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1. 发明公开

KR1020160030367A 필름의 라미네이트 장치 审中-实审
标题翻译：膜片装置
公开(公告)号：KR1020160030367A
公开(公告)日：2016-03-17
申请号：KR1020150125436
申请日：2015-09-04
申请人： 가부시키가이샤 히타치 플랜트메카닉스
发明人： 다카하시가즈오 , 오오사와마코토 , 이시마루지카오
IPC分类号： H05K3/00
摘要： 본발명의과제는, 노광장해로되는적층필름의미세흠집을방지하거나함으로써, 기판의미세패턴형성의라미네이트공정에있어서, 제품의불량을저감시킬수 있는필름의라미네이트장치를제공하는것이다. 기판(4a, 4b, 4c)의반송수단(1, 3)을구비하고, 적층필름(9)의보호필름(16)을박리하여, 기판(4a, 4b, 4c)에부착하는필름의라미네이트장치에있어서, 라미네이트전에기판(4a, 4b, 4c)의길이를측장하고, 투입하는기판(4a, 4b, 4c)의길이에따라서, 필름부착길이를변화시키기위해, 나이프에지부(14)와하프컷위치의사이에, 기판(4a, 4b, 4c)의길이에따라서필름부착길이를변화시키는필름길이조정기구(13)를구비하고, 이필름길이조정기구(13)에의해적층필름(9)을기판부착길이 1매분의위치에서라미네이트전에하프컷하고, 연속된보호필름(16)을, 필름반송수단에의해, 라미네이션롤(20) 근방에설치된나이프에지부(14)까지, 적층필름(9)으로부터보호필름(16)을박리하지않고반송하도록한다.
摘要翻译：本发明提供一种薄膜层压装置，其能够通过在基板上形成微图案的层叠工序中防止由于曝光不良导致的层叠膜上的微细裂缝而降低不良品率。膜层压装置包括用于基板（4a，4b，4c）的承载装置（1,3），从层压膜（9）分离保护膜（16），并将层叠膜附着到基板（4a，4b， 4C）。薄膜层压装置还包括一个薄膜长度调节机构（13），该薄膜长度调节机构（13）根据设置在刀刃单元（14）和半切位置之间的基底（4a，4b，4c）的长度来改变薄膜附着长度为了读取基板（4a，4b，4c）的长度，并根据输入基板（4a，4b，4c）的长度改变膜附着长度。膜层叠装置在层压处理之前，通过膜长度调节机构（13）在膜附着长度的单个段位置进行层压膜（9）的半切割，并将以下保护膜（16）承载于刀片单元（14），其通过膜承载装置安装在层压辊（20）附近，而不将保护膜与层压膜（9）分离。

2. 发明公开

KR1020160104541A 필름의 진공 라미네이트 장치 审中-实审
标题翻译：真空镀膜装置
公开(公告)号：KR1020160104541A
公开(公告)日：2016-09-05
申请号：KR1020150171174
申请日：2015-12-03
申请人： 가부시키가이샤 히타치 플랜트메카닉스
发明人： 다카하시가즈오 , 오오사와마코토 , 야마모토히데키
IPC分类号： B32B37/10 , B29C65/02
摘要： 본발명의과제는예를들어, 진공도 0.5kPa 이하등의고진공중에서라미네이트가능한필름의진공라미네이트장치를제공하는것이다. 투입되는기판(14a)의길이에따라서부착하는적층필름(21)의길이를바꾸기위해서, 라미네이트전에기판(14a)의길이를측정하고, 하프컷위치와라미네이션롤(26) 근방에설치한나이프에지부(24) 사이에, 측정한기판(14a)의길이에따라서적층필름(21)의보유지지길이를바꾸는필름길이조정기구(23)를구비하고, 이필름길이조정기구(23)에의해적층필름(21)의보유지지길이를바꾼보호필름(27)을박리하기전의적층필름(21)을, 부착하는적층필름(21)의길이위치에서하프컷하고, 필름반송수단(20, 29)에의해적층필름(21)을, 보호필름(27)에의해연속된상태에서, 나이프에지부(24)까지반송하도록한다.
摘要翻译：本发明提供能够在真空度为0.5kPa以下的真空状态进行层压的薄膜真空层压装置。在层压之前测量馈送的基板（14a）的长度，以便根据基板（14a）的长度改变附着的层压膜（21）的长度。用于改变层压膜（21）的保持和支撑长度的胶片长度调节工具（23）设置在半切位置和安装在层压辊（26）附近的刀刃单元（24）之间，根据测量衬底（14a）的长度。在剥离具有改变的层压膜（21）的保持和支撑长度的突起膜（27）之前的层压膜（21）在附着的层压膜（21）的长度位置上通过膜长度调节工具（23）。层叠膜（21）在被保护膜（27）继续的同时通过膜返回装置（20,29）返回到刀刃单元（24）。

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