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热词
    • 1. 发明授权
    • 레이저 마킹 시스템의 마킹 이미지 리딩장치 및 리딩방법
    • 标记图像引导装置和激光打标系统的阅读方法
    • KR101216684B1
    • 2012-12-31
    • KR1020110012964
    • 2011-02-14
    • (주)와이티에스
    • 백승웅나종상최준호고승용김동욱황용연
    • G01N21/88B23K26/18
    • 본발명은레이저마킹시스템의마킹이미지리딩장치및 리딩방법에관한것으로, 레이저마킹시스템에서마킹이미지의리딩이이루어질수 있도록함으로써마킹의불량여부를판단할수 있도록함에그 목적이있다. 이를위해구성되는본 발명은특정파장대의광에의한반응을통해스캔헤드로피드백되어스캔헤드의갈바노미러에의해반사되는마킹대상물상의마킹이미지영상을반사시키는빔 스플리터; 빔스플리터에의해반사된마킹이미지영상으로부터특정파장대의광만축출하는컬러필터; 컬러필터에의해축출된특정파장대마킹이미지영상의광량을조절하는아이리스다이아그램; 아이리스다이아그램을통과한마킹이미지영상의스캔헤드의 F-&thetas; 렌즈에의해발생된구면수차를보상하는옵티컬렌즈; 마킹대상물의재질에따라반응하는특정파장의광을출사하여마킹대상물상의마킹이미지영상이스캔헤드로피드백되도록하는동축조명; 및옵티컬렌즈를통과한마킹대상물의마킹이미지영상을촬상하는비전카메라의구성으로이루어진다.
    • 2. 发明授权
    • 반사식 레이저 빔 측정장치
    • 反射型激光束测量
    • KR101065789B1
    • 2011-09-20
    • KR1020080138114
    • 2008-12-31
    • (주)와이티에스
    • 이석준황용연남장현
    • G02B27/18G02F1/1335
    • 본 발명은 반사식 레이저 빔 측정장치에 관한 것으로, 포커싱 렌즈에 의해 포커싱된 레이저 빔을 리플렉트 플레이트를 통해 컨덴서 렌즈로 반사시켜 CCD 카메라에 의해 촬상이 이루어지도록 하는 반사식 구조의 포지션 모듈레이터를 구성함으로써 정밀한 평행광을 만드는 한편 레이저 빔 자체에서 발생하는 사이드 빔(Side Beam)과 고스트 빔(Ghost Beam) 및 회절을 최소화하여 레이저 빔의 정밀한 이미지의 촬상이 이루어질 수 있도록 함에 그 목적이 있다. 이를 위해 구성되는 본 발명은 일정 경사각으로 설치되어지되 레이저 소스로부터 발진되어 스캔헤드를 통과한 레이저 빔의 입사가 이루어지는 한편 입사된 레이저 빔을 일정 경사각으로 포커싱(Focusing)시키는 포커싱 렌즈(Focusing Lens); 포커싱 렌즈의 하부측에 수평선상으로 설치되어지되 포커싱 렌즈에 의해 포커싱(Focusing)된 레이저 빔을 입사된 경사각과 동일 경사각으로 반사시켜 디포커싱(Defocusing)시키는 리플렉트 플레이트(Reflect Plate); 리플렉트 플레이트의 상부측에 포커싱 렌즈와 대칭되는 경사각으로 설치되어지되 리플렉트 플레이트에 의해 일정 경사각으로 디포커싱(Defocusing)된 레이저 빔을 평행광으로 형성하여 유지되도록 하는 컨덴서 렌즈(Condenser Lens); 및 컨덴서 렌즈의 동일 중심선상 후방에 설치되어지되 컨덴서 렌즈에 의해 평행광으로 입사되는 레이저 빔의 이미지를 촬상하는 CCD 카메라를 포함한 구성으로 이루어진다.
      레이저, 레이저 빔, 마킹장치, 노광장치, 반사식
    • 3. 发明授权
    • 레이저 마킹 시스템의 스캔헤드 틀어짐에 따른 마킹 오프셋자동 보정 방법
    • 根据激光标记系统扫描头偏差自动校正标记偏移的方法
    • KR100856564B1
    • 2008-09-04
    • KR1020070074676
    • 2007-07-25
    • (주)와이티에스
    • 홍상표백승웅나종상황용연김동욱최준호고승용
    • H01L23/544
    • H01L23/544G01B11/02H01L21/268H01L21/67282
    • An automatic marking offset correction method according to scan head deviation in a laser marking system is provided to reduce a cost and a space for a fabrication by producing automatically a center point and a theta angle offset by the laser marking system. A dot pattern for inspecting a center point offset is marked on an intersection between virtual lateral and longitudinal center lines by operating a scan head in a fixing state of a photoresist plate on a stage(S100,S110). The dot pattern for inspecting the center point offset is photographed by moving a camera(S120). A center point offset is produced by calculating the number of offset pixels between the dot pattern and the center point(S130,S140). A dot pattern for inspecting a theta angle offset is marked on two arbitrary points of the vertical longitudinal center line by operation the scan head(S150). The dot pattern for inspecting the theta angle offset is photographed after the stage is moved(S160). The theta angle offset is produced(S170). An angle of an X mirror or a Y mirror is corrected by using the center point offset and the theta angle offset(S180).
    • 提供了一种根据激光打标系统中的扫描头偏移的自动标记偏移校正方法,以通过激光打标系统自动产生中心点和θ角偏移来降低制造的成本和空间。 通过在平台上的光致抗蚀剂板的固定状态下操作扫描头(S100,S110),在虚拟横向和纵向中心线之间的交叉点处标记用于检查中心点偏移的点图案。 通过移动相机拍摄用于检查中心点偏移的点图案(S120)。 通过计算点图案和中心点之间的偏移像素的数量来产生中心点偏移(S130,S140)。 通过操作扫描头,在垂直纵向中心线的两个任意点上标记用于检查θ角度偏移的点图案(S150)。 在阶段移动之后拍摄用于检查θ角度偏移的点图案(S160)。 产生θ角偏移(S170)。 通过使用中心点偏移和θ角偏移来校正X镜或Y镜的角度(S180)。
    • 4. 发明公开
    • 레이저 마킹 시스템의 마킹 이미지 리딩장치 및 리딩방법
    • 标记图像引导装置和激光标记系统的读取方法
    • KR1020120092990A
    • 2012-08-22
    • KR1020110012964
    • 2011-02-14
    • (주)와이티에스
    • 백승웅나종상최준호고승용김동욱황용연
    • G01N21/88B23K26/18
    • PURPOSE: A device and a method for reading marking images of a laser marking system are provided to minimize a failure rate by immediately stopping the equipment of a line in the fault generation of marking quality because the existence of faulty marking can be determined. CONSTITUTION: A device(200) for reading marking images of a laser marking system(100) comprises a beam splitter(210), a color filter(220), an iris diaphragm(230), an optical lens(240), a coaxial lighting(250), and a vision camera(260). The beam splitter reflects marking images of a marking object(10) being reflected in a galvano mirror of a scan head(150). The color filter expels only lights of a specific wavelength band from marking images being reflected in the beam splitter. The iris diaphragm controls a light quantity of the marking images of the specific wavelength band being expelled by the color filter. The optical lens compensates spherical aberration generated by an F-θ lens of the scan head of marking images have passed through the iris diaphragm. The coaxial lighting makes the marking images of the marking object to be fed-back to the scan head. The vision camera photographs the marking images of the marking object have passed through the optical lens.
    • 目的:提供一种用于读取激光打标系统标记图像的装置和方法,以便通过立即停止标记质量故障生成线中的设备来最小化故障率,因为可以确定存在故障标记。 构成:用于读取激光打标系统(100)的标记图像的装置(200)包括分束器(210),滤色器(220),虹膜光阑(230),光学透镜(240),同轴 照明(250)和视觉摄像机(260)。 分束器反射标记物体(10)的标记图像,其被反射在扫描头(150)的电流镜中。 彩色滤光片仅从特定波长带的光线中排除在分束器中反射的图像。 虹膜光阑控制由滤色器排出的特定波段的标记图像的光量。 光学透镜补偿由F-和thgr产生的球面像差。 标记图像的扫描头的镜头已通过虹膜光圈。 同轴照明使标记对象的标记图像反馈到扫描头。 视觉摄像机拍摄标记物体的标记图像已通过光学透镜。
    • 5. 发明授权
    • 레이저 마킹 시스템의 주행축 틀어짐에 따른 마킹패턴오프셋 자동 보정 방법
    • 根据激光打标系统的驱动轴偏差自动校正标记图案偏移的方法
    • KR100890259B1
    • 2009-03-24
    • KR1020070074679
    • 2007-07-25
    • (주)와이티에스
    • 홍상표백승웅나종상황용연김동욱최준호고승용
    • B23K26/00H01L23/544
    • 본 발명은 레이저 마킹 시스템의 주행축 틀어짐에 따른 마킹패턴 오프셋 자동 보정 방법에 관한 것으로, 감광 플레이트를 검사장비에 옮기지 않고도 레이저 마킹 시스템 자체에서 주행축 틀어짐에 따른 오프셋 파일을 자동으로 생성하여 실제 마킹시 적용할 수 있도록 함에 그 목적이 있다. 이를 위해 구성되는 본 발명은 감광 플레이트가 얹혀지는 스테이지, 감광 플레이트 상에 레이저 마킹을 수행하는 스캔헤드, 스테이지를 Y축 방향으로 이송시키는 스테이지 이송수단, 감광 플레이트 표면을 촬영하는 카메라 및 카메라를 X축 방향으로 이송시키는 카메라 이송수단을 구비한 레이저 마킹 시스템에서 수행되어지되, (a) 감광 플레이트를 스테이지 상에 고정시킨 상태에서 스테이지를 Y축 방향으로 이동시키면서 미리 정해진 마킹 간격마다 정지시킨 상태에서 스캔헤드를 구동하여 검사용 도트패턴을 마킹하는 단계; (b) 카메라 화면의 세로 중심선이 검사용 도트패턴이 마킹될 가상의 중심선과 일치하도록 카메라를 X축 방향으로 이송시키는 단계; (c) 스테이지를 Y축 방향으로 이송시키면서 매 마킹 간격마다 정지시킨 상태에서 카메라를 구동하여 검사용 도트패턴을 촬영하는 단계; (d) 카메라의 화면의 세로 중심선과 촬영된 검사용 도트패턴 사이의 화소수를 계산한 후에 이를 거리로 환산함으로써 각각의 검사용 도트패턴 마다의 오프셋을 산출하는 단계; 및 (e) 실제 마킹시에 산출된 오프셋을 대입하여 마킹 위치를 보정하는 단계를 포함하여 이루어진다.
      레이저 마킹, 축틀어짐, 보정, 리니어모터, 주행축, 오프셋
    • 7. 发明公开
    • 레이저 마킹 시스템의 스캔헤드 틀어짐에 따른 중심점오프셋 자동 보정 방법
    • 根据激光标记系统中的扫描头偏差自动校正中心点偏移的方法
    • KR1020090011265A
    • 2009-02-02
    • KR1020070074678
    • 2007-07-25
    • (주)와이티에스
    • 홍상표백승웅나종상황용연김동욱최준호고승용
    • B23K26/06B23K26/062
    • A method for automatically correcting a center point offset is provided to facilitate a marking process by checking a photosensitive plate by not visual inspection but an automatic correction function, thereby reducing a measurement error caused by visual inspection. A method for automatically correcting a center point offset comprises the following steps. A photosensitive plate is fixed on a stage and a dot pattern for a test is marked at an intersection point of a virtual horizontal center line and a virtual vertical center line. The stage is moved to the horizontal center line so that the dot pattern for a test is placed on an X-axis moving track of a camera. The camera is moved to match a vertical center line of a camera screen to the virtual vertical center line and the dot pattern for a test is photographed.
    • 提供了一种用于自动校正中心点偏移的方法,以通过不进行目视检查而检查感光板而进行标记处理,而且具有自动校正功能,从而减少由目视检查引起的测量误差。 用于自动校正中心点偏移的方法包括以下步骤。 感光板固定在平台上,在虚拟水平中心线和虚拟垂直中心线的交点处标记用于测试的点图案。 舞台被移动到水平中心线,使得用于测试的点图案被放置在相机的X轴移动轨道上。 相机移动以将相机屏幕的垂直中心线与虚拟垂直中心线相匹配,并且拍摄用于测试的点图案。
    • 8. 发明授权
    • 레이저 마킹 시스템의 스캔헤드 틀어짐에 따른 세타각오프셋 자동 보정 방법
    • 用于根据激光标记系统中的扫描头偏差自动校正THAA角度偏移的方法
    • KR100856565B1
    • 2008-09-04
    • KR1020070074677
    • 2007-07-25
    • (주)와이티에스
    • 홍상표백승웅나종상황용연김동욱최준호고승용
    • B23K26/04B23K26/00
    • A method for automatically correcting theta angle offsets according to distortion of scan heads in a laser marking system is provided to apply the adjusted mirror angles to the actual marking after adjusting angles of mirrors by automatically calculating the theta angle offsets according to the distortion of the scan heads in the laser marking system itself without inspecting a photosensitive plate with the naked eye. A method for automatically correcting theta angle offsets according to distortion of scan heads in a laser marking system comprises: a step(S100) of fixing a photosensitive plate to a determined position of a stage; a step(S110) of driving the respective scan heads to mark inspecting dot patterns on preset upper and lower limit points of imaginary longitudinal central lines of the scan heads; a step(S120) of moving a camera such that the camera is placed at the exact center of the respective longitudinal central lines, and allowing the camera to photograph the inspecting dot patterns; a step(S130) of calculating theta angle offsets formed by the respective longitudinal central lines and a line that connects the respective photographed dot patterns; a step(S140) of applying the calculated theta angle offsets to correct angles of an X mirror and a Y mirror; and a step(S150) of performing an actual marking in a state that the angles of the X mirror and Y mirror are corrected.
    • 提供了一种根据激光打标系统中的扫描头的失真来自动校正角度偏移的方法,以通过根据扫描的失真自动计算θ角度偏移来在调整镜子角度之后将经调整的镜像角度应用于实际标记 头部在激光打标系统本身,而不用肉眼检查感光板。 根据激光打标系统中的扫描头的畸变来自动校正θ角偏移的方法包括:将感光板固定到台的确定位置的步骤(S100) 驱动各个扫描头的步骤(S110),以在扫描头的假想纵向中心线的预设上限和下限点上标记检查点图案; 移动相机使得相机位于相应纵向中心线的精确中心的步骤(S120),并允许相机拍摄检查点图案; 计算由各个纵向中心线形成的角度偏移的步骤(S130)和连接各个拍摄的点图案的线条; 施加所计算的θ角度偏移以校正X反射镜和Y反射镜的角度的步骤(S140); 以及在对X镜和Y镜的角度进行校正的状态下执行实际标记的步骤(S150)。
    • 9. 发明公开
    • 레이저 마킹 시스템의 주행축 틀어짐에 따른 마킹패턴오프셋 자동 보정 방법
    • 用于根据激光标记系统中的驱动轴偏差自动校正标记图形偏移的方法
    • KR1020090011266A
    • 2009-02-02
    • KR1020070074679
    • 2007-07-25
    • (주)와이티에스
    • 홍상표백승웅나종상황용연김동욱최준호고승용
    • B23K26/00H01L23/544
    • A method for automatically correcting a marking pattern offset caused by driving axis deviation in a laser marking system is provided to improve accuracy of a marking result and reduce manufacturing cost of test equipment. A method for automatically correcting a marking pattern offset caused by driving axis deviation in a laser marking system comprises the following steps. A photosensitive plate is fixed on a stage and a dot pattern for a test is marked at a predetermined interval. A vertical center line of a camera screen is matched with a virtual center line for the dot pattern for a test marked. The stage is moved in a Y-axis direction and stopped in a predetermined location so that the dot pattern for a test is photographed.
    • 提供了一种用于自动校正激光打标系统中驱动轴偏差引起的标记图案偏移的方法,以提高标记结果的精度并降低测试设备的制造成本。 一种用于自动校正激光打标系统中驱动轴偏差引起的标记图案偏移的方法包括以下步骤。 将感光板固定在台面上,并以预定的间隔标记用于测试的点图案。 相机屏幕的垂直中心线与用于所标记的测试的点图案的虚拟中心线匹配。 舞台沿Y轴方向移动并停在预定位置,从而拍摄测试用的点阵图形。