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1. 发明公开

KR1020160030367A 필름의 라미네이트 장치 审中-实审
标题翻译：膜片装置
公开(公告)号：KR1020160030367A
公开(公告)日：2016-03-17
申请号：KR1020150125436
申请日：2015-09-04
申请人： 가부시키가이샤 히타치 플랜트메카닉스
发明人： 다카하시가즈오 , 오오사와마코토 , 이시마루지카오
IPC分类号： H05K3/00
摘要： 본발명의과제는, 노광장해로되는적층필름의미세흠집을방지하거나함으로써, 기판의미세패턴형성의라미네이트공정에있어서, 제품의불량을저감시킬수 있는필름의라미네이트장치를제공하는것이다. 기판(4a, 4b, 4c)의반송수단(1, 3)을구비하고, 적층필름(9)의보호필름(16)을박리하여, 기판(4a, 4b, 4c)에부착하는필름의라미네이트장치에있어서, 라미네이트전에기판(4a, 4b, 4c)의길이를측장하고, 투입하는기판(4a, 4b, 4c)의길이에따라서, 필름부착길이를변화시키기위해, 나이프에지부(14)와하프컷위치의사이에, 기판(4a, 4b, 4c)의길이에따라서필름부착길이를변화시키는필름길이조정기구(13)를구비하고, 이필름길이조정기구(13)에의해적층필름(9)을기판부착길이 1매분의위치에서라미네이트전에하프컷하고, 연속된보호필름(16)을, 필름반송수단에의해, 라미네이션롤(20) 근방에설치된나이프에지부(14)까지, 적층필름(9)으로부터보호필름(16)을박리하지않고반송하도록한다.
摘要翻译：本发明提供一种薄膜层压装置，其能够通过在基板上形成微图案的层叠工序中防止由于曝光不良导致的层叠膜上的微细裂缝而降低不良品率。膜层压装置包括用于基板（4a，4b，4c）的承载装置（1,3），从层压膜（9）分离保护膜（16），并将层叠膜附着到基板（4a，4b， 4C）。薄膜层压装置还包括一个薄膜长度调节机构（13），该薄膜长度调节机构（13）根据设置在刀刃单元（14）和半切位置之间的基底（4a，4b，4c）的长度来改变薄膜附着长度为了读取基板（4a，4b，4c）的长度，并根据输入基板（4a，4b，4c）的长度改变膜附着长度。膜层叠装置在层压处理之前，通过膜长度调节机构（13）在膜附着长度的单个段位置进行层压膜（9）的半切割，并将以下保护膜（16）承载于刀片单元（14），其通过膜承载装置安装在层压辊（20）附近，而不将保护膜与层压膜（9）分离。

2. 发明公开

KR1020160104541A 필름의 진공 라미네이트 장치 审中-实审
标题翻译：真空镀膜装置
公开(公告)号：KR1020160104541A
公开(公告)日：2016-09-05
申请号：KR1020150171174
申请日：2015-12-03
申请人： 가부시키가이샤 히타치 플랜트메카닉스
发明人： 다카하시가즈오 , 오오사와마코토 , 야마모토히데키
IPC分类号： B32B37/10 , B29C65/02
摘要： 본발명의과제는예를들어, 진공도 0.5kPa 이하등의고진공중에서라미네이트가능한필름의진공라미네이트장치를제공하는것이다. 투입되는기판(14a)의길이에따라서부착하는적층필름(21)의길이를바꾸기위해서, 라미네이트전에기판(14a)의길이를측정하고, 하프컷위치와라미네이션롤(26) 근방에설치한나이프에지부(24) 사이에, 측정한기판(14a)의길이에따라서적층필름(21)의보유지지길이를바꾸는필름길이조정기구(23)를구비하고, 이필름길이조정기구(23)에의해적층필름(21)의보유지지길이를바꾼보호필름(27)을박리하기전의적층필름(21)을, 부착하는적층필름(21)의길이위치에서하프컷하고, 필름반송수단(20, 29)에의해적층필름(21)을, 보호필름(27)에의해연속된상태에서, 나이프에지부(24)까지반송하도록한다.
摘要翻译：本发明提供能够在真空度为0.5kPa以下的真空状态进行层压的薄膜真空层压装置。在层压之前测量馈送的基板（14a）的长度，以便根据基板（14a）的长度改变附着的层压膜（21）的长度。用于改变层压膜（21）的保持和支撑长度的胶片长度调节工具（23）设置在半切位置和安装在层压辊（26）附近的刀刃单元（24）之间，根据测量衬底（14a）的长度。在剥离具有改变的层压膜（21）的保持和支撑长度的突起膜（27）之前的层压膜（21）在附着的层压膜（21）的长度位置上通过膜长度调节工具（23）。层叠膜（21）在被保护膜（27）继续的同时通过膜返回装置（20,29）返回到刀刃单元（24）。

3. 发明授权

KR101985550B1 필름 박리 장치 有权
公开(公告)号：KR101985550B1
公开(公告)日：2019-06-03
申请号：KR1020130127798
申请日：2013-10-25
申请人： 가부시키가이샤 히타치 플랜트메카닉스
发明人： 다케스에이사오 , 시노즈카마코토 , 오카모토노리유키
IPC分类号： B29C63/00 , B65H29/56

4. 发明公开

KR1020140056018A 필름 박리 장치 审中-实审
标题翻译：薄膜剥离装置
公开(公告)号：KR1020140056018A
公开(公告)日：2014-05-09
申请号：KR1020130127798
申请日：2013-10-25
申请人： 가부시키가이샤 히타치 플랜트메카닉스
发明人： 다케스에이사오 , 시노즈카마코토 , 오카모토노리유키
IPC分类号： B65H29/54 , B65H41/00 , B65H3/20
CPC分类号： B29C63/0013 , B65H29/56 , B65H2301/51122 , B65H2701/1752
摘要： The present invention relates to a film peeling device which can prevent fractured pieces of a film from being left on a substrate by preventing fracture of the film when the film is peeled off, even for a type of film which is easily broken such as dry-film type solder resist (DFSR). The film peeling device includes a substrate transport unit (1) transporting a substrate (2), and a peeling unit (30) peeling a film (2b) adhered to the substrate which is transported by the substrate transporting unit (1). The peeling unit (30) has unwinding and winding mechanisms (40, 50) for an adhesive sheet, an attaching mechanism (32) attaching the adhesive sheet (60) fed from the unwinding and winding mechanisms (40, 50) of the adhesive sheet onto the entire surface of the film (2b), and a peeling mechanism (32) peeling off the film (2b) adhered to the adhesive sheet (60) from the substrate (2) together with the adhesive sheet (60).
摘要翻译：薄膜剥离装置技术领域本发明涉及一种薄膜剥离装置，其能够通过防止薄膜剥离时的薄膜的断裂而使膜的断裂残留在基板上，即使是易于破碎的薄膜，薄膜型阻焊剂（DFSR）。膜剥离装置包括：输送基板（2）的基板输送单元（1）和剥离单元（30），剥离由基板输送单元（1）输送的基板附着的膜（2b）。剥离单元（30）具有用于粘合片的退绕和卷绕机构（40,40），安装机构（32），其安装从粘合片的退绕和卷绕机构（40,50）供给的粘合片（60）以及与粘合片（60）一起剥离从基板（2）粘附到粘合片（60）上的膜（2b）的剥离机构（32）的膜（2b）的整个表面上。

5. 发明授权

KR101309019B1 하역기계의 면진장치 有权
标题翻译：用于装载/卸载机械的地震隔离装置
公开(公告)号：KR101309019B1
公开(公告)日：2013-09-17
申请号：KR1020070015037
申请日：2007-02-13
申请人： 가부시키가이샤 히타치 플랜트메카닉스
发明人： 마수다,히로토 , 하야쯔,마사끼 , 사쿠마,마사요시 , 나가야마,요시나리
IPC分类号： B65G67/60
摘要： 본 발명은 간단한 구성으로 안정된 제진성능을 발휘할 수 있는 하역기계의 면진장치를 제공한다.
본 발명의 면진장치(50)는 언로더(10)의 주행부(30)의 재치대(52)와 다리부(20)의 베이스부(21) 사이에 설치되고, XY테이블을 구성하는 크로스 리니어 베어링(54), 적층고무(56), 시어핀(58)으로 구성된다. 이 면진장치(50)에 의하면, 지진시의 진동에 의해 시어핀(58)에 일정 하중이 가해져 시어핀(58)이 파단하면 면진장치(50)의 크로스 리니어 베어링(54)의 직동작용에 의해서 언로더 본체(12)가 수평방향으로 이동함과 동시에 적층고무(54)가 언로더 본체(12)의 수평이동을 감쇠시킴으로써 지진동의 에너지를 감쇠시킨다. 그리고 적층고무(56)의 복원력에 의하여 언로더 본체(12)가 원래의 위치로 복귀 이동한다.
하역기계, 면진장치(免震裝置), 양륙(揚陸), 언로더, 굴삭장치.

6. 发明公开

KR1020070090083A 하역기계의 면진장치 有权
标题翻译：用于装载/卸载机械的地震隔离装置
公开(公告)号：KR1020070090083A
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：KR1020070015037
申请日：2007-02-13
申请人： 가부시키가이샤 히타치 플랜트메카닉스
发明人： 마수다,히로토 , 하야쯔,마사끼 , 사쿠마,마사요시 , 나가야마,요시나리
IPC分类号： B65G67/60
摘要： A seismic isolation apparatus for loading/unloading a machine is provided to perform a seismic isolation function by using a shear pin as a trigger unit for the seismic isolation. A seismic isolation apparatus for loading/unloading a machine includes a cross linear bearing(54), a rubber laminate(56), and a shear pin(58). The cross linear bearing includes linear bearings(60,62). The linear bearings are crossed in an X-direction and a Y-direction for moving the cross linear bearing in two orthogonal directions. The X-direction is orthogonal to the moving direction of an unloader. The Y-direction is the same with the moving direction of the unloader. The rubber laminate is a structure that a plurality of rubber sheets and a steel plate are laminated between a lower flange and an upper flange. The shear pin sustains the steel structure of a travelling part(30) and a leg part(20) during usual unloading operation. The shear pin is constructed to initiate the seismic isolation when a predetermined amount of weight is applied by the vibration with more than a certain seismic intensity.
摘要翻译：提供一种用于装载/卸载机器的隔震装置，通过使用剪切销作为地震隔离的触发单元来执行隔震功能。用于装载/卸载机器的隔震装置包括十字线性轴承（54），橡胶层压板（56）和剪切销（58）。十字线性轴承包括直线轴承（60,62）。线性轴承在X方向和Y方向上交叉，用于在两个正交方向上移动十字线性轴承。 X方向与卸载机的移动方向正交。 Y方向与卸载机的移动方向相同。橡胶层压板是在下凸缘和上凸缘之间层叠多个橡胶板和钢板的结构。剪切销在通常的卸载操作期间维持行驶部件（30）和腿部部件（20）的钢结构。剪切销被构造成当通过具有超过一定地震烈度的振动施加预定量的重量时启动隔震。

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