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1. 发明授权

KR101216684B1 레이저 마킹 시스템의 마킹 이미지 리딩장치 및 리딩방법 有权
标题翻译：标记图像引导装置和激光打标系统的阅读方法
公开(公告)号：KR101216684B1
公开(公告)日：2012-12-31
申请号：KR1020110012964
申请日：2011-02-14
申请人： (주)와이티에스
发明人： 백승웅 , 나종상 , 최준호 , 고승용 , 김동욱 , 황용연
IPC分类号： G01N21/88 , B23K26/18
摘要： 본발명은레이저마킹시스템의마킹이미지리딩장치및 리딩방법에관한것으로, 레이저마킹시스템에서마킹이미지의리딩이이루어질수 있도록함으로써마킹의불량여부를판단할수 있도록함에그 목적이있다. 이를위해구성되는본 발명은특정파장대의광에의한반응을통해스캔헤드로피드백되어스캔헤드의갈바노미러에의해반사되는마킹대상물상의마킹이미지영상을반사시키는빔 스플리터; 빔스플리터에의해반사된마킹이미지영상으로부터특정파장대의광만축출하는컬러필터; 컬러필터에의해축출된특정파장대마킹이미지영상의광량을조절하는아이리스다이아그램; 아이리스다이아그램을통과한마킹이미지영상의스캔헤드의 F-&thetas; 렌즈에의해발생된구면수차를보상하는옵티컬렌즈; 마킹대상물의재질에따라반응하는특정파장의광을출사하여마킹대상물상의마킹이미지영상이스캔헤드로피드백되도록하는동축조명; 및옵티컬렌즈를통과한마킹대상물의마킹이미지영상을촬상하는비전카메라의구성으로이루어진다.

2. 发明授权

KR101126369B1 다이렉트 방식의 레이저 빔 측정장치 失效
标题翻译：直接激光束测量
公开(公告)号：KR101126369B1
公开(公告)日：2012-03-23
申请号：KR1020080138115
申请日：2008-12-31
申请人： (주)와이티에스
发明人： 이석준 , 고승용 , 김동욱
IPC分类号： G01B11/00 , G02B7/04 , G02B13/00 , H04N5/225
摘要： 본 발명은 다이렉트 방식의 레이저 빔 측정장치에 관한 것으로, 포커싱 렌즈, 디포커싱 렌즈, 컨덴서 렌즈 및 CCD 카메라를 상하의 수직구조로 배열하여 입사되는 레이저 빔이 다이렉트로 입사되도록 한 구조의 레이저 빔 측정장치를 구성함으로써 정밀한 평행광을 만드는 한편 레이저 빔 자체에서 발생하는 사이드 빔(Side Beam)과 고스트 빔(Ghost Beam) 및 회절을 최소화하여 레이저 빔의 정밀한 이미지의 촬상이 이루어질 수 있도록 함에 그 목적이 있다. 이를 위해 구성되는 본 발명은 레이저 소스로부터 발진되어 스캔헤드를 통과한 레이저 빔의 입사가 이루어지는 한편 입사된 레이저 빔을 포커싱(Focusing)시키는 포커싱 렌즈(Focusing Lens); 포커싱 렌즈의 동일 중심선상 하부에 설치되어지되 포커싱 렌즈에 의해 포커싱(Focusing)된 레이저 빔의 초점을 흐리게 하는 인스펙션 옵틱(Inspection Optic); 인스펙션 옵틱의 동일 중심선상 하부에 설치되어지되 인스펙션 옵틱에 의해 초점이 흐려진 레이저 빔을 평행광으로 형성하여 유지되도록 하는 컨덴서 렌즈(Condenser Lens); 및 컨덴서 렌즈의 동일 중심선상 하부에 설치되어지되 컨덴서 렌즈에 의해 평행광으로 입사되는 레이저 빔의 이미지를 촬상하는 CCD 카메라를 포함한 구성으로 이루어진다.
레이저, 레이저 빔, 마킹장치, 노광장치, 측정장치

3. 发明授权

KR100856564B1 레이저 마킹 시스템의 스캔헤드 틀어짐에 따른 마킹 오프셋자동 보정 방법 有权
标题翻译：根据激光标记系统扫描头偏差自动校正标记偏移的方法
公开(公告)号：KR100856564B1
公开(公告)日：2008-09-04
申请号：KR1020070074676
申请日：2007-07-25
申请人： (주)와이티에스
发明人： 홍상표 , 백승웅 , 나종상 , 황용연 , 김동욱 , 최준호 , 고승용
IPC分类号： H01L23/544
CPC分类号： H01L23/544 , G01B11/02 , H01L21/268 , H01L21/67282
摘要： An automatic marking offset correction method according to scan head deviation in a laser marking system is provided to reduce a cost and a space for a fabrication by producing automatically a center point and a theta angle offset by the laser marking system. A dot pattern for inspecting a center point offset is marked on an intersection between virtual lateral and longitudinal center lines by operating a scan head in a fixing state of a photoresist plate on a stage(S100,S110). The dot pattern for inspecting the center point offset is photographed by moving a camera(S120). A center point offset is produced by calculating the number of offset pixels between the dot pattern and the center point(S130,S140). A dot pattern for inspecting a theta angle offset is marked on two arbitrary points of the vertical longitudinal center line by operation the scan head(S150). The dot pattern for inspecting the theta angle offset is photographed after the stage is moved(S160). The theta angle offset is produced(S170). An angle of an X mirror or a Y mirror is corrected by using the center point offset and the theta angle offset(S180).
摘要翻译：提供了一种根据激光打标系统中的扫描头偏移的自动标记偏移校正方法，以通过激光打标系统自动产生中心点和θ角偏移来降低制造的成本和空间。通过在平台上的光致抗蚀剂板的固定状态下操作扫描头（S100，S110），在虚拟横向和纵向中心线之间的交叉点处标记用于检查中心点偏移的点图案。通过移动相机拍摄用于检查中心点偏移的点图案（S120）。通过计算点图案和中心点之间的偏移像素的数量来产生中心点偏移（S130，S140）。通过操作扫描头，在垂直纵向中心线的两个任意点上标记用于检查θ角度偏移的点图案（S150）。在阶段移动之后拍摄用于检查θ角度偏移的点图案（S160）。产生θ角偏移（S170）。通过使用中心点偏移和θ角偏移来校正X镜或Y镜的角度（S180）。

4. 发明授权

KR101245804B1 레이저 마킹 시스템 有权
标题翻译：激光打标系统
公开(公告)号：KR101245804B1
公开(公告)日：2013-03-21
申请号：KR1020110012963
申请日：2011-02-14
申请人： (주)와이티에스
发明人： 백승웅 , 나종상 , 최준호 , 고승용 , 김동욱
IPC分类号： B23K26/18 , G01N21/88 , B23K26/04 , B23K26/70
摘要： 본 발명은 레이저 마킹 시스템에 관한 것으로, 레이저 마킹 시스템에서 레이저 마킹과 마킹 이미지의 리딩이 함께 이루어질 수 있도록 함으로써 마킹 품질의 불량 여부를 판단할 수 있도록 함에 그 목적이 있다. 이를 위해 구성되는 본 발명은 레이저 빔이 출사되는 레이저 모듈, 레이저 모듈에서 출사된 레이저 빔을 정렬시키는 하나 이상의 빔 미러, 레이저 빔을 온/오프(On/Off) 제어하여 레이저 빔의 온(On)시 빔 미러를 통해 반사되는 가운데 정렬된 레이저 빔을 오프(Off)시에도 누설되지 않도록 하는 빔 셔터, 빔 미러에 의해 정렬되어 빔 셔터를 경유한 레이저 빔의 광폭을 원하는 크기로 확대 또는 축소시키고 레이저 빔을 포커싱하는 빔 익스펜더, 광폭의 조절 및 포커싱이 이루어진 레이저 빔을 마킹 대상물 상에 조사하되 갈바노 미터에 의해 제어되는 X방향 갈바노 미러와 Y방향 갈바노 미러 및 F-θ 렌즈를 통해 레이저 빔을 마킹 대상물에 조사하여 2차원 형상을 마킹하는 스캔헤드 및 스캔헤드로 피드백되어 갈바노 미러에 의해 반사되는 마킹 대상물의 마킹 이미지를 촬상하는 리딩용 비전을 포함한 구성으로 이루어진다.

5. 发明授权

KR101245803B1 레이저 다이오드를 이용한 마킹용 ＩＣ 타이틀러 有权
标题翻译：使用激光二极管制造IC滴定仪
公开(公告)号：KR101245803B1
公开(公告)日：2013-03-21
申请号：KR1020110012962
申请日：2011-02-14
申请人： (주)와이티에스
发明人： 백승웅 , 나종상 , 최준호 , 고승용 , 김동욱
IPC分类号： B23K26/18 , B23K26/04 , B23K26/064 , B41M5/24
摘要： 본 발명은 레이저 다이오드를 이용한 마킹용 IC 타이틀러에 관한 것으로, 400∼410nm 파장의 레이저 다이오드가 구성된 레이저 모듈과 스캔헤드 사이의 경로상에 레이저빔의 광폭을 조절함은 물론 포커싱하기 위한 포커싱 렌즈를 구성하여 단순화시킬 수 있도록 함에 그 목적이 있다. 이를 위해 구성되는 본 발명은 레이저 빔의 출사가 이루어지는 레이저 모듈; 레이저 모듈의 다음단에 구성되어 레이저 모듈에서 출사된 레이저 빔을 정렬시키는 하나 이상의 빔 미러; 레이저 모듈로부터 출사된 레이저 빔을 온/오프(On/Off) 제어하여 레이저 빔 온(On)시 빔 미러를 통해 반사되는 가운데 정렬된 레이저 빔을 오프(Off)시에도 누설되지 않도록 하는 빔 셔터; 빔 셔터의 다음단에 구성되어지되 빔 미러에 의해 정렬되어 빔 셔터를 통과한 레이저 빔의 광폭을 원하는 크기로 확대 또는 축소시키고 레이저 빔을 포커싱시키는 포커싱 렌즈; 및 포커싱 렌즈 다음단에 구성되어 포커싱 렌즈에 의해 광폭의 조절 및 포커싱이 이루어진 레이저 빔을 글라스 기판 상에 조사하여 2차원 형상을 형성하는 스캔헤드를 포함한 구성으로 이루어진다.

6. 发明公开

KR1020090011265A 레이저 마킹 시스템의 스캔헤드 틀어짐에 따른 중심점오프셋 자동 보정 방법 无效
标题翻译：根据激光标记系统中的扫描头偏差自动校正中心点偏移的方法
公开(公告)号：KR1020090011265A
公开(公告)日：2009-02-02
申请号：KR1020070074678
申请日：2007-07-25
申请人： (주)와이티에스
发明人： 홍상표 , 백승웅 , 나종상 , 황용연 , 김동욱 , 최준호 , 고승용
IPC分类号： B23K26/06 , B23K26/062
摘要： A method for automatically correcting a center point offset is provided to facilitate a marking process by checking a photosensitive plate by not visual inspection but an automatic correction function, thereby reducing a measurement error caused by visual inspection. A method for automatically correcting a center point offset comprises the following steps. A photosensitive plate is fixed on a stage and a dot pattern for a test is marked at an intersection point of a virtual horizontal center line and a virtual vertical center line. The stage is moved to the horizontal center line so that the dot pattern for a test is placed on an X-axis moving track of a camera. The camera is moved to match a vertical center line of a camera screen to the virtual vertical center line and the dot pattern for a test is photographed.
摘要翻译：提供了一种用于自动校正中心点偏移的方法，以通过不进行目视检查而检查感光板而进行标记处理，而且具有自动校正功能，从而减少由目视检查引起的测量误差。用于自动校正中心点偏移的方法包括以下步骤。感光板固定在平台上，在虚拟水平中心线和虚拟垂直中心线的交点处标记用于测试的点图案。舞台被移动到水平中心线，使得用于测试的点图案被放置在相机的X轴移动轨道上。相机移动以将相机屏幕的垂直中心线与虚拟垂直中心线相匹配，并且拍摄用于测试的点图案。

7. 发明授权

KR100856565B1 레이저 마킹 시스템의 스캔헤드 틀어짐에 따른 세타각오프셋 자동 보정 방법 失效
标题翻译：用于根据激光标记系统中的扫描头偏差自动校正THAA角度偏移的方法
公开(公告)号：KR100856565B1
公开(公告)日：2008-09-04
申请号：KR1020070074677
申请日：2007-07-25
申请人： (주)와이티에스
发明人： 홍상표 , 백승웅 , 나종상 , 황용연 , 김동욱 , 최준호 , 고승용
IPC分类号： B23K26/04 , B23K26/00
摘要： A method for automatically correcting theta angle offsets according to distortion of scan heads in a laser marking system is provided to apply the adjusted mirror angles to the actual marking after adjusting angles of mirrors by automatically calculating the theta angle offsets according to the distortion of the scan heads in the laser marking system itself without inspecting a photosensitive plate with the naked eye. A method for automatically correcting theta angle offsets according to distortion of scan heads in a laser marking system comprises: a step(S100) of fixing a photosensitive plate to a determined position of a stage; a step(S110) of driving the respective scan heads to mark inspecting dot patterns on preset upper and lower limit points of imaginary longitudinal central lines of the scan heads; a step(S120) of moving a camera such that the camera is placed at the exact center of the respective longitudinal central lines, and allowing the camera to photograph the inspecting dot patterns; a step(S130) of calculating theta angle offsets formed by the respective longitudinal central lines and a line that connects the respective photographed dot patterns; a step(S140) of applying the calculated theta angle offsets to correct angles of an X mirror and a Y mirror; and a step(S150) of performing an actual marking in a state that the angles of the X mirror and Y mirror are corrected.
摘要翻译：提供了一种根据激光打标系统中的扫描头的失真来自动校正角度偏移的方法，以通过根据扫描的失真自动计算θ角度偏移来在调整镜子角度之后将经调整的镜像角度应用于实际标记头部在激光打标系统本身，而不用肉眼检查感光板。根据激光打标系统中的扫描头的畸变来自动校正θ角偏移的方法包括：将感光板固定到台的确定位置的步骤（S100）驱动各个扫描头的步骤（S110），以在扫描头的假想纵向中心线的预设上限和下限点上标记检查点图案; 移动相机使得相机位于相应纵向中心线的精确中心的步骤（S120），并允许相机拍摄检查点图案; 计算由各个纵向中心线形成的角度偏移的步骤（S130）和连接各个拍摄的点图案的线条; 施加所计算的θ角度偏移以校正X反射镜和Y反射镜的角度的步骤（S140）; 以及在对X镜和Y镜的角度进行校正的状态下执行实际标记的步骤（S150）。

8. 发明公开

KR1020120092989A 레이저 마킹 시스템 有权
标题翻译：激光打标系统
公开(公告)号：KR1020120092989A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：KR1020110012963
申请日：2011-02-14
申请人： (주)와이티에스
发明人： 백승웅 , 나종상 , 최준호 , 고승용 , 김동욱
IPC分类号： B23K26/18 , G01N21/88 , B23K26/04 , B23K26/70
摘要： PURPOSE: A laser marking system is provided to determine the existence of a faulty marking quality and to automatically stop equipment of a line when the faulty quality is confirmed because a laser-marking and a marked image reading can be performed at the same time. CONSTITUTION: A laser marking system comprises a laser module, one or more beam mirrors, a beam shutter, a beam expender, a scan head(150), and a vision for reading(160). The beam expender is aligned by the beam mirror, thereby enlarging and reducing the interference of the laser beams penetrated through the beam shutter at a desired size and focusing the laser beams. The scan head projects the laser beams in which an interference adjustment and focusing are finished on a marking object with an X directional galvano mirror, a Y directional galvano mirror, and a F-θ lens, thereby marking a 2D shape. The X directional galvano mirror and the Y directional galvano mirror are controlled by a galvano meter. The vision for reading is fed-back to the scan head, thereby photographing marking images of the marking object being reflected by the galvano mirrors.
摘要翻译：目的：提供激光打标系统，以确定是否存在故障标记质量，并在确定故障质量时自动停止线路设备，因为可以同时执行激光打标和标记图像读取。构成：激光打标系统包括激光模块，一个或多个光束镜，光束快门，光束延伸器，扫描头（150）和阅读视野（160）。光束扩展器由光束镜对准，从而扩大并减少穿过光束快门的激光束以期望的大小的干涉并聚焦激光束。扫描头通过X方向电流镜，Y方向电流镜和F-扫描器投影在标记物上完成干涉调节和聚焦的激光束。透镜，从而标记2D形状。 X方向电流镜和Y方向电流镜由电流表控制。读取的愿景被反馈到扫描头，从而拍摄标记物体的图像，该图像被电流镜反射。

9. 发明公开

KR1020100079584A 다이렉트 방식의 레이저 빔 측정장치 失效
标题翻译：直径型激光束测量
公开(公告)号：KR1020100079584A
公开(公告)日：2010-07-08
申请号：KR1020080138115
申请日：2008-12-31
申请人： (주)와이티에스
发明人： 이석준 , 고승용 , 김동욱
IPC分类号： G01B11/00 , G02B7/04 , G02B13/00 , H04N5/225
摘要： PURPOSE: A direct type device for measuring a laser beam is provided to precisely photograph the image of a laser beam by minimizing diffraction of a side beam and a ghost beam occurred in the laser beam. CONSTITUTION: A direct type device for measuring a laser beam comprises a focusing lens(110), an inspection plate(120), a condenser lens(130), and a CCD camera(140). The focusing lens focuses a laser beam. The inspection plate is installed in the bottom side of the focusing lens and defocuses the focused laser beam. The condenser lens is installed in the bottom side of the inspection plate and forms the defocused laser beam into a parallel beam. The CCD camera is installed in the bottom side of the condenser lens.
摘要翻译：目的：提供一种用于测量激光束的直接型装置，通过使激光束中发生的侧光束和重影光束的衍射最小化来精确地拍摄激光束的图像。构成：用于测量激光束的直接型装置包括聚焦透镜（110），检查板（120），聚光透镜（130）和CCD照相机（140）。聚焦镜头聚焦激光束。检查板安装在聚焦透镜的底侧，并使聚焦的激光束散焦。聚光透镜安装在检查板的底侧，并将散焦的激光束形成平行光束。 CCD摄像机安装在聚光透镜的底部。

10. 发明公开

KR1020090011266A 레이저 마킹 시스템의 주행축 틀어짐에 따른 마킹패턴오프셋 자동 보정 방법 失效
标题翻译：用于根据激光标记系统中的驱动轴偏差自动校正标记图形偏移的方法
公开(公告)号：KR1020090011266A
公开(公告)日：2009-02-02
申请号：KR1020070074679
申请日：2007-07-25
申请人： (주)와이티에스
发明人： 홍상표 , 백승웅 , 나종상 , 황용연 , 김동욱 , 최준호 , 고승용
IPC分类号： B23K26/00 , H01L23/544
摘要： A method for automatically correcting a marking pattern offset caused by driving axis deviation in a laser marking system is provided to improve accuracy of a marking result and reduce manufacturing cost of test equipment. A method for automatically correcting a marking pattern offset caused by driving axis deviation in a laser marking system comprises the following steps. A photosensitive plate is fixed on a stage and a dot pattern for a test is marked at a predetermined interval. A vertical center line of a camera screen is matched with a virtual center line for the dot pattern for a test marked. The stage is moved in a Y-axis direction and stopped in a predetermined location so that the dot pattern for a test is photographed.
摘要翻译：提供了一种用于自动校正激光打标系统中驱动轴偏差引起的标记图案偏移的方法，以提高标记结果的精度并降低测试设备的制造成本。一种用于自动校正激光打标系统中驱动轴偏差引起的标记图案偏移的方法包括以下步骤。将感光板固定在台面上，并以预定的间隔标记用于测试的点图案。相机屏幕的垂直中心线与用于所标记的测试的点图案的虚拟中心线匹配。舞台沿Y轴方向移动并停在预定位置，从而拍摄测试用的点阵图形。

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