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1. 发明授权

KR101230951B1 표면확산유도 원자층 증착법 有权
标题翻译：表面扩散诱导的原子层沉积
公开(公告)号：KR101230951B1
公开(公告)日：2013-02-07
申请号：KR1020100120139
申请日：2010-11-30
申请人： 건국대학교 산학협력단 , 에쓰대시오일 주식회사
发明人： 민요셉 , 안영수 , 송찬주 , 백상철 , 이상구
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/16 , H01L21/205
摘要： 본 발명은 표면확산유도를 이용하여 다공성 담체에 원자층을 증착하는 방법에 관한 것으로서, 종횡비가 높은 다공성 담체에 소량의 전구체를 이용하여 단시간내에 담체의 매우 깊은 기공 내부까지 균일하게 원자층을 형성할 수 있으며, 사이클당 증착속도가 자기 제한적 성장에 의해서 불연속적인 값을 가지게 되는 현상을 근본적으로 해결할 수 있다.

2. 发明授权

KR101321100B1 촉매활성금속의 농도가 역전된 촉매 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：催化剂反相浓度梯度催化剂及其制备方法
公开(公告)号：KR101321100B1
公开(公告)日：2013-10-22
申请号：KR1020110080028
申请日：2011-08-11
申请人： 에쓰대시오일 주식회사 , 건국대학교 산학협력단
发明人： 민요셉 , 안영수 , 송찬주 , 백상철 , 이상구
IPC分类号： B01J37/02 , B01J23/755 , B01J29/072 , B01J35/10
摘要： 본 발명은 촉매활성금속의 농도가 다공성 담체의 중심부에서 높고 담체의 외부 표면 부위에서 낮은 촉매 및 이의 제조 방법에 관한 것으로서, 담체의 표면 OH작용기를 표면알킬작용기로 치환한 후 활성금속의 원자층을 형성하여 촉매활성금속의 농도가 중심부에서 높아지는 구조의 촉매를 제조할 수 있다.

3. 发明公开

KR1020120058723A 표면확산유도 원자층 증착법 有权
标题翻译：表面扩散诱导的原子层沉积
公开(公告)号：KR1020120058723A
公开(公告)日：2012-06-08
申请号：KR1020100120139
申请日：2010-11-30
申请人： 건국대학교 산학협력단 , 에쓰대시오일 주식회사
发明人： 민요셉 , 안영수 , 송찬주 , 백상철 , 이상구
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/16 , H01L21/205
摘要： PURPOSE: A surface diffusion-induced atomic layer deposition method is provided to form a uniform atomic layer in deep pores of a carrier within a short time. CONSTITUTION: A surface diffusion-induced atomic layer deposition method comprises the steps of: providing a precursor to be chemically adsorbed on a porous carrier, supplying induction gas for surface diffusion of the precursor on the porous carrier, supplying inactivated gas for purging and discharging unadsorbed precursor, reaction byproducts, or induction gas, forming an atomic layer through reaction between the precursor and the reaction gas, and resupplying inactivated gas for purging.
摘要翻译：目的：提供表面扩散诱导的原子层沉积方法，以在短时间内在载体的深孔中形成均匀的原子层。构成：表面扩散诱导的原子层沉积方法包括以下步骤：提供化学吸附在多孔载体上的前体，提供用于前体在多孔载体上的表面扩散的诱导气体，提供未被吸附的净化和排出的灭活气体前体，反应副产物或诱导气体，通过前体和反应气体之间的反应形成原子层，以及补充用于净化的灭活气体。

4. 发明公开

KR1020130017536A 촉매활성금속의 농도가 역전된 촉매 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：催化元件反相浓度梯度的催化剂及其制备方法
公开(公告)号：KR1020130017536A
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：KR1020110080028
申请日：2011-08-11
申请人： 에쓰대시오일 주식회사 , 건국대학교 산학협력단
发明人： 민요셉 , 안영수 , 송찬주 , 백상철 , 이상구
IPC分类号： B01J37/02 , B01J23/755 , B01J29/072 , B01J35/10
CPC分类号： B01J37/0215 , B01J23/28 , B01J23/74 , B01J35/1052
摘要： PURPOSE: A catalyst with an inverse concentration gradient of a catalytic metal element and a making method thereof are provided to make a catalyst capable of having high concentration of a catalytic active metal in the center portion of a carrier and low concentration in the outer surface portion. CONSTITUTION: A making method of catalyst with an inverse concentration gradient of a catalytic metal element comprises a step of exchanging OH functional groups existing on the outer surface of a porous carrier with alkyl groups which are low reactive to precursors of an active metal; a step of supplying precursors of an active metal to the porous carrier having alkyl groups on the surface for chemisorptions; a step of purging unadsorbed precursors or by-products with inert gas; a step of exhausting the inert gas and then supplying reactive gas for an atomic layer deposition of the adsorbed precursors and the reactive gas; and a step of additional purging with inert gas. In the carrier obtained though above steps including ALD(Atomic Layer Deposition) process, the concentration of active metal is high in the center portion of the carrier, and low in the outer surface portion.
摘要翻译：目的：提供具有催化金属元素的反相浓度梯度的催化剂及其制造方法，以制备能够在载体的中心部分具有高浓度的催化活性金属的催化剂，并且在外表面部分中具有低浓度。构成：具有催化金属元素的反相浓度梯度的催化剂的制备方法包括将存在于多孔载体的外表面上的OH官能团与对活性金属的前体具有低反应性的烷基进行交换的步骤; 向表面上具有烷基的多孔载体供给活性金属的前体以进行化学吸附的步骤; 用惰性气体清洗未吸附的前体或副产物的步骤; 排出惰性气体，然后提供反应性气体用于原子层沉积吸附的前体和反应气体的步骤; 以及用惰性气体额外吹扫的步骤。在通过上述包括ALD（原子层沉积）工艺的步骤获得的载体中，活性金属的浓度在载体的中心部分高，外表面部分低。

5. 发明授权

KR101027754B1 원자층 증착장치 및 이를 이용한 원자층 증착방법 有权
标题翻译：原子层沉积设备及其原子层沉积方法
公开(公告)号：KR101027754B1
公开(公告)日：2011-04-08
申请号：KR1020090059447
申请日：2009-06-30
申请人： 건국대학교 산학협력단 , 에쓰대시오일 주식회사
发明人： 민요셉 , 안영수 , 송찬주 , 박기수 , 이상구
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/32
摘要： 본 발명은 원자층 증착장치 및 이를 이용한 원자층 증착방법에 관한 것으로서, 전구체 공급부와 전구체 배출부가 구비된 복수개의 반응기를 포함하고, 상기 복수개의 반응기 중 적어도 하나의 반응기에 구비된 전구체 배출부가 다른 반응기의 전구체 공급부에 연결된 것을 특징으로 한다. 본 발명의 원자층 증착장치를 이용하면 연결된 복수개의 반응기 중 적어도 하나의 반응기에서 반응에 참여하지 못하고 배출된 미반응 전구체가 다른 반응기에서 재사용될 수 있으므로 원자층 증착에 사용되는 전구체의 양을 감소시킬 수 있고, 그 결과로 원자층 증착의 공정비용을 감소시킬 수 있다.

6. 发明公开

KR1020110001762A 원자층 증착장치 및 이를 이용한 원자층 증착방법 有权
标题翻译：原子层沉积设备及其原子层沉积法
公开(公告)号：KR1020110001762A
公开(公告)日：2011-01-06
申请号：KR1020090059447
申请日：2009-06-30
申请人： 건국대학교 산학협력단 , 에쓰대시오일 주식회사
发明人： 민요셉 , 안영수 , 송찬주 , 박기수 , 이상구
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/32
CPC分类号： C23C16/45525 , C23C16/4412 , H01L21/02203 , H01L21/0228
摘要： PURPOSE: An atomic layer deposition apparatus and an atomic layer deposition method using the same are provided to reduce the process cost of the atomic layer deposition by reducing the number of precursor used for the deposition of the atomic layer. CONSTITUTION: A precursor discharging unit(102) and a precursor supplying unit(104) are connected serially. The precursor discharging unit and the precursor supplying unit are connected in parallel. A plurality of reactors is equipped with the precursor supplying unit and the precursor discharging unit. The amount of precursors supplied to the reactor is maintained same in the plurality of reactors.
摘要翻译：目的：提供原子层沉积装置和使用其的原子层沉积方法，通过减少用于沉积原子层的前体的数量来降低原子层沉积的工艺成本。构成：串行连接前体排出单元（102）和前体供应单元（104）。前体排出单元和前体供应单元并联连接。多个反应器配备有前体供给单元和前体排出单元。供给到反应器的前体的量在多个反应器中保持相同。

7. 发明授权

KR101573780B1 다성분계 금속 산화물을 포함하는 전극물질이 전착된 슈퍼커패시터용 전극 및 이의 제조방법 有权
标题翻译：含超多电容器多元素金属氧化物沉积电极的电极材料及其制备方法
公开(公告)号：KR101573780B1
公开(公告)日：2015-12-11
申请号：KR1020130154754
申请日：2013-12-12
申请人： 에쓰대시오일 주식회사 , 아주대학교산학협력단
发明人： 송찬주 , 강흥중 , 권범진 , 김창구 , 이혜민
IPC分类号： H01G11/22
CPC分类号： Y02E60/13
摘要： 본발명은다성분계금속산화물을포함하는전극물질이전착된커패시터용전극및 이의제조방법에관한것이다. 본발명의여러구현예에따르면, 다성분계금속산화물을전극물질로사용함으로서종래고가의단일성분으로구성된금속산화물슈퍼커패시터를대체할수 있는전극의개발이가능하고, 종래도전제와바인더를사용하여전극을제조하는방법에서벗어나전극을그대로사용할수 있기때문에공정의단계를개선함과동시에공정비용을감소시키는효과를달성할수 있을뿐만아니라, 본발명의제조방법을이용하여니켈, 코발트, 망간으로이루어진삼성분계금속산화물이외에도슈퍼커패시터후보물질인다른금속산화물을전착시킬수 있으므로리튬이온이차전지의전극개발에도유용하게이용될수 있다.

8. 发明公开

KR1020150100029A 폴리이미드-폴리에틸렌글리콜 공중합체 투과증발막 및 그 제조방법 有权
标题翻译：聚酰胺 - 聚乙烯乙二醇共聚物渗透膜及其制备方法
公开(公告)号：KR1020150100029A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：KR1020140021315
申请日：2014-02-24
申请人： 에쓰대시오일 주식회사 , 경상대학교산학협력단
发明人： 송찬주 , 백상철 , 노용대 , 남상용 , 조민재
IPC分类号： B01D71/64 , B01D61/36 , C08G73/10 , C08L79/08
CPC分类号： B01D71/64 , B01D61/36 , B01D61/364 , C08G73/10 , C08L79/08
摘要： 본 발명은 폴리이미드-폴리에틸렌글리콜 공중합체로부터 투과증발막을 제조하여 벤젠을 함유하는 탄화수소 혼합물에서 벤젠을 선택적으로 분리 및 제거할 수 있는 폴리이미드-폴리에틸렌글리콜 공중합체 투과증발막에 관한 것이다.
본 발명에 따라 제조된 폴리이미드-폴리에틸렌글리콜 공중합체 투과증발막은 벤젠에 대한 투과선택성이 우수하여 벤젠을 함유하는 탄화수소 혼합물에서 벤젠을 선택적으로 분리 및 제거할 수 있어 MLCN 등으로부터 벤젠을 제거하는 분리공정에 적용할 수 있으며, 그 분리공정을 통하여 벤젠이 제거된 MLCN은 가솔린으로 사용할 수 있을 것으로 기대된다.
摘要翻译：本发明涉及一种聚酰亚胺 - 聚乙二醇共聚物渗透蒸发膜，其能够通过从聚酰亚胺 - 聚乙二醇共聚物制造渗透蒸发膜，从含有苯的烃混合物中选择性地分离和除去苯。本发明制造的聚酰亚胺 - 聚乙二醇共聚物渗透蒸发膜对苯的选择性渗透性优异，能够从含苯的烃混合物中选择性地分离除去苯，从而适用于从MLCN中除去苯的分离方法。因此，预期能够通过分离过程将被氯化除去的MLCN用作汽油。

9. 发明公开

KR1020130072577A 바이모달 세공구조의 탈알킬화 촉매를 이용한 알킬치환된 Ｃ９＋ 방향족 화합물의 선택적 저온 탈알킬화 방법 有权
标题翻译：使用二元多孔催化剂进行低级烷基取代的取代的C9 +芳族化合物在低温下的选择性取代方法
公开(公告)号：KR1020130072577A
公开(公告)日：2013-07-02
申请号：KR1020110140067
申请日：2011-12-22
申请人： 에쓰대시오일 주식회사 , 인하대학교 산학협력단
发明人： 백성현 , 김건중 , 노동균 , 장태영 , 김태윤 , 안영수 , 송찬주 , 백상철
IPC分类号： C07C4/18 , B01J23/38 , C07C15/02
CPC分类号： C07C5/2775 , C07C2529/44 , Y02P20/52 , C07C15/02
摘要： PURPOSE: A method for selective dealkylation of an alkyl-substituted C9+ aromatic compound is provided to selectively convert a large amount of C2+ alkyl groups into BTX (benzene, toluene, xylene) within a short time. CONSTITUTION: A method for selective dealkylation of an alkyl-substituted C9+ aromatic compound comprises a step of making a dealkylation catalyst in a feed stream including an aromatic compound contact with at least nine carbon atoms substituted by C2+ alkyl groups. The dealkylation catalyst includes crystalline aluminosilicate with a bimodal structure which includes mesopores with an average particle diameter of 20-100 angstroms, micropores with an average particle diameter of 4-20 angstroms, and metal supported in the crystalline aluminosilicate. [Reference numerals] (AA) Conversion rate of ethyl toluenes (%); (BB) Time on stream (min)
摘要翻译：目的：提供烷基取代的C9 +芳族化合物的选择性脱烷基化方法，以便在短时间内选择性地将大量的C2 +烷基转化成BTX（苯，甲苯，二甲苯）。构成：烷基取代的C 9+芳族化合物的选择性脱烷基化的方法包括在包含芳族化合物的进料流中制备脱烷基化催化剂的步骤，其与至少有九个被C 2 +烷基取代的碳原子接触。脱烷基化催化剂包括具有双峰结构的结晶硅铝酸盐，其包括平均粒径为20-100埃的中孔，平均粒径为4-20埃的微孔以及支持在结晶硅铝酸盐中的金属。（AA）乙基甲苯的转化率（％）; （BB）时间流（min）

10. 发明授权

KR101263918B1 담지촉매 및 이 촉매의 존재하에 진행되는 셀룰로오스의 소르비톨로의 선택적 촉매 전환 방법 有权
标题翻译：负载金属催化剂和在催化剂存在下纤维素选择性催化转化为山梨糖醇的方法
公开(公告)号：KR101263918B1
公开(公告)日：2013-05-13
申请号：KR1020110029039
申请日：2011-03-30
申请人： 에쓰대시오일 주식회사 , 연세대학교 산학협력단
发明人： 이현주 , 한정우 , 안영수 , 송찬주 , 이상구
IPC分类号： B01J27/053 , B01J27/232 , C07C29/09 , C07C31/26
摘要： 담지촉매및 이촉매의존재하에진행되는셀룰로오스의소르비톨로의선택적촉매전환방법이개시된다. 개시된담지촉매는복수의공극을포함하는다공성담체, 상기담체의표면및 공극중 적어도한 곳에위치하는산 작용기와금속을동시에포함한다. 또한, 개시된셀룰로오스의소르비톨로의선택적촉매전환방법은상기담지촉매의존재하에셀룰로오스를물과접촉시켜가수분해시키는단계및 상기가수분해된셀룰로오스를수소와접촉시켜소르비톨을얻는단계를포함한다.

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