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1. 发明公开

KR1020120041136A 유체 계측 시스템, 기기, 및 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독가능 매체 审中-实审
标题翻译：流体测量系统，装置和计算机可读介质存储的程序
公开(公告)号：KR1020120041136A
公开(公告)日：2012-04-30
申请号：KR1020110106949
申请日：2011-10-19
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 마츠우라가즈히로 , 다카쿠라히로시 , 후루카와유키마사 , 야스다다다히로
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/00
CPC分类号： G01F15/068 , G01F15/005
摘要： PURPOSE: A fluid measurement system, a device, and a computer-readable medium in which a program is recorded are provided to connect a fluid measurement device to a control device, thereby enabling the control device to acquire data related to fluid computation. CONSTITUTION: A fluid measurement system(100) includes a fluid measurement device(2) and a control device(3). The control device manages the fluid measurement device. The fluid measurement device includes a data storage part related to a fluid sensor. The data storage part stores data related to fluid computation. The control device acquires the data related to the fluid computation from the data storage part. The control device executes a fluid computation process.
摘要翻译：目的：提供记录程序的流体测量系统，装置和计算机可读介质，以将流体测量装置连接到控制装置，从而使控制装置能够获取与流体计算相关的数据。构成：流体测量系统（100）包括流体测量装置（2）和控制装置（3）。控制装置管理流体测量装置。流体测量装置包括与流体传感器相关的数据存储部。数据存储部存储与流体计算有关的数据。控制装置从数据存储部获取与流体计算有关的数据。控制装置执行流体运算处理。

2. 发明授权

KR101668483B1 매스플로우 컨트롤러 有权
公开(公告)号：KR101668483B1
公开(公告)日：2016-10-21
申请号：KR1020090123029
申请日：2009-12-11
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 다카하시아키토 , 후루카와유키마사 , 다나카유키
IPC分类号： H01L21/67 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635
摘要： 매스플로우컨트롤러에서의 PI 성능을향상시킨다. 매스플로우컨트롤러에있어서, 안정상태에서의 PID 연산에이용하는비례계수, 적분계수및 미분계수를 1차측 압력, 당해 1차측 압력의시간변화량및 유량설정값중 적어도 2개에근거하여변경시킨다.

3. 发明公开

KR1020100075740A 질량 유량계 및 매스 플로우 컨트롤러 有权
标题翻译：质量流量计和质量流量控制器
公开(公告)号：KR1020100075740A
公开(公告)日：2010-07-05
申请号：KR1020090127950
申请日：2009-12-21
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 이소베야스히로 , 호리노우치오사무 , 다나카유키 , 야마구치마사오 , 후루카와유키마사
IPC分类号： G01F1/36 , G01F1/88 , G01F1/684 , G01F5/00 , G05D7/06 , G01L7/08
CPC分类号： G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F5/00 , G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , G01F1/36 , G01F1/88 , G01L7/08
摘要： PURPOSE: A mass flowmeter and a mass flow controller are provided to minimize the error of a measured flow rate due to the pressure of a first side and to improve the flow measurement accuracy of the mass flowmeter by correcting the measured flow rate with the coefficient of each sample gases. CONSTITUTION: A mass flowmeter(100) comprises a flow rate calculation unit(42) which acquires an output signal from a sensor unit including a heat-sensitive resistor(41) in a flow path wherein sample gas(G) flows and produces the measured flow rate of the sample gas, a pressure measurement unit(43) which measures the pressure of a first side in the flow path, and a flow rate correction unit(44) which uses the pressure of the first side acquired with the pressure measurement part and the gas coefficient according to the sample gas and corrects the measured flow rate acquired from the flow amount calculation part.
摘要翻译：目的：提供质量流量计和质量流量控制器，以最小化由于第一侧的压力而导致的测量流量的误差，并且通过以下述方式校正质量流量计的流量测量精度来校正测量流量：系数每个样品气体。质量流量计（100）包括流量计算单元（42），该流量计算单元（42）在流动路径中从包括热敏电阻器（41）的传感器单元获取输出信号，其中样气（G）流动并产生测量采样气体的流量，测量流路中的第一侧的压力的压力测量单元（43）和使用由压力测量部分获取的第一侧的压力的流量校正单元（44）和根据样品气体的气体系数，并校正从流量计算部分获得的测量流量。

4. 发明授权

KR101645727B1 질량 유량계 및 매스 플로우 컨트롤러 有权
标题翻译：质量流量计和质量流量控制器
公开(公告)号：KR101645727B1
公开(公告)日：2016-08-04
申请号：KR1020090127950
申请日：2009-12-21
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 이소베야스히로 , 호리노우치오사무 , 다나카유키 , 야마구치마사오 , 후루카와유키마사
IPC分类号： G01F1/36 , G01F1/88 , G01F1/684 , G01F5/00 , G05D7/06 , G01L7/08
CPC分类号： G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F5/00 , G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： 질량유량계의측정정밀도를향상시킨다. 시료가스(G)가흐르는유로에마련된감열(感熱) 저항체(41a, 41b)를가지는센서부(411, 412)로부터의출력신호를취득하여, 상기시료가스(G)의유량 Q을산출하는유량산출부(42)와, 상기유로(2)에있어서의 1차측압력(P)을측정하는압력측정부(43)와, 상기압력측정부(43)에의해얻어진 1차측압력(P), 및상기시료가스(G)의정압비열 C에의해정해지는가스계수α를이용하여, 상기유량산출부(42)에의해얻어진측정유량(Q)을보정하는유량보정부(44)를구비한다.

5. 发明公开

KR1020150145699A 중계기 审中-实审
标题翻译：中继
公开(公告)号：KR1020150145699A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：KR1020150083363
申请日：2015-06-12
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 다키지리고타로 , 오에겐이치 , 후루카와유키마사
IPC分类号： G05D7/06 , G05B23/02
CPC分类号： G05B19/0426 , G05D7/0635
摘要： 유체기기를소형화하면서도, 유체기기의동작상태를진단할수 있도록하기위해서, 유체기기(101)가접속되는제1 포트(P1)와, 유저용정보처리장치(102)가접속되는제2 포트(P2)를구비하며, 유체관련데이터를, 제1 포트(P1)를매개로하여유체기기(101)로부터수신함과아울러, 제2 포트(P2)를매개로하여유저용정보처리장치(102)에송신하거나, 또는, 유체관련데이터를제2 포트(P2)를매개로하여유저용정보처리장치(102)로부터수신함과아울러, 제1 포트(P1)를매개로하여유체기기(101)에송신하는중계기(103)로서, 유체기기(101)의동작상태를진단하는진단용장치(104)가접속되는제3 포트(P3)를더 구비하며, 동작상태를진단하는진단용데이터를, 제1 포트(P1)를매개로하여유체기기(101)로부터수신함과아울러, 제3 포트(P3)를매개로하여진단용장치(104)에송신하도록했다.
摘要翻译：本发明涉及一种中继设备（103），包括：连接到流体设备（101）的第一端口（P1）和连接到用户信息处理设备（102）的第二端口（P2），以便小型化流体装置并诊断流体装置的操作状态。通过使用第一端口（P1）作为介质从流体装置（101）接收与流体相关的数据，并且通过使用第二端口（P2）作为介质将流体相关数据传送到用户信息处理装置（102），或者流体通过使用第二端口（P2）作为介质从用户信息处理装置（102）接收相关数据，并通过使用第一端口（P1）作为介质发送到流体装置（101）。所述中继装置（103）还包括与诊断装置（104）连接的用于诊断所述流体装置（101）的运转状态的第三端口（P3）。通过使用第一端口（P1）作为介质，从流体装置（101）接收诊断用于诊断操作状态的数据，并通过使用第三端口（P3）作为介质发送到诊断装置（104）。

6. 发明公开

KR1020110066394A 매스플로우 컨트롤러 有权
标题翻译：质量流量控制器
公开(公告)号：KR1020110066394A
公开(公告)日：2011-06-17
申请号：KR1020090123029
申请日：2009-12-11
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 다카하시아키토 , 후루카와유키마사 , 다나카유키
IPC分类号： H01L21/67 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , H01L21/67253
摘要： PURPOSE: A mass flow controller is provided to obtain a proportional coefficient, an integral coefficient, and a differential coefficient by changing the proportional coefficient, integral coefficient, and differential coefficient based on time change and a fluid setting value. CONSTITUTION: An internal fluid path(1) is comprised of an inlet port in a downstream side and an output port in an upstream side. A fluid sensor(2) measures the flow rate of fluid flowing in the internal fluid path. A fluid control valve(3) is installed in the downstream in the fluid sensor and controls the flow rate of the fluid. An input sensor(4) includes a pressure reduction device measuring the displacement of a diaphragm. A controller(5) is comprised of a plurality of apparatus which are connected to each other through wire/wireless.
摘要翻译：目的：提供质量流量控制器，通过根据时间变化和流体设定值改变比例系数，积分系数和微分系数来获得比例系数，积分系数和微分系数。构成：内部流体路径（1）由下游侧的入口端口和上游侧的输出端口构成。流体传感器（2）测量在内部流体路径中流动的流体的流量。流体控制阀（3）安装在流体传感器的下游，并控制流体的流量。输入传感器（4）包括测量隔膜的位移的减压装置。控制器（5）由多个通过有线/无线连接的装置组成。

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