专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR101096485B1 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법 有权
标题翻译：基板输送装置和底板输送方法
公开(公告)号：KR101096485B1
公开(公告)日：2011-12-20
申请号：KR1020117003652
申请日：2009-04-28
申请人： 가부시키가이샤 신가와
发明人： 니시오히데지 , 사토야스시 , 안도레이 , 후지노노보루
IPC分类号： H01L21/50 , H01L21/677 , B65G25/04
CPC分类号： H01L21/67005
摘要： 반도체 다이 등을 기판에 적절하게 본딩할 수 있는 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법을 제공한다.
X축 이동 장치(20)에 의한 구동에 의해 반송방향(A)으로 이동가능한 X축 테이블(30)에, 상클릭 부재(40)와, 하클릭 부재(50)와, 본딩 스테이지(2)를 따라 반송방향(A)과 수직한 방향으로 연장되는 기판 누름 부재(60)와, 상클릭 부재, 하클릭 부재 및 기판 누름 부재(60)를 상하동시키는 구동 장치(70)가 탑재되어 있다. 그리고, 기판(F)에 본딩할 때는, 상클릭 부재 및 하클릭 부재에 의해 기판을 끼운 상태에서, 기판 누름 부재에 의해 기판을 본딩 스테이지에 누르고, 기판을 바꿔 잡을 때는, 상클릭 부재 및 하클릭 부재에 의한 기판의 끼움을 해제함과 아울러, 기판 누름 부재를 크게 상승시키고, 기판을 반송할 때는, 상클릭 부재 및 하클릭 부재에 의해 기판을 끼운 상태에서, 기판 누름 부재를 약간 상승시킨다.

2. 发明公开

KR1020110028398A 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법 有权
标题翻译：基板传送装置和基板传送方法
公开(公告)号：KR1020110028398A
公开(公告)日：2011-03-17
申请号：KR1020117003652
申请日：2009-04-28
申请人： 가부시키가이샤 신가와
发明人： 니시오히데지 , 사토야스시 , 안도레이 , 후지노노보루
IPC分类号： H01L21/50 , H01L21/677 , B65G25/04
CPC分类号： H01L21/67005 , B65G25/04 , H01L21/67144 , H01L21/67745 , H01L21/6835
摘要： 본 발명은, 본딩 스테이지에 반송되는 기판의 휨을 교정하고, 반도체 다이 등을 기판에 적절하게 본딩하는 것을 가능하게 한다. X축 이동 장치(20)에 의한 구동에 의해 반송방향(A)으로 이동가능한 X축 테이블(30)에, 상클릭 부재(40)와, 하클릭 부재(50)와, 본딩 스테이지(2)를 따라 반송방향(A)과 수직한 방향으로 연장되는 기판 누름 부재(60)와, 상클릭 부재, 하클릭 부재 및 기판 누름 부재를 상하동시키는 구동 장치(70)가 탑재되어 있다. 그리고, 기판(F)에 본딩할 때는, 상클릭 부재 및 하클릭 부재에 의해 기판을 끼운 상태에서, 기판 누름 부재에 의해 기판을 본딩 스테이지에 누르고, 기판을 바꿔 잡을 때는, 상클릭 부재 및 하클릭 부재에 의한 기판의 끼움을 해제함과 아울러, 기판 누름 부재를 크게 상승시키고, 기판을 반송할 때는, 상클릭 부재 및 하클릭 부재에 의해 기판을 끼운 상태에서, 기판 누름 부재를 약간 상승시킨다.
摘要翻译：本发明使得能够校正传送到结合台的衬底的偏转，并且适当地将半导体管芯等结合到衬底。上部咔嗒声部件40，下部咔嗒声部件50以及粘接台2通过X轴驱动部件30的驱动而安装在能够沿着输送方向A移动的X轴台30上。在与输送方向A垂直的方向上延伸的基板按压部件60和用于上下移动上下卡搭部件和基板按压部件的驱动装置70。在将基板贴合于基板F时，在基板被上部部件和下部部件夹持的状态下，基板被基板按压部件按压到贴合台上，当衬底按压构件大幅提升并且承载衬底时，衬底按压构件稍微提升，同时衬底被夹持在上部咔嗒构件和下部咔嗒构件之间。

3. 发明授权

KR100825274B1 다이 픽업 장치 有权
标题翻译：一个DIE PICKUP装置
公开(公告)号：KR100825274B1
公开(公告)日：2008-04-25
申请号：KR1020060084657
申请日：2006-09-04
申请人： 가부시키가이샤 신가와
发明人： 니시오히데지 , 사토야스시 , 사사키신이치 , 오다카유타카 , 노베다카시
IPC分类号： H01L21/60
CPC分类号： H01L21/67132
摘要： 다이의 사이즈 변경이나 웨이퍼 시트의 변경 또는 경시 변화에 대하여 복수의 푸시업 부재를 최적의 상승량으로 용이하게 설정할 수 있다.
다이(2)가 접착된 웨이퍼 시트(1)의 하면을 흡착 유지하는 흡착체(10)의 내측에는 푸시업 수단(20)이 배열되어 있다. 푸시업 수단(20)은 외측에서 내측으로 순서대로 배열된 3개의 푸시업 부재(21, 22, 23)로 이루어지고, 푸시업 부재(23)는 상하 구동 수단으로 상하 구동되는 연결 상하 이동축(30)에 연결되고, 연결 상하 이동축(30)이 상승함으로써 외측의 푸시업 부재(21)부터 순서대로 내측의 푸시업 부재(22, 23)가 상승한다. 푸시업 부재(21)에는 흡착체(10)에 접촉되어 상승이 정지되는 스토퍼(24)가 상하 위치 조정 가능하게 설치되고, 푸시업 부재(22)에는 푸시업 부재(21)에 접촉되어 상승이 정지되는 너트(27)로 이루어지는 스토퍼가 위치 조정 가능하게 설치되어 있다.
픽업다이, 웨이퍼 시트, 흡착체, 푸시업 수단과, 푸시업 수단, 상하 구동 수단, 푸시업 부재, 다이 픽업 장치

4. 发明公开

KR1020070040293A 다이 픽업 장치 有权
标题翻译：一个DIE PICKUP装置
公开(公告)号：KR1020070040293A
公开(公告)日：2007-04-16
申请号：KR1020060084657
申请日：2006-09-04
申请人： 가부시키가이샤 신가와
发明人： 니시오히데지 , 사토야스시 , 사사키신이치 , 오다카유타카 , 노베다카시
IPC分类号： H01L21/60
CPC分类号： H01L21/67132
摘要： 다이의 사이즈 변경이나 웨이퍼 시트의 변경 또는 경시 변화에 대하여 복수의 푸시업 부재를 최적의 상승량으로 용이하게 설정할 수 있다.
다이(2)가 접착된 웨이퍼 시트(1)의 하면을 흡착 유지하는 흡착체(10)의 내측에는 푸시업 수단(20)이 배열되어 있다. 푸시업 수단(20)은 외측에서 내측으로 순서대로 배열된 3개의 푸시업 부재(21, 22, 23)로 이루어지고, 푸시업 부재(23)는 상하 구동 수단으로 상하 구동되는 연결 상하 이동축(30)에 연결되고, 연결 상하 이동축(30)이 상승함으로써 외측의 푸시업 부재(21)부터 순서대로 내측의 푸시업 부재(22, 23)가 상승한다. 푸시업 부재(21)에는 흡착체(10)에 접촉되어 상승이 정지되는 스토퍼(24)가 상하 위치 조정 가능하게 설치되고, 푸시업 부재(22)에는 푸시업 부재(21)에 접촉되어 상승이 정지되는 너트(27)로 이루어지는 스토퍼가 위치 조정 가능하게 설치되어 있다.
픽업다이, 웨이퍼 시트, 흡착체, 푸시업 수단과, 푸시업 수단, 상하 구동 수단, 푸시업 부재, 다이 픽업 장치

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式