • 이현수
    • H04N5/445H04N21/4363
    • H04N5/44591H04N21/43632
    • 본발명은디스플레이화면분할영상오버랩제어장치및 그방법에관한것으로, 복수의디지털영상기기와영상케이블로각각연결되며, 각디지털영상기기로부터출력된디지털영상신호를검출하는복수의디지털영상신호검출모듈과, 복수의디지털영상기기와 USB 케이블로각각연결되며, 각디지털영상기기로부터출력된제어대상디지털영상기기제어를위한기기제어영상신호를검출하는복수의기기제어영상신호검출모듈과, 복수의기기제어영상신호검출모듈들중 어느하나의기기제어영상신호검출모듈을선택적으로스위칭하는선택모듈과, 각디지털영상신호검출모듈로부터검출된디지털영상신호를제공받아이를화면분할및 스케일링신호처리하는디지털영상신호처리모듈과, 상기디지털영상신호처리모듈로부터화면분할및 스케일링신호처리된영상신호들을출력하는디지털영상신호출력모듈과, 상기디지털영상신호출력모듈로부터출력된영상신호들을사용자가볼 수있도록하나의디스플레이화면에표시하는표시모듈과, 사용자의조작에의한사용자입력신호를출력하는사용자입력모듈과, 상기사용자입력모듈로부터출력된사용자입력신호의좌표값을실시간으로검출하는사용자입력신호검출모듈과, 상기디지털영상신호검출모듈로부터검출된디지털영상신호들을기 설정된화면분할영상정보에따라해당디지털영상신호들이정해진크기로화면분할및 스케일링신호처리되도록상기디지털영상신호처리모듈의동작을제어하고, 상기디지털영상신호처리모듈로부터화면분할및 스케일링신호처리된영상신호들을상기디지털영상신호출력모듈을통하여상기표시모듈의디스플레이화면에정해진위치및 크기로출력시켜상기표시모듈이각 영상신호를하나의디스플레이화면에분할하여표시되도록제어하는제어모듈을포함하되, 상기제어모듈은, 상기사용자입력신호검출모듈로부터검출된사용자입력신호의좌표값을실시간으로제공받아이를분석하여현재사용자입력신호의좌표값에대응되는제어대상디지털영상기기의기기제어영상신호검출모듈이선택되도록상기선택모듈의동작을제어하고, 상기선택모듈을통해선택된기기제어영상신호검출모듈로부터검출된기기제어영상신호를제공받아이를기반으로상기표시모듈의디스플레이화면에현재화면분할처리된전체영상의형태를그대로유지한상태에서해당제어대상디지털영상기기에대응되는화면분할영상에해당제어대상디지털영상기기제어수행을위한복수개의제어메뉴항목들이구비된기기제어영상화면이오버랩(overlap)되도록제어함으로써, 관제자가특정디지털영상기기를제어하는중에도다른디지털영상기기로부터입력되는영상을보면서관제할수 있어확실하게영상관제를수행할수 있을뿐만아니라영상관제효율성을향상시킬수 있는효과가있다.
    • 9. 发明公开
    • 기능성 매트 및 그 제조방법
    • 功能垫及其制造方法
    • KR1020170112002A
    • 2017-10-12
    • KR1020160038412
    • 2016-03-30
    • 이현수최우진
    • 이현수최우진
    • A47C27/00A47C21/04B05D7/24B05D7/04B05D3/00C04B35/63C04B35/195C09D133/00
    • 본발명은기능성매트및 그제조방법에관한것이다. 그구체적인공정은다음과같다. 0.5~2.0㎜두께를갖는얇은우레탄시트를구비하여권취롤러에감은다음, 문양이나표장을인쇄하는우레탄시트준비및 문양인쇄공정(S10)과, 분말형태의블랙실리카와점성이있는바인더를무게비율 40:60으로혼합하여, 끈적임이있는점액상태의블랙실리카바인더를준비하는점액상의블랙실리카바인더준비공정(S20)과, 점액상의블랙실리카바인더를우레탄시트의표면에 1차도포하고, 자연냉각을거쳐권취롤러에되감는블랙실리카의 1차코팅공정(S30)과, 1차코팅완료된우레탄시트에점액상의블랙실리카바인더를 2차도포하고, 자연냉각을거쳐권취롤러에되감는블랙실리카의 2차코팅공정(S40)과, 귀양석 30~50중량%, 모나자이트 2~8중량%, 제올라이트 2~8중량%, 토르말린 15~25중량% 및흑운모 20~40중량%를분말형태로혼합한후, 분말상의혼합광물과점성의바인더를무게비율 40:60으로혼합하여, 끈적임이있는점액상태의혼합광물바인더를준비하는점액상의혼합광물바인더준비공정(S50)과, 블랙실리카가 1,2차코팅완료된우레탄시트의표면에점액상의혼합광물바인더를 1차도포하고, 자연냉각을거쳐권취롤러에되감는혼합광물의 1차코팅공정(S60)과, 혼합광물이 1차코팅완료된우레탄시트에다시점액상의혼합광물바이더를 2차도포하고, 자연냉각을거쳐권취롤러에되감는혼합광물의 2차코팅공정(S70)과, 혼합광물이 2차코팅완료된우레탄시트에다시점액상의혼합광물바이더를 3차도포하고, 자연냉각을거쳐권취롤러에되감는혼합광물의 3차코팅공정(S80)과, 제8단계까지마무리된우레탄시트하단부의일정부분에금속의전도체를흡착시켜전도성을부여하는전도성부여공정(S90)과, 전도성이부여된우레탄시트의표면으로흠집방지를위해액상의아크릴수지를 1차도포한후 자연건조시키면서권취롤러로되감고, 2차도포한후 자연건조시키면서권취롤러로되감는표면 1,2차코팅공정(S100)과, 마지막으로재단기를이용하여일정크기로자르고, 모서리는라운딩처리하는재단공정(S110)을포함한다.
    • 功能垫及其制造方法技术领域本发明涉及功能垫及其制造方法。 具体过程如下。 0.5〜2.0㎜通过缠绕该卷取辊子,然后将聚氨酯片材制得,和图案打印步骤(S10)和粘合剂的用黑色和打印具有具有一定厚度的薄聚氨酯片图案或标记的二氧化硅粘度的粉末重量比 通过在40混合:60,初级涂层,和自然冷却到黑色二氧化硅粘合剂黑色二氧化硅粘合剂制备步骤的粘液状态(S20)的表面上的粘液中制备,粘液黑色二氧化硅粘合剂的聚氨酯片材上的 (S30),将黑色二氧化硅卷绕在卷取辊上;第二涂布步骤(S30),将卷绕在卷取辊上的黑色二氧化硅卷取; 然后在涂覆过程(S40)和,贵阳座30至50%(重量),独居石按重量计2-8%,按重量计沸石2-8%的溶液中,并以粉末形式电气石15和25%(重量)和黑云母20〜40重量%, 粉末形式的混合矿物质和粘性粘合剂以40:60的重量比混合 据相结合,并在制备该矿物粘结剂混合物制备步骤(S50)将混合矿物粘结剂粘液的粘性粘液状态,黑硅石是对粘液尿烷树脂片的表面上的混合矿物粘合剂的主应用程序被完成的第一和第二涂层, (S60),其通过自然冷却在卷绕辊上旋转矿物混合物;以及第二涂布步骤(S60),其在尿烷片上混合并开采混合矿物, edoe混合矿物的二次包覆步骤(S70)和卷取,再次混合所述卷取辊的混合矿物复卷的矿物辅助3,对粘液混合矿物提供商的涂层来完成的聚氨酯片材施加到第三,通过自然冷却 主涂层过程(S80),并提供给吸附金属的导体对成品聚氨酯片底部赋予导电性的一部分步骤8步骤(S90)的导电性,而氨基甲酸乙酯片的导电的表面被赋予防止划伤 用于液态丙烯酸 波汉干燥后的第一轿厢,同时周围的卷取辊rodoe包裹,使用空气干燥,而卷取滚筒rodoe绕组的第一和第二表面涂层处理(S100),最后,切断机切断成规定的大小后2车道波汉,边缘是倒圆 它包括处理的切割步骤(S110)。
    • 10. 发明授权
    • 화면분할 영상 제어 시스템
    • KR101783359B1
    • 2017-09-29
    • KR1020170068167
    • 2017-06-01
    • 퍼시픽솔루션 주식회사이현수
    • 이현수
    • H04N7/18H04N5/445H04N5/232
    • H04N7/181H04N5/23203H04N5/44591
    • 본발명은화면분할영상제어시스템에관한것으로, 실내또는실외의지정된장소에설치되며, 주변의아날로그영상신호를획득하는복수개의영상획득장치와, 각영상획득장치로부터획득된아날로그영상신호들을제공받아이를디지털영상신호들로변환및 출력하는적어도하나의디지털영상기기와, 상기디지털영상기기로부터출력된디지털영상신호들을제공받아기 설정된화면분할영상정보에따라화면분할및 스케일링처리한영상신호들을하나의디스플레이화면에표시되도록제어함과아울러사용자에의해선택된제어대상디지털영상기기를제어하기위한제어신호를생성하여이를해당제어대상디지털영상기기로출력되도록제어하는디지털영상제어장치를포함하되, 상기디지털영상제어장치는, 상기화면분할및 스케일링처리한영상신호들을하나의디스플레이화면에분할하여표시된상태에서해당제어대상디지털영상기기를제어할경우, 현재화면분할처리된전체영상의형태변화없이해당제어대상디지털영상기기에대응되는화면분할영상을해당제어대상디지털영상기기의제어를위한기기제어영상화면으로변화시켜표시되도록제어함으로써, 관제자가특정디지털영상기기를제어하는중에도다른디지털영상기기로부터입력되는영상을보면서관제할수 있어확실하게영상관제를수행할수 있을뿐만아니라영상관제효율성을향상시킬수 있는효과가있다.