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1. 发明授权

KR101848072B1 노광용 광원모듈 유닛 및 그 광원모듈 유닛이 구비된 노광장치 有权
公开(公告)号：KR101848072B1
公开(公告)日：2018-04-11
申请号：KR1020160124076
申请日：2016-09-27
申请人： (주)블루코어
发明人： 조남직 , 인치억 , 박종원 , 송우리 , 정해일
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/20
摘要： 본발명은노광용광원모듈유닛을개시한다. 본발명에의한노광용광원모듈유닛은, 다수의자외선발광소자가어레이구조로이루어진광원패널과, 발광소자의광출사측에배치되는투광패널에일체형어레이배열구조로집적화된복수의단위집광렌즈가단위발광소자에각각대응되는위치에서주광축에대해자외선발광소자어레이의중심을지나는임의의기준중심축선측으로편심된상태의매트릭스형태의어레이구조로이루어진광학패널을포함하며, 단위집광렌즈는광 입사면이평면과, (-)0.15 이내의곡률(R)을가지는오목면및 (+)0.15 이내의곡률(R)을가지는볼록면중에서선택된어느하나의형태로형성되는동시에광 출사면은볼록렌즈로형성되고, 외선발광소자와단위집광렌즈의이격거리(C1))는집광렌즈의직경(d)에대하여 C1/d

2. 发明公开

KR1020180034048A 노광용 광원모듈 유닛 및 그 광원모듈 유닛이 구비된 노광장치 有权
标题翻译：曝光光源模块单元和设置有该光源模块单元的曝光设备
公开(公告)号：KR1020180034048A
公开(公告)日：2018-04-04
申请号：KR1020160124076
申请日：2016-09-27
申请人： (주)블루코어
发明人： 조남직 , 인치억 , 박종원 , 송우리 , 정해일
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/20 , G03F7/70008 , G03F7/2004 , G03F7/201 , G03F7/70241 , G03F7/70275
摘要： 본발명은노광용광원모듈유닛을개시한다. 본발명에의한노광용광원모듈유닛은, 다수의자외선발광소자가어레이구조로이루어진광원패널과, 발광소자의광출사측에배치되는투광패널에일체형어레이배열구조로집적화된복수의단위집광렌즈가단위발광소자에각각대응되는위치에서주광축에대해자외선발광소자어레이의중심을지나는임의의기준중심축선측으로편심된상태의매트릭스형태의어레이구조로이루어진광학패널을포함하며, 단위집광렌즈는광 입사면이평면과, (-)0.15 이내의곡률(R)을가지는오목면및 (+)0.15 이내의곡률(R)을가지는볼록면중에서선택된어느하나의형태로형성되는동시에광 출사면은볼록렌즈로형성되고, 외선발광소자와단위집광렌즈의이격거리(C1))는집광렌즈의직경(d)에대하여 C1/d
摘要翻译：本发明公开了一种曝光用光源模块单元。根据本发明的曝光光源模块的单元是多个紫外线发光装置的在光源面板，所述多个单位聚光透镜的集成为在设置在由单元阵列结构的发光装置的光出射侧的透光性板的单件阵列布置在包括发光装置中的每个相应的位置上：在朝向穿过紫外线发光相对于主光轴的元件阵列的中心轴线的偏心状态的形式，包括任何的矩阵的基准中心阵列结构的光学面板，所述单元聚光用透镜是与光入射面并且具有（ - ）不大于0.15的曲率R和小于（+）0.15的曲率（R）的凹面的凸面，并且光出射面形成为凸透镜并且外部发光元件和单元聚光透镜之间的距离C1）被设置为相对于聚光透镜的直径d满足C1 / d <0.5的值。根据该结构，可以有效地集中在从紫外线发光装置可以实现光量的最大化的各单元发射的曝光装置的漫射光的光接收区域，由于低功耗，并且特别地，高效率，单个波长，高输出时，短波长的紫外线可以确保能够使曝光图案小型化并显着提高分辨率的曝光性能，并且为常规曝光设备的光源提供实用且经济的替代方案。

3. 发明授权

KR101649129B1 노광용 광원모듈 유닛 및 그 광원모듈 유닛이 구비된 노광장치 有权
标题翻译：紫外线LED光源模块单元，用于曝光光刻工艺和曝光光刻机设备
公开(公告)号：KR101649129B1
公开(公告)日：2016-08-18
申请号：KR1020150118085
申请日：2015-08-21
申请人： (주)블루코어
发明人： 조남직 , 인치억 , 박종원 , 송우리 , 정해일
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
摘要： 본발명은다수의단위자외선발광소자(UV LED)가회로기판상에매트릭스형태의어레이구조로실장되어이루어진광원패널과, 그광원패널과대면하도록상기발광소자의광출사측에배치되는광학패널에다수의단위집광렌즈가상기발광소자에각각대응되는위치에서주광축에대해상기광원패널상에있는자외선발광소자어레이의중심을지나는임의의기준중심축선측으로편심된상태의매트릭스형태의어레이구조로구성되어이루어진광학패널로구성된중심광원부와상기중심광원부의단위자외선발광소자의주광출사축을향하도록경사진상태로방사상으로균등하게배치된복수의주변광원부로이루어진모듈의조합에의해광 출력파워의극대화를통한저소비전력과특히, 고효율, 고출력의단일파장, 단파장의자외선광을구현함으로서노광패턴의미세화와해상도를획기적으로향상시킬수 있는노광성능을확보할수 있는동시에기존노광장치의광원을경제적으로대체할수 있도록개량한집약형노광용광원모듈유닛및 그광원모듈유닛이구비된노광장치를제공한다.
摘要翻译：本发明提供了一种用于曝光的集成光源模块单元，所述光源模块单元包括：中央光源单元，包括光源面板，多个单位紫外发光二极管（UV LED）以阵列方式安装在所述光源面板中电路板上的矩阵的形式，以及配置在发光二极管的发光侧面对光源面板的光学面板，具有多个单位聚光透镜，阵列形式的矩阵，其相对于主光轴从分别对应于每个发光二极管的位置偏向通过光源面板上的UV LED阵列的中心的任意参考轴; 以及在中央光源单元中径向和倾斜均匀地设置成与所述单元UV LED的主发光轴相对的多个周边光源单元。通过模块的组合，光源模块单元可以通过最大化光功率实现低功耗，并实现具有高效率和光功率的单波长紫外光。因此，可以在经济上更换现有的曝光装置的光源的同时实现能够显着地改善曝光图案的小型化和分辨率的曝光性能。

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