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1. 发明授权

KR101716477B1 진공 증발원용 증발율 측정 장치 有权
标题翻译：用于真空蒸发源的蒸发率测量装置
公开(公告)号：KR101716477B1
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：KR1020150090896
申请日：2015-06-26
申请人： (주)알파플러스
发明人： 황도원 , 문일권 , 차수영 , 김동우
IPC分类号： G01N13/00 , H01L21/66
摘要： 본발명은진공증발원으로부터증발되는박막형성용물질의증발율을실시간으로측정할수 있는진공증발원용증발율측정장치를제공하는것이그 기술적과제이다. 이를위해, 본발명의진공증발원용증발율측정장치는, 고진공상태의챔버에내장된진공증발원으로부터증발되는박막형성용물질의증발율을측정하는진공증발원용증발율측정장치로, 상기챔버의일측에관통되게형성되는제1 통과공; 상기제1 통과공을통해상기챔버의내부에구비되며상기박막형성용물질의증발율을실시간측정하는제1 센서; 및상기챔버의외부중 상기제1 통과공측에구비되며상기제1 센서를선형이동시키는제1 선형이송부를포함한다.
摘要翻译：本发明这是技术问题，提供一种能够实时测量薄膜音频材料的蒸发速率被从真空蒸发源蒸发的真空蒸发合并蒸发率测量装置。为此，真空蒸发合并蒸发速率测量本发明的装置中，一个距离测量膜音频材料的蒸发速率被从在高真空状态室真空蒸发的蒸发速率测量装置并入真空蒸镀源，形成在腔室的一侧，以通过蒸发第一个通孔; 第一传感器，通过第一通道孔设置在腔室内并实时测量薄膜型材料的蒸发速率; 以及第一线性传送部分，其设置在腔室的第一通道侧上并且线性地移动第一传感器。

2. 发明授权

KR101752345B1 선형 진공 증발원 有权
公开(公告)号：KR101752345B1
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：KR1020150158280
申请日：2015-11-11
申请人： (주)알파플러스
发明人： 황도원 , 문일권 , 차수영 , 김동우 , 조승구 , 황인섭
IPC分类号： H01L21/203 , H01L21/22 , H01L21/324 , H01L21/02
摘要： 본발명은노즐의전 부위의온도를고르게증대시켜노즐의막히는것을방지할수 있는선형진공증발원을제공하는것이그 기술적과제이다. 이를위해, 본발명의선형진공증발원은, 케이스; 상기케이스의내부에구비되고상부에노즐을구비한도가니; 상기케이스와상기도가니사이에구비되어상기도가니를가열하는히터; 및상기노즐의외주면에구비되어상기히터의복사에너지를흡수하고상기노즐의외주면으로상기흡수된복사에너지를방출시키는제1 복사에너지흡방출부재를포함한다.

3. 发明公开

KR1020170001217A 진공 증발원용 증발율 측정 장치 有权
标题翻译：真空渗流池用蒸发量测量装置
公开(公告)号：KR1020170001217A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：KR1020150090896
申请日：2015-06-26
申请人： (주)알파플러스
发明人： 황도원 , 문일권 , 차수영 , 김동우
IPC分类号： G01N13/00 , H01L21/66
摘要： 본발명은진공증발원으로부터증발되는박막형성용물질의증발율을실시간으로측정할수 있는진공증발원용증발율측정장치를제공하는것이그 기술적과제이다. 이를위해, 본발명의진공증발원용증발율측정장치는, 고진공상태의챔버에내장된진공증발원으로부터증발되는박막형성용물질의증발율을측정하는진공증발원용증발율측정장치로, 상기챔버의일측에관통되게형성되는제1 통과공; 상기제1 통과공을통해상기챔버의내부에구비되며상기박막형성용물질의증발율을실시간측정하는제1 센서; 및상기챔버의외부중 상기제1 통과공측에구비되며상기제1 센서를선형이동시키는제1 선형이송부를포함한다.

4. 发明公开

KR1020170052415A 선형 진공 증발원 有权
标题翻译：线性真空蒸发器
公开(公告)号：KR1020170052415A
公开(公告)日：2017-05-12
申请号：KR1020150158280
申请日：2015-11-11
申请人： (주)알파플러스
发明人： 황도원 , 문일권 , 차수영 , 김동우 , 조승구 , 황인섭
IPC分类号： H01L21/203 , H01L21/22 , H01L21/324 , H01L21/02
摘要： 본발명은노즐의전 부위의온도를고르게증대시켜노즐의막히는것을방지할수 있는선형진공증발원을제공하는것이그 기술적과제이다. 이를위해, 본발명의선형진공증발원은, 케이스; 상기케이스의내부에구비되고상부에노즐을구비한도가니; 상기케이스와상기도가니사이에구비되어상기도가니를가열하는히터; 및상기노즐의외주면에구비되어상기히터의복사에너지를흡수하고상기노즐의외주면으로상기흡수된복사에너지를방출시키는제1 복사에너지흡방출부재를포함한다.
摘要翻译：发明内容本发明的目的是提供一种线性真空蒸发源，其能够通过均匀地提高所有喷嘴的温度来防止喷嘴堵塞。为此，本发明的线性真空蒸发源包括壳体; 坩埚，其设置在上述壳体内，在其上部具有喷嘴; 设置在壳体和坩埚之间以加热坩埚的加热器; 以及第一辐射能量吸收和释放构件，其设置在喷嘴的外圆周表面上以吸收加热器的辐射能并将吸收的辐射能发射到喷嘴的外圆周表面。

5. 发明授权

KR101582670B1 진공 증발원용 증발율 모니터링 모듈 有权
标题翻译：用于真空消毒细胞的蒸发速率监测模块
公开(公告)号：KR101582670B1
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：KR1020140193504
申请日：2014-12-30
申请人： (주)알파플러스
发明人： 황도원 , 김동우
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/203
摘要： 본발명은센서에도달되는박막형성용물질의양을줄일수 있는진공증발원용증발율모니터링모듈을제공하는것이그 기술적과제이다. 이를위해, 본발명의진공증발원용증발율모니터링모듈은, 복수의방향으로박막형성용물질이증발되는진공증발원용증발율모니터링모듈로, 상기복수의방향중 일부방향에마주하여놓여상기일부방향으로증발되는박막형성용물질중 일부를보유함과동시에나머지를반사시키는반사판; 및상기반사판에서반사되는상기나머지의박막형성용물질의증발율을측정하거나감시하는센서를포함한다.
摘要翻译：本发明提供一种用于真空喷射池的蒸发速率监测模块，其可以减少到达传感器的薄膜形成材料的量。为了达到这个目的，用于形成薄膜在多个方向上蒸发的材料的真空积液室的蒸发速率监测模块包括反射板，该反射板被放置成面向一些方向并保持部分材料用于形成在一些方向上蒸发的薄膜，同时反射剩余部分的材料; 以及传感器，其测量或监视反射板上反射的材料的剩余部分的蒸发速率。

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