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    • 1. 发明授权
    • 다이 픽업 장치
    • 一个DIE PICKUP装置
    • KR100825274B1
    • 2008-04-25
    • KR1020060084657
    • 2006-09-04
    • 가부시키가이샤 신가와
    • 니시오히데지사토야스시사사키신이치오다카유타카노베다카시
    • H01L21/60
    • H01L21/67132
    • 다이의 사이즈 변경이나 웨이퍼 시트의 변경 또는 경시 변화에 대하여 복수의 푸시업 부재를 최적의 상승량으로 용이하게 설정할 수 있다.
      다이(2)가 접착된 웨이퍼 시트(1)의 하면을 흡착 유지하는 흡착체(10)의 내측에는 푸시업 수단(20)이 배열되어 있다. 푸시업 수단(20)은 외측에서 내측으로 순서대로 배열된 3개의 푸시업 부재(21, 22, 23)로 이루어지고, 푸시업 부재(23)는 상하 구동 수단으로 상하 구동되는 연결 상하 이동축(30)에 연결되고, 연결 상하 이동축(30)이 상승함으로써 외측의 푸시업 부재(21)부터 순서대로 내측의 푸시업 부재(22, 23)가 상승한다. 푸시업 부재(21)에는 흡착체(10)에 접촉되어 상승이 정지되는 스토퍼(24)가 상하 위치 조정 가능하게 설치되고, 푸시업 부재(22)에는 푸시업 부재(21)에 접촉되어 상승이 정지되는 너트(27)로 이루어지는 스토퍼가 위치 조정 가능하게 설치되어 있다.
      픽업다이, 웨이퍼 시트, 흡착체, 푸시업 수단과, 푸시업 수단, 상하 구동 수단, 푸시업 부재, 다이 픽업 장치
    • 2. 发明公开
    • 다이 픽업 장치
    • 一个DIE PICKUP装置
    • KR1020070040293A
    • 2007-04-16
    • KR1020060084657
    • 2006-09-04
    • 가부시키가이샤 신가와
    • 니시오히데지사토야스시사사키신이치오다카유타카노베다카시
    • H01L21/60
    • H01L21/67132
    • 다이의 사이즈 변경이나 웨이퍼 시트의 변경 또는 경시 변화에 대하여 복수의 푸시업 부재를 최적의 상승량으로 용이하게 설정할 수 있다.
      다이(2)가 접착된 웨이퍼 시트(1)의 하면을 흡착 유지하는 흡착체(10)의 내측에는 푸시업 수단(20)이 배열되어 있다. 푸시업 수단(20)은 외측에서 내측으로 순서대로 배열된 3개의 푸시업 부재(21, 22, 23)로 이루어지고, 푸시업 부재(23)는 상하 구동 수단으로 상하 구동되는 연결 상하 이동축(30)에 연결되고, 연결 상하 이동축(30)이 상승함으로써 외측의 푸시업 부재(21)부터 순서대로 내측의 푸시업 부재(22, 23)가 상승한다. 푸시업 부재(21)에는 흡착체(10)에 접촉되어 상승이 정지되는 스토퍼(24)가 상하 위치 조정 가능하게 설치되고, 푸시업 부재(22)에는 푸시업 부재(21)에 접촉되어 상승이 정지되는 너트(27)로 이루어지는 스토퍼가 위치 조정 가능하게 설치되어 있다.
      픽업다이, 웨이퍼 시트, 흡착체, 푸시업 수단과, 푸시업 수단, 상하 구동 수단, 푸시업 부재, 다이 픽업 장치
    • 6. 发明公开
    • 디스펜서 헤드
    • 分配器头
    • KR1020070094455A
    • 2007-09-20
    • KR1020070005946
    • 2007-01-19
    • 가부시키가이샤 신가와
    • 마에다도오루가쿠타니오사무고바야시다이토오다카유타카
    • H01L21/48
    • H01L24/743H01L2224/83192H01L2224/83194
    • A dispenser head is provided to improve an applying quality of an adhesive by increasing the precision of detecting landing of the dispenser head and the precision of a clearance between a needle and a lead frame. A dispenser(7) discharges an adhesive(6) filled in a syringe(8) from a needle(9) of the syringe to apply the adhesive onto an electronic component mounting portion. A slider(13) supporting the dispenser is vertically moved to the substrate by a driving arm(14). The driving arm is vertically held by a bracket(28), and a spring(42) is interposed between a flange of the bracket and the driving arm to press the driving arm against the flange of the bracket. A piezo element is fixed to the bracket to detect the force applied to the flange.
    • 提供分配器头以通过提高检测分配头的着陆的精度和针与引线框之间的间隙的精度来提高粘合剂的施加质量。 分配器(7)从注射器的针(9)排出填充在注射器(8)中的粘合剂(6),以将粘合剂施加到电子部件安装部分上。 支撑分配器的滑块(13)通过驱动臂(14)垂直移动到基板。 驱动臂由支架(28)垂直地保持,并且弹簧(42)插入支架的凸缘和驱动臂之间,以将驱动臂压靠支架的凸缘。 压电元件固定在支架上,以检测施加在法兰上的力。
    • 7. 发明授权
    • 다이 픽업 장치
    • DIE PICKUP DEVICE
    • KR100639553B1
    • 2006-10-30
    • KR1020050040444
    • 2005-05-16
    • 가부시키가이샤 신가와
    • 후지사와가즈히로오다카유타카
    • H01L21/60
    • 다이 밀어 올리기 부재를 이용해도 다이를 파손시키지 않고, 다이를 확실하게 픽업시킬 수 있다.
      흡착 스테이지(10)내에는, 픽업용의 다이 밀어 올리기 부재(21)에서 다이 이송측으로 다이를 밀어 올리는 다이 박리용의 다이 밀어 올리기 부재(22)가 상하동 가능하게 설치되고, 다이 밀어 올리기 부재(22)가 하강한 상태에서, 픽업되는 다이(1A)의 이송 방향측의 다이 단부를 다이 밀어 올리기 부재(22)의 상방에 위치시킨 후, 다이 밀어 올리기 부재(22)를 상승시켜서 다이(1A)의 이송 방향측의 다이 단부를 웨이퍼 시트(2)에서 벗기고, 그 후, 다이 밀어 올리기 부재(22)는 상승한 채 다이(1A)를 픽업 센터(5)로 이송해서 콜레트(4)와 다이 밀어 올리기 부재(21)에 의해 픽업시킨다.
      다이 픽업 장치, 흡착 스테이지, 다이 밀어 올리기 부재, 웨이퍼 시트, 픽업 센터, 콜레트