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1. 发明授权

KR101453638B1 기판검사장치 및 기판검사방법 有权
标题翻译：基板检查装置和基板检查方法
公开(公告)号：KR101453638B1
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：KR1020127027708
申请日：2012-01-06
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 나카지마타이고 , 우에타쿠니오 , 타니구치카즈타카
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： H01L21/681 , G01N21/8422 , G01N2021/8427 , H01L21/67288 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 기판 가장자리부를 간단하게 빨리 검출할 수 있는 기판검사장치를 제공하는 것을 본 발명의 목적으로 한다. 기판검사장치(100)는 표면에 막을 도포한 기판(W)을 유지하여 회전하는 회전 테이블(5)과, 기판(W)에 광을 조사하는 광조사수단(2)과, 광조사수단(2)에 의한 기판(W) 표면으로부터의 정반사광을 수광하고, 촬상 화상의 신호 출력하는 광전변환수단(4)을 구비한다. 그리고, 기판(W)의 회전 중심을 포함하여 회전 중심으로부터 반경 방향의 1 주사분의 전기신호의 회전수단 1둘레분의 검출치를 가산하여 이차원 화상을 생성하고, 이차원 화상의 일 방향을 따라 설정된 판정 밴드로부터 변화점을 판단한다. 따라서, 기판(W) 위에서 EBR선의 양부를 간단하게 판단할 수 있어, 처리 효율이 좋은 검사가 가능하게 되는 효과를 발휘한다.

2. 发明公开

KR1019980069996A 광학적 불균일 검사장치 및 광학적 불균일 검사방법 失效
公开(公告)号：KR1019980069996A
公开(公告)日：1998-10-26
申请号：KR1019970051455
申请日：1997-10-07
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 우에타쿠니오
IPC分类号： G01N21/00
摘要： 대상물의 광학적 불균일을 자동적으로 변동없이 검사할 수 있는 광학적 불균일 검사장치 및 광학적 불균일 검사방법을 제공하는데 있다.
CCD 카메라(17)로 검사 대상물(100)을 촬영하고, 검사 대상물(100)의 화상에 대응하는 화상데이터를 출력한다. 화상데이터를 규격화 하는 것에 의해 규격화 화상데이터를 얻는다. 규격화 화상데이터의 화소치의 평균치를 기준으로 해서 평균치보다 낮은 제1의 문턱치 및 평균치보다도 높은 제2의 문턱치를 1조 이상 설정한다. 각 조의 제1의 문턱치보다도 낮은 값을 가지는 화소 및 제2의 문턱치보다도 높은 값을 가지는 화소를 각 조마다 추출한다. 추출된 화소의 수를 각 조마다 카운트 한다. 각 조마다 얻어진 카운트 값에 의거해서 광학적 불균일의 유무를 판정한다.

3. 发明公开

KR1020070015093A 불균일검사 장치 및 불균일검사 방법 有权
标题翻译：无检测装置和无损检测方法
公开(公告)号：KR1020070015093A
公开(公告)日：2007-02-01
申请号：KR1020060071740
申请日：2006-07-28
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 다니구치카즈타카 , 요시하라카즈히로 , 우에타쿠니오
IPC分类号： G01N21/88 , G01B11/30
摘要： An unevenness inspection apparatus and an unevenness inspection method are provided to inspect unevenness of a layer formed on a substrate. An unevenness inspection apparatus includes a maintaining part, a light radiating part(3), a photographing part(41), and an unevenness detection part(7). The maintaining part maintains a substrate on which a light transmissive layer is formed. The light radiating part radiates light to the layer from a predetermined incident angle. The photographing part receives a specific wavelength of interference light reflected from the layer among the light from the light radiating part to obtain an original image of the layer. The unevenness detection part compensates affection varied depending on the layer thickness using sensitivity as a ratio of variation in intensity of the specific wavelength of interference light.
摘要翻译：提供不均匀性检查装置和不均匀性检查方法来检查在基板上形成的层的不均匀性。不平坦度检查装置包括保持部，光辐射部（3），拍摄部（41）和不平坦度检测部（7）。保持部维持形成有透光层的基板。光辐射部分从预定的入射角度向所述层辐射光。拍摄部分接收来自光辐射部分的光中从层反射的特定波长的干涉光，以获得该层的原始图像。不平坦度检测部分使用灵敏度来补偿根据层厚度而变化的影响作为干涉光的特定波长的强度的变化率。

4. 发明公开

KR1020060052001A 농담 불균일을 검사하는 장치, 그 방법 및 농담 불균일검사용 프로그램을 기록한 기록 매체 有权
标题翻译：检查密度不足的记录仪和记录介质检查密度不足的程序
公开(公告)号：KR1020060052001A
公开(公告)日：2006-05-19
申请号：KR1020050092942
申请日：2005-10-04
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 다니구치카즈타카 , 우에타쿠니오
IPC分类号： H01J9/42
摘要： 기판(9)에 도포된 레지스트의 농담 불균일을 검사하는 불균일 검사장치(1)에서는, 기판(9)의 촬상 화상이 압축된 후에 로우패스 필터 처리가 행하여지고, 하이패스 필터부(4214)에 의해 하이패스 필터 처리가 더 행하여진다. 하이패스 필터부(4214)에서는, 하이패스 윈도우가 엣지 근방에 존재하는 경우에는, 하이패스 윈도우가 축소되어 필터 처리에 의한 화소값 산출의 대상이 되는 주목 화소가 속하는 영역이외의 영역을 피한다. 이렇게, 불균일 검사장치(1)에서는, 하이패스 필터 처리에 이용되는 화소군을, 하이패스 윈도우 내의 화소, 즉, 실질적으로 주목 화소가 속하는 영역 내의 화소로 제한하는 것에 의해, 엣지 근방에 있어서의 불균일 검사의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
기판, 하이패스, 필터, 불균일

5. 发明授权

KR100249597B1 광학적 불균일 검사장치 및 광학적 불균일 검사방법 失效
公开(公告)号：KR100249597B1
公开(公告)日：2000-04-01
申请号：KR1019970051455
申请日：1997-10-07
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 우에타쿠니오
IPC分类号： G01N21/00
摘要： 대상물의 광학적 불균일을 자동적으로 변동없이 검사할 수 있는 광학적 불균일 검사장치 및 광학적 불균일 검사방법을 제공하는데 있다.
CCD 카메라(17)로 검사 대상물(100)을 촬영하고, 검사 대상물(100)의 화상에 대응하는 화상데이터를 출력한다. 화상데이터를 규격화 하는 것에 의해 규격화 화상데이터를 얻는다. 규격화 화상데이터의 화소치의 평균치를 기준으로 해서 평균치보다 낮은 제1의 문턱치 및 평균치보다도 높은 제2의 문턱치를 1조 이상 설정한다. 각 조의 제1의 문턱치보다도 낮은 값을 가지는 화소 및 제2의 문턱치보다도 높은 값을 가지는 화소를 각 조마다 추출한다. 추출된 화소의 수를 각 조마다 카운트 한다. 각 조마다 얻어진 카운트 값에 의거해서 광학적 불균일의 유무를 판정한다.

6. 发明公开

KR1020130019400A 기판검사장치 및 기판검사방법 有权
标题翻译：基板检查装置和基板检查方法
公开(公告)号：KR1020130019400A
公开(公告)日：2013-02-26
申请号：KR1020127027708
申请日：2012-01-06
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 나카지마타이고 , 우에타쿠니오 , 타니구치카즈타카
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： H01L21/681 , G01N21/8422 , G01N2021/8427 , H01L21/67288 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： A substrate inspection apparatus for detecting a conditionof an EBR line at a substrate edge, comprising a turntable for rotating a substrate having a film coated thereon, a light irradiator, and a photoelectric converter that receives specularly reflected light from the substrate and ouputs a captured image signal. A two-dimensional image is generation by adding detection values of electrical signals corresponding to one radial scan from a center of the substrate for one turn of a rotator, and a changing point is judged using a judgment band set along one direction of the two-dimensional image.

7. 发明授权

KR100730052B1 농담 불균일을 검사하는 장치, 그 방법 및 농담 불균일검사용 프로그램을 기록한 기록 매체 有权
标题翻译：检查密度不均匀的仪器和方法以及记录介质进行检查密度不均匀程序
公开(公告)号：KR100730052B1
公开(公告)日：2007-06-27
申请号：KR1020050092942
申请日：2005-10-04
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 다니구치카즈타카 , 우에타쿠니오
IPC分类号： H01J9/42
摘要： 기판(9)에 도포된 레지스트의 농담 불균일을 검사하는 불균일 검사장치(1)에서는, 기판(9)의 촬상 화상이 압축된 후에 로우패스 필터 처리가 행하여지고, 하이패스 필터부(4214)에 의해 하이패스 필터 처리가 더 행하여진다. 하이패스 필터부(4214)에서는, 하이패스 윈도우가 엣지 근방에 존재하는 경우에는, 하이패스 윈도우가 축소되어 필터 처리에 의한 화소값 산출의 대상이 되는 주목 화소가 속하는 영역이외의 영역을 피한다. 이렇게, 불균일 검사장치(1)에서는, 하이패스 필터 처리에 이용되는 화소군을, 하이패스 윈도우 내의 화소, 즉, 실질적으로 주목 화소가 속하는 영역 내의 화소로 제한하는 것에 의해, 엣지 근방에 있어서의 불균일 검사의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
기판, 하이패스, 필터, 불균일

8. 发明公开

KR1019980069997A 광학적 불균일 검사장치 및 광학적 불균일 검사방법 失效
公开(公告)号：KR1019980069997A
公开(公告)日：1998-10-26
申请号：KR1019970051456
申请日：1997-10-07
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 우에타쿠니오
IPC分类号： G01N21/00
摘要： 대상물의 광학적 불균일을 자동적으로 변동없이 검사할 수 있는 광학적 불균일 검사장치 및 광학적 불균일 검사방법을 제공하는데 있다.
CCD 카메라(17)로 검사 대상물(100)을 촬영하고, 검사 대상물(100)의 화상에 대응하는 화상데이터를 출력한다. 화상데이터를 규격화함으로써 규격화 화상데이터를 얻는다. 규격화 화상데이터의 화소치의 평균치를 산출하고, 규격화 화상데이터의 각 화소치와 평균치와의 차이의 절대치를 산출한다. 차이의 절대치가 문턱치 이하인 화소치를 0 으로 치환하고, 또 나머지 화소치를 유지하여 적산 대상데이터로 한다. 적산 대상데이터의 화소치를 적산한다. 적산치에 의거해서 광학적 불균일의 유무를 판정한다.

9. 发明授权

KR100767498B1 불균일 검사장치 및 불균일 검사방법 有权
标题翻译：无损检测装置和无损检测方法
公开(公告)号：KR100767498B1
公开(公告)日：2007-10-17
申请号：KR1020060029701
申请日：2006-03-31
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 우에타쿠니오 , 요시하라카즈히로 , 다니구치카즈타카
IPC分类号： H01L21/66
摘要： 불균일 검사장치(1)는, 기판(9)을 유지하는 스테이지(2), 기판(9)의 막(92)이 형성된 상면(91)을 향해서 선상광을 출사하는 광출사부(3), 기판(9)으로부터의 반사광을 수광하는 수광부(4), 기판(9)과 수광부(4)와의 사이에 배치되어서 광의 파장대를 절환하는 파장대절환 기구(5), 스테이지(2)를 이동하는 이동 기구(21), 수광한 광의 강도분포에 근거해서 막두께 불균일을 검사하는 검사부(7)를 갖춘다. 불균일 검사장치(1)에서는, 광출사부(3)로부터 기판(9)에 입사하는 광의 상면(91)에 대한 입사각θ1이 60˚로 되므로써, 고정밀도한 불균일 검출이 가능하게 되는 막두께의 범위를 크게 할 수가 있는 동시에 막두께에 대한 반사율의 극대점 근방 영역인 저감도영역의 폭이 넓어지는 것을 방지할 수가 있다. 그 결과, 막두께의 변동 폭이 저감도영역에 포함되는 것을 방지하여 미소한 막두께 불균일을 정밀도 좋게 검출할 수가 있다.
불균일 검사장치, 파장대 절환수단, 광투사부

10. 发明授权

KR100249599B1 광학적 불균일 검사장치 및 광학적 불균일 검사방법 失效
公开(公告)号：KR100249599B1
公开(公告)日：2000-04-01
申请号：KR1019970051457
申请日：1997-10-07
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 우에타쿠니오
IPC分类号： G01N21/00
摘要： 대상물의 광학적 불균일을 자동적으로 변동없이 검사할 수 있는 광학적 불균일 검사장치 및 광학적 불균일 검사방법을 제공하는데 있다.
CCD 카메라(17)로 검사 대상물(100)을 촬영하고, 검사 대상물(100)의 화상에 대응하는 화상데이터를 출력한다. 화상데이터를 규격화함으로써 규격화 화상데이터를 얻고, 규격화 화상데이터에 1차 차분형 오퍼레이터를 적용해서 에지 화상데이터를 얻는다. 에지 화상데이터에 대해서 문턱치를 설정하여 노이즈 성분을 제거한다.게다가, 에지 화상데이터에 검사 윈도우를 설정하고, 검사 윈도우마다 에지 화상데이터의 적산치를 산출하여 적산치가 판정 기준치를 초과하는가 아닌가에 따라 광학적 불균일의 유무를 판정한다.

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