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    • 5. 发明公开
    • 반도체 장치, 반도체 적층모듈구조, 적층모듈구조 및 이들의 제조방법
    • 半导体器件,半导体堆叠模块结构,堆叠模块结构及其制造方法
    • KR1020150101722A
    • 2015-09-04
    • KR1020140023355
    • 2014-02-27
    • 가부시키가이샤 제이디바이스
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    • H01L23/48H01L23/12
    • H01L24/97H01L24/82H01L2224/12105H01L2224/19H01L2224/24H01L2224/24227H01L2224/32225H01L2224/73267H01L2224/92244H01L2224/97H01L2225/1035H01L2225/1058H01L2224/83H01L2224/82H01L2924/00012
    • [과제] 사이즈가 다른 LSI칩이어도 용이하게 수직 적층이 가능한 반도체 장치의 제공.
      [해결 수단] 절연성 기판, 절연성 기판의 한쪽의 주면상에 소자회로면을 위로 하여 탑재된 반도체 소자, 반도체 소자의 소자회로면상과 그 주변의 절연성 기판상을 밀봉하는 제1 절연 재료층(A), 제1 절연 재료층(A)상에 형성되어 일부가 외부에 노출되어 있는 제1 금속 박막 배선층, 제1 금속 박막 배선층상에 형성된 제1 절연 재료층(B), 절연성 기판의 다른쪽의 주면상에 형성된 제2 절연 재료층, 제2 절연 재료층내에 형성되어 일부가 외부에 노출되어 있는 제2 금속 박막 배선층, 절연성 기판을 관통하고, 제1 금속 박막 배선층과 제2 금속 박막 배선층을 전기적으로 접속하고 있는 비아(via) 및 제1 금속 박막 배선층상에 형성된 외부 전극을 포함하고, 제2 금속 박막 배선층, 반도체 소자의 소자회로면에 배치된 전극, 제1 금속 박막 배선층, 비아 및 제1 금속 박 막 배선층상의 외부 전극을 전기적으로 접속한 구조를 가지는 반도체 장치.
    • 本发明提供即使半导体器件是具有不同尺寸的LSI芯片也能够容易地垂直堆叠的半导体器件。 半导体器件包括:绝缘基板; 半导体元件安装在绝缘基板的一侧的主表面上,元件电路表面朝上; 第一绝缘材料层(A),用于密封半导体元件的元件电路表面和元件电路表面周围的绝缘基板; 第一金属膜布线层,形成在第一绝缘材料层(A)的顶部并且部分地暴露于外部; 形成在所述第一金属膜布线层的顶部上的第一绝缘材料层(B) 第二绝缘材料层,形成在所述绝缘基板的另一侧的所述主表面的顶部; 形成在所述第二绝缘材料层的内部并且部分地暴露于外部的第二金属膜布线层; 穿过所述绝缘基板并电连接所述第一金属膜布线层和所述第二金属膜布线层的通孔; 以及形成在所述第一金属膜布线层的顶部的外部电极,其中所述第二金属膜布线层,布置在所述半导体元件的元件电路表面上的电极,所述第一金属膜布线层,所述通孔和所述外部电极 第一金属膜布线层的顶部电连接。