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1. 发明公开

KR1020110120239A 컬러 필터 기판 검사 방법 및 검사 장치 无效
标题翻译：彩色滤色片检测方法和检验装置
公开(公告)号：KR1020110120239A
公开(公告)日：2011-11-03
申请号：KR1020110039470
申请日：2011-04-27
申请人： 가부시키가이샤 리가쿠 , 도판 인사츠 가부시키가이샤
发明人： 나까노아사오 , 사이또준이찌 , 츄이하이롱 , 이나바가쯔히꼬 , 노노구찌마사히로
IPC分类号： G01N23/223 , G02F1/13
CPC分类号： G01N23/223 , G01N2223/076 , G01N2223/652 , G02F1/136259 , G02F2001/136222 , G02F2001/136254
摘要： PURPOSE: A color filter substrate inspecting method and a device are provided to improve efficiency of substrate manufacture. CONSTITUTION: A color filter substrate inspecting method is as follows. The fluorescence X-rays spectrum of the place, in which a foreign material(33) of substrate is attached, is measured. The measurement result is compared with the spectrum for comparison. The fluorescence X-rays spectrum of the substrate intrinsic is highly detailed. The test accuracy and test speed of the foreign material detection are improved.
摘要翻译：目的：提供滤色器基板检查方法和装置，以提高基板制造的效率。构成：滤色片基板的检查方法如下。测量其中附着有基材的异物（33）的位置的荧光X射线光谱。将测量结果与光谱进行比较以进行比较。衬底本征的荧光X射线光谱非常详细。提高了异物检测的测试精度和测试速度。

2. 发明授权

KR101412375B1 미소부 Ｘ선 계측 장치 有权
标题翻译：微型X射线测量装置
公开(公告)号：KR101412375B1
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：KR1020110007286
申请日：2011-01-25
申请人： 가부시키가이샤 리가쿠
发明人： 나까노아사오 , 이나바가쯔히꼬 , 노노구찌마사히로
IPC分类号： G01N23/223 , G01N23/20
摘要： 본 발명의 과제는 시료가 탑재되는 기판(기재)의 원소와, 시료에 포함되는 원소가 동일해도, 안정적으로, 미소 부분의 성분 계측이 가능한 미소부 X선 계측 장치를 제공하는 것이다.
X선 발생 장치와, 방출되는 X선을 50㎛ 직경 이하의 단면적에 수렴 조사하는 X선 광학 소자와, 형광 X선을 검출하는 X선 검출기와, 광학상을 촬상 가능한 광학 현미경과 화상 인식 기능을 구비하고, 시료를 2차원에서 이동하여 위치 결정이 가능하고, 또한 높이 방향으로 그 위치 조정이 가능한 시료 상대 이동 기구를 구비하고, 시료의 특정 위치에 있어서의 형광 X선 계측이 가능하고, 또한 기재 상에 놓인 측정 시료로부터의 형광 X선도 계측 가능한 미소부 X선 계측 장치에서는 X선의 조사 위치와 상기 X선 검출기 사이의 형광 X선의 광로를 형광 X선의 감쇠를 억제하는 구조(진공 또는 헬륨 치환)로 하고, 또한 기재 상의 측정 시료가 기재와 동일한 금속 원소를 포함해도, 측정 시료의 동일한 금속 원소의 함유가 판정 가능한 데이터 처리 기능을 구비한 데이� �� 처리부를 구비하고 있다.

3. 发明公开

KR1020110087236A 미소부 Ｘ선 계측 장치 有权
标题翻译：微型X射线测量装置
公开(公告)号：KR1020110087236A
公开(公告)日：2011-08-02
申请号：KR1020110007286
申请日：2011-01-25
申请人： 가부시키가이샤 리가쿠
发明人： 나까노아사오 , 이나바가쯔히꼬 , 노노구찌마사히로
IPC分类号： G01N23/223 , G01N23/20
CPC分类号： G01N23/223 , G01N23/083 , G01N2223/076 , G21K1/06 , G21K5/02
摘要： PURPOSE: A microscopic point x-ray detecting apparatus is provided to stability measure the component of microscopic point. CONSTITUTION: A microscopic point x-ray detecting apparatus comprises an X-rays optical element, X-ray detector(3), an optical microscope, a sample transport device. The X-ray detector detects the fluorescence X-rays emitted from the measurement sample. The optical microscope can take a picture of the optical image of X-rays irradiation position. The sample transport device two-dimensionally injects sample for the position determination and controls the position control in a height direction.
摘要翻译：目的：提供微观点x射线检测装置，以稳定度量微观点的成分。构成：微观点x射线检测装置包括X射线光学元件，X射线检测器（3），光学显微镜，样品输送装置。 X射线检测器检测从测量样品发射的荧光X射线。光学显微镜可以拍摄X射线照射位置的光学图像。样品输送装置二维地注入用于位置确定的样品，并控制高度方向的位置控制。

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