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1. 发明公开

KR1020130040741A 유량 제어 장치, 유량 제어 장치에 이용되는 진단 장치, 및 진단용 프로그램이 기록된 기록 매체 审中-实审
标题翻译：流量控制装置，诊断装置和记录用于流量控制装置的诊断程序的记录介质
公开(公告)号：KR1020130040741A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：KR1020120113584
申请日：2012-10-12
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 야스다다다히로 , 하야시시게유키 , 다카하시아키토 , 시미즈데츠오
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/00 , G05B23/02 , H01L21/02
CPC分类号： G01F1/6842 , G05D7/0635 , Y10T137/776
摘要： PURPOSE: A flow control device, a diagnosis device utilized for the flow control device, and a recording medium in which a program for diagnosis is recorded are provided to diagnose the abnormality of a fluid control valve based on high reliability by determining whether an error is occurred at a first measured fluid value based on a second measured fluid value or a measured pressure value. CONSTITUTION: A first flow measuring instrument(1) measures the flow of a fluid flowing in a fluid path(ML). A flow control valve(2) is formed on the fluid path. A valve control part(21) inputs a positioning control parameter into the flow control valve for controlling the positioning of the flow control valve. The fluid measuring tool measures the flow or pressure of the fluid flowing in the fluid path. A first measured flow diagnosing part(5) diagnoses the abnormality of a first measured flow value based on a second measured flow value or a measured pressure value. A valve diagnosing part(7) diagnoses the abnormality of the flow control valve. [Reference numerals] (14) Thermal type flow rate calculation part; (21) Valve control part; (34) Pressure type flow rate calculation part; (4) Stable state determination part; (5) Thermal type flow rate diagnosing part; (6) Valve applied voltage storage part; (7) Valve diagnosing part;
摘要翻译：目的：提供一种流量控制装置，用于流量控制装置的诊断装置和记录有诊断程序的记录介质，以通过确定误差是否为误差来诊断流体控制阀的高可靠性的异常基于第二测量流体值或测量的压力值发生在第一测量流体值。构成：第一流量测量仪（1）测量在流体路径（ML）中流动的流体的流动。流体控制阀（2）形成在流体路径上。阀控制部件（21）将定位控制参数输入流量控制阀，以控制流量控制阀的定位。流体测量工具测量在流体路径中流动的流体的流量或压力。第一测量流量诊断部件（5）基于第二测量流量值或测量的压力值来诊断第一测量流量值的异常。阀诊断部（7）诊断流量控制阀的异常。（附图标记）（14）热式流量计算部; （21）阀门控制部件; （34）压力式流量计算部分; （4）稳定状态判定部; （5）热式流量诊断部分; （6）阀门施加电压存储部分; （7）阀门诊断部位;

2. 发明公开

KR1020110066394A 매스플로우 컨트롤러 有权
标题翻译：质量流量控制器
公开(公告)号：KR1020110066394A
公开(公告)日：2011-06-17
申请号：KR1020090123029
申请日：2009-12-11
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 다카하시아키토 , 후루카와유키마사 , 다나카유키
IPC分类号： H01L21/67 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , H01L21/67253
摘要： PURPOSE: A mass flow controller is provided to obtain a proportional coefficient, an integral coefficient, and a differential coefficient by changing the proportional coefficient, integral coefficient, and differential coefficient based on time change and a fluid setting value. CONSTITUTION: An internal fluid path(1) is comprised of an inlet port in a downstream side and an output port in an upstream side. A fluid sensor(2) measures the flow rate of fluid flowing in the internal fluid path. A fluid control valve(3) is installed in the downstream in the fluid sensor and controls the flow rate of the fluid. An input sensor(4) includes a pressure reduction device measuring the displacement of a diaphragm. A controller(5) is comprised of a plurality of apparatus which are connected to each other through wire/wireless.
摘要翻译：目的：提供质量流量控制器，通过根据时间变化和流体设定值改变比例系数，积分系数和微分系数来获得比例系数，积分系数和微分系数。构成：内部流体路径（1）由下游侧的入口端口和上游侧的输出端口构成。流体传感器（2）测量在内部流体路径中流动的流体的流量。流体控制阀（3）安装在流体传感器的下游，并控制流体的流量。输入传感器（4）包括测量隔膜的位移的减压装置。控制器（5）由多个通过有线/无线连接的装置组成。

3. 发明授权

KR102133429B1 유체제어장치 有权
公开(公告)号：KR102133429B1
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：KR1020130128602
申请日：2013-10-28
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 다나카유키 , 다카하시아키토
IPC分类号： G05D7/06 , G05D16/20

4. 发明授权

KR101668483B1 매스플로우 컨트롤러 有权
公开(公告)号：KR101668483B1
公开(公告)日：2016-10-21
申请号：KR1020090123029
申请日：2009-12-11
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 다카하시아키토 , 후루카와유키마사 , 다나카유키
IPC分类号： H01L21/67 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635
摘要： 매스플로우컨트롤러에서의 PI 성능을향상시킨다. 매스플로우컨트롤러에있어서, 안정상태에서의 PID 연산에이용하는비례계수, 적분계수및 미분계수를 1차측 압력, 당해 1차측 압력의시간변화량및 유량설정값중 적어도 2개에근거하여변경시킨다.

5. 发明公开

KR1020130040740A 유량 제어 장치, 유량 측정 기구, 또는 당해 유량 측정 기구를 구비한 유량 제어 장치에 이용되는 진단 장치 및 진단용 프로그램이 기록된 기록 매체 无效
标题翻译：流量控制装置，流量测量机构中使用的诊断装置或用于流量速率控制装置的流量检测装置，包括流速测量机构和具有记录在其中的诊断程序的记录介质
公开(公告)号：KR1020130040740A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：KR1020120113583
申请日：2012-10-12
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 야스다다다히로 , 하야시시게유키 , 다카하시아키토 , 시미즈데츠오
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/00 , G05D16/02 , H01L21/02
CPC分类号： G01F1/696 , G01F1/6965 , G01F5/00 , G05D7/0635 , Y10T137/776 , Y10T137/7761
摘要： PURPOSE: A flow control device and a flow measuring device or a diagnostic device used for the flow control device comprising the flow measuring device and a recording medium in which a program for diagnosis is recorded are provided to diagnose the abnormality of the measured value of flow in a way at least as accurate as an existing way by diagnosing the measured value of the flow based on the amount of variation of an input value when a fluid is in a stable state. CONSTITUTION: A flow measuring instrument measures the flow of fluid flowing in a fluid path. A flow control valve(2) is formed on the fluid path. A valve control part(21) controls the positioning of the flow control valve for the deviation between a measured value of flow and a target value of the flow to be small. A fluid resistance(4) is formed on the fluid path. A pressure sensor(3) is formed at one side between the upper or lower sides of the fluid resistance. A stable state detecting part(5) determines whether the state of the fluid flowing in the fluid path is stable. An abnormality diagnosing part(6) diagnoses the abnormality of the measured value of the flow. [Reference numerals] (14) Flow conversion part; (21) Valve control part; (5) Stable state detecting part; (61) Flow variation calculation part; (62) Abnormality determination part; (AA) Opening command;
摘要翻译：目的：提供一种用于流量控制装置的流量控制装置和流量测量装置或诊断装置，包括流量测量装置和记录有记录诊断程序的记录介质，用于诊断流量测量值的异常通过基于当流体处于稳定状态时的输入值的变化量来诊断流量的测量值，以至少与现有方法一样准确的方式。构成：流量测量仪测量在流体路径中流动的流体的流量。流体控制阀（2）形成在流体路径上。阀控制部件（21）控制流量控制阀的定位，以使流量的测量值与流量的目标值之间的偏差变小。在流体路径上形成流体阻力（4）。压力传感器（3）形成在流体阻力的上侧或下侧之间的一侧。稳定状态检测部（5）判断在流路中流动的流体的状态是否稳定。异常诊断部（6）诊断流量的测量值的异常。（附图标记）（14）流量转换部; （21）阀门控制部件; （5）稳定状态检测部; （61）流量变动计算部; （62）异常判定部分; （AA）开放指令;

6. 发明公开

KR1020090060412A 매스 플로우 컨트롤러 无效
标题翻译：质量流量控制器
公开(公告)号：KR1020090060412A
公开(公告)日：2009-06-12
申请号：KR1020097004177
申请日：2007-06-01
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 요네다유타카 , 다카하시아키토
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/00
CPC分类号： G01F15/005 , G01F1/6965 , G01F15/024 , G05D7/0635 , Y10T137/2703 , Y10T137/7759
摘要： A mass flow controller which can suppress a variation in flow rate even if pressure varies without sacrificing the speed for following up a variation in flow rate set value and can be employed even in a system generating crosstalk. The mass flow controller comprises a control section (5) for calculating and outputting the opening control signal of a flow rate control valve according to a predetermined expression for calculation including at least a flow rate measurement and a flow rate set value as parameters, and a pressure sensor section (4) for detecting the pressure of fluid on the upstream side or downstream side of a flow rate sensor section (2) and outputting a pressure detection signal indicative of that pressure value. The control section (5) differentiates the expressions for calculation during a variation period, i.e. a predetermined period from a moment in time when the flow rate set value is varied by a predetermined amount or more and during the other period, i.e. a stable period, wherein that pressure value is included additionally as the parameter of the expression for calculation at least during the stable period.
摘要翻译：一种质量流量控制器，即使在压力变化而不牺牲流量设定值的变化的速度的情况下也能够抑制流量的变化，即使在产生串扰的系统中也能够使用。质量流量控制器包括控制部分（5），用于根据用于计算的预定表达式计算并输出流量控制阀的打开控制信号，该至少包括流量测量和流量设定值作为参数，以及压力传感器部（4），用于检测流量传感器部（2）的上游侧或下游侧的流体的压力，并输出表示该压力值的压力检测信号。控制部（5）对变化期间的计算表达式进行微分，即，在流量设定值变化规定量以上的时刻，即在其他期间即稳定期间内的规定期间，其中该压力值至少在稳定期间作为用于计算的表达式的参数。

8. 发明授权

KR101722304B1 매스 플로우 컨트롤러 有权
标题翻译：质量流量控制器
公开(公告)号：KR101722304B1
公开(公告)日：2017-03-31
申请号：KR1020147023032
申请日：2007-06-01
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 요네다유타카 , 다카하시아키토
IPC分类号： G05D7/06 , G05F1/00
CPC分类号： G01F15/005 , G01F1/6965 , G01F15/024 , G05D7/0635 , Y10T137/2703 , Y10T137/7759
摘要： 유량설정값의변화에대한추종속도를희생하는일 없이, 압력변동이생겨도유량변동을억제할수 있고, 크로스토크가생길수 있는시스템에도채용할수 있는매스플로우컨트롤러를제공한다. 그때문에, 유량측정값과유량설정값을파라미터로서적어도포함한소정의산출식으로부터유량제어밸브의개도제어신호를산출하여출력하는제어부(5)와, 유량센서부(2)의상류측또는하류측에있어서유체의압력을검지하고, 그압력값을나타내는압력검지신호를출력하는압력센서부(4)를구비하고, 상기제어부(5)가상기유량설정값을소정량이상변화시킨시점으로부터의소정기간인변화기간과, 그이외의기간인안정기간에있어서상기산출식을서로다르게하는동시에, 적어도상기안정기간에있어서상기산출식의파라미터로서상기압력값이추가로포함되도록하였다.
摘要翻译：而不牺牲流速设定值的变化的跟踪速率，即使有压力变化，并且它可以抑制流量波动，以及提供可在其saenggilsu串扰系统中使用的质量流量控制器。出于这个原因，该流量测量值和流量设定值作为参数向控制部5输出从预定计算公式至少包括一个流量传感器（2）的服装ryucheuk或下游的流量控制阀的计算出的开度控制信号在从该规定的期间内检测出的流体的压力，和提供，并用于输出代表值点的压力检测信号在虚拟流量设定值比所述压力的压力传感器（4）的预定量的控制部5的变化在inbyeon屏幕期间，而且比在同一时间相互变化的计算表达的其它，以及另外含有所述压力值计算公式的至少在稳定期的参数期间的稳定期间。

9. 发明公开

KR1020160018824A 매스 플로우 컨트롤러 审中-实审
标题翻译：质量流量控制器
公开(公告)号：KR1020160018824A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：KR1020167002387
申请日：2007-06-01
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 요네다유타카 , 다카하시아키토
IPC分类号： G05D7/06 , G05F1/00 , G01F1/696 , G01F15/00 , G01F15/02 , G01L19/00
CPC分类号： G01F15/005 , G01F1/6965 , G01F15/024 , G05D7/0635 , Y10T137/2703 , Y10T137/7759
摘要： 유량설정값의변화에대한추종속도를희생하는일 없이, 압력변동이생겨도유량변동을억제할수 있고, 크로스토크가생길수 있는시스템에도채용할수 있는매스플로우컨트롤러를제공한다. 그때문에, 유량측정값과유량설정값을파라미터로서적어도포함한소정의산출식으로부터유량제어밸브의개도제어신호를산출하여출력하는제어부(5)와, 유량센서부(2)의상류측또는하류측에있어서유체의압력을검지하고, 그압력값을나타내는압력검지신호를출력하는압력센서부(4)를구비하고, 상기제어부(5)가상기유량설정값을소정량이상변화시킨시점으로부터의소정기간인변화기간과, 그이외의기간인안정기간에있어서상기산출식을서로다르게하는동시에, 적어도상기안정기간에있어서상기산출식의파라미터로서상기압력값이추가로포함되도록하였다.

10. 发明公开

KR1020140105622A 매스 플로우 컨트롤러 有权
标题翻译：质量流量控制器
公开(公告)号：KR1020140105622A
公开(公告)日：2014-09-01
申请号：KR1020147023032
申请日：2007-06-01
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 요네다유타카 , 다카하시아키토
IPC分类号： G05D7/06 , G05F1/00
CPC分类号： G01F15/005 , G01F1/6965 , G01F15/024 , G05D7/0635 , Y10T137/2703 , Y10T137/7759 , G05D7/06
摘要： 유량 설정값의 변화에 대한 추종 속도를 희생하는 일 없이, 압력 변동이 생겨도 유량 변동을 억제할 수 있고, 크로스토크가 생길 수 있는 시스템에도 채용할 수 있는 매스 플로우 컨트롤러를 제공한다. 그 때문에, 유량 측정값과 유량 설정값을 파라미터로서 적어도 포함한 소정의 산출식으로부터 유량 제어 밸브의 개도 제어 신호를 산출하여 출력하는 제어부(5)와, 유량 센서부(2)의 상류측 또는 하류측에 있어서 유체의 압력을 검지하고, 그 압력값을 나타내는 압력 검지 신호를 출력하는 압력 센서부(4)를 구비하고, 상기 제어부(5)가 상기 유량 설정값을 소정량 이상 변화시킨 시점으로부터의 소정 기간인 변화 기간과, 그 이외의 기간인 안정 기간에 있어서 상기 산출식을 서로 다르게 하는 동시에, 적어도 상기 안정 기간에 있어서 상기 산출식의 파라미터로서 상기 압력값이 추가로 포함되도록 하였다.

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