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1. 发明公开

KR20200125451A 유압 구동 시스템, 게이트 밸브 审中-公开
公开(公告)号：KR20200125451A
公开(公告)日：2020-11-04
申请号：KR20200043170
申请日：2020-04-09
申请人： ULVAC INC
发明人： ISHIDA TOMOYA , INOUE HIDEAKI , WADA SHINICHI , SAKODA SEIYA , TOKUHIRA SHINNOSUKE , ENDO JIROU , SUZUKI MIKIYA , TERUI TAKAAKI , WADE TAKUYA , TSURU SHUNSUKE
IPC分类号： F15B13/042 , F15B15/06 , F16K31/04 , F16K31/12
摘要： 본발명의유압구동시스템은, 진공분위기로되는챔버내에서대상물을압압가능하게신축하는진공액추에이터와, 유압구동부와, 구동부를가지는유압구동시스템이다. 진공액추에이터는, 대상물을향해신축가능한신축로드와, 신축로드를대상물에서이간하는방향으로부세하는부세부재를가진다. 진공액추에이터는, 유압구동부로부터공급된작동유압에의해부세부재의부세력보다큰 구동력을발생하여신축로드를구동시킨다. 구동부에는, 유압부세부재의부세력에의해신축로드가대상물에근접하는방향으로이동했을때에, 모터의역전에대응하여유압의상승을억제하는유압억제부가설치되어있다.

2. 发明公开

KR20180056746A 산화물 소결체 스퍼터링 타겟 및 그 제조 방법 审中-公开
公开(公告)号：KR20180056746A
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：KR20187011437
申请日：2016-12-21
申请人： ULVAC INC
发明人： TAKAHASHI KAZUTOSHI , HIDAKA KOJI , KAWAGOE YUU , TAKESUE KENTAROU , WADA MASARU , UENO MITSURU , KIYOTA JUNYA , KOBAYASHI MOTOSHI , TAKEI MASAKI
IPC分类号： C23C14/34 , C04B35/01 , H01J37/34
CPC分类号： C04B35/01 , C23C14/34
摘要： 본발명의일 형태에따른산화물소결체스퍼터링타겟은, 산화인듐, 산화아연, 산화티탄, 및산화지르코늄을포함하는소결체로구성되고, 인듐, 아연및 티탄의총합에대한티타늄의원자비는 0.1% 이상 20% 이하이며, 산화인듐, 산화아연, 산화티탄및 산화지르코늄의총합에대한지르코늄의중량비는 10ppm 이상 2000ppm 이하이다.

3. 发明公开

KR20100091913A Film forming method, panel producing apparatus and anneal apparatus 审中-公开
标题翻译：薄膜成型方法，面板生产设备和退火设备
公开(公告)号：KR20100091913A
公开(公告)日：2010-08-19
申请号：KR20100012079
申请日：2010-02-09
申请人： ULVAC INC
发明人： IIJIMA EIICHI , KURAUCHI TOSHIHARU , HAKOMORI MUNETO
IPC分类号： H01J9/20 , C23C14/58 , H01J9/02 , H01J11/00 , H01J11/02 , H01J11/22 , H01J11/34 , H01J11/40
CPC分类号： H01J11/40 , C23C14/5806 , H01J9/02 , H01J9/20 , H01J11/22 , H01J11/34
摘要： PURPOSE: By forming the MgO film into the pass phase deposition on the deposition objects it compares the edge portion of the forefront 1 side and right angle of the deposition objects 2 side to the center of 2 side area and the depositing method, the panel manufacture apparatus, and the annealing device are annealing-processed to the high temperature. CONSTITUTION: A substrate(10) is carried 1 side to the front among the vacuum atmosphere. It is met with the evaporation source in which substrate emits the steam vapor of the plasma display protective film. The MgO film is formed in the surface of substrate by reaching the steam vapor of the protective film. Sides have the crystal orientation intensity lowing in comparison with center between both sides as if the front and right angle of substrate.
摘要翻译：目的：通过将MgO膜形成到沉积物上的通过相沉积中，将沉积物体2侧的前沿1侧边缘部分和直角与2侧区域的中心和沉积方法进行比较，面板制造装置，退火装置进行退火处理至高温。构成：在真空气氛中将基板（10）携带在前面一侧。满足等离子体显示保护膜的蒸发源，其中衬底发射等离子体显示保护膜的蒸汽蒸气。通过到达保护膜的蒸气蒸气，在基板的表面形成MgO膜。与双面中心相比，侧面的晶体取向强度降低，如同基板的正面和直角一样。

4. 发明公开

KR20200139792A 진공 가열 장치, 리플렉터 장치 审中-公开
公开(公告)号：KR20200139792A
公开(公告)日：2020-12-14
申请号：KR20207031982
申请日：2019-08-26
申请人： ULVAC INC
发明人： SAKAUE HIROTOSHI , OONO TETSUHIRO
IPC分类号： F27B17/00 , F27D7/06 , F27D11/02 , H01L21/26
摘要： 열연신에의한손상이발생하지않는리플렉터장치를갖는진공가열장치를제공한다. 행렬배치된복수개의단위반사판 (31) 을, 고정장치 (21) 와유지장치 (11a ∼ 11d) 에의해진공조 (17) 의장착면 (19) 에각각장착한다. 각단위반사판 (31) 에적외선이조사되면, 유지장치 (11a ∼ 11d) 의변형부 (64) 의변형을수반하여, 각단위반사판 (31) 은고정장치 (21) 의설치장소를중심으로하여열 연신한다. 열연신에의해각 단위반사판 (31) 에인가되는힘은완화되고, 각단위반사판 (31) 이장착면 (19) 에장착된지점의손상은방지된다.

5. 发明公开

KR20200135136A 게이트 밸브 审中-公开
公开(公告)号：KR20200135136A
公开(公告)日：2020-12-02
申请号：KR20197030282
申请日：2019-03-20
申请人： ULVAC INC
发明人： WADA SHINICHI , INOUE HIDEAKI , SHIBAYAMA KOUJI , WADE TAKUYA , FURUSE HARUKUNI
IPC分类号： F16K3/10 , F16H19/04 , F16K3/18 , F16K31/122 , F16K31/54 , F16K51/02
摘要： 본발명의게이트밸브는, 중공부와, 상기중공부를사이에두고서로대향하도록설치되어연통하는유로가되는제1 개구부및 제2 개구부를갖는밸브박스와, 상기밸브박스의상기중공부내에배치되어상기제1 개구부를막음가능한중립밸브체와, 상기중립밸브체를상기제1 개구부에대해서막음상태로하는밸브막음위치와, 상기중립밸브체를상기제1 개구부로부터퇴피한개방상태로하는밸브개방위치사이에서, 상기중립밸브체를회동시키는회전축과, 상기회전축을회전시키는락 피니언및 상기락 피니언을구동하는회전에어실린더로이루어지는회전장치와, 상기중립밸브체의막음을해제하는동작을실시하는막음해제에어실린더로이루어지는막음해제구동부와, 상기중립밸브체의막음을해제하는동작과상기중립밸브체의회전동작을순차적으로동작가능하게하는시퀀스회로를갖는다. 상기회전에어실린더는, 상기중립밸브체를닫음동작시키는부세부와, 개폐동작가능한피스톤과, 상기피스톤의동작방향으로직렬로배치되어상기피스톤을닫음동작가능한제1 압력공간과열림동작가능한제2 압력공간을갖는다. 상기시퀀스회로는, 에어오퍼레이트식 2 채널스풀밸브와, 체크밸브및 유량조정밸브가조합된스피드컨트롤밸브를갖는다. 상기시퀀스회로는, 1 계통의구동압축공기공급에의한상기게이트밸브의오픈시에는, 상기제1 압력공간에압축공기를댐퍼용에어로서공급하고, 상기막음해제에어실린더의구동이종료했을때에, 상기제1 압력공간을비가압상태로하고, 상기제2 압력공간을가압상태로서, 상기회전에어실린더의열림동작을개시시키고, 상기밸브개방위치에상기중립밸브체가도달하기직전에상기제1 압력공간의에어에의해서충격을완화하고, 상기구동압축공기공급을해제하는것에의한상기게이트밸브의클로즈시에는, 상기제1 압력공간및 상기제2 압력공간을비가압상태로서, 상기부세부의부세력에의해서상기회전에어실린더의닫음동작을개시시키고, 상기밸브막음위치에상기중립밸브체가도달하기직전에상기제2 압력공간의댐퍼용에어에의해서충격을완화하고, 상기중립밸브체의회전동작이종료할때에, 상기막음해제에어실린더에의한상기중립밸브체의막음동작을개시시킨다.

6. 发明公开

KR20200132964A 성막 방법 审中-公开
公开(公告)号：KR20200132964A
公开(公告)日：2020-11-25
申请号：KR20207029821
申请日：2019-01-29
申请人： ULVAC INC
发明人： MIZUNO TAIHEI , ISOBE TATSUNORI
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/08 , C23C14/34
摘要： 기판표면에산화인듐계산화물막을성막할 때에기판의 X축방향에서의막질이불균일해지는것을억제할수 있도록한 성막방법을제공한다. 본발명의성막방법은기판(Sw) 면내에서서로직교하는방향을 X축방향및 Y축방향으로하고, 진공처리실(11) 내에기판과이 기판보다 X축방향길이가긴 타겟(Tg1 ~ Tg8)을서로동심으로대향배치하며, 진공분위기의진공처리실내에희가스와산소가스를각각도입하고, 각타겟에전력투입하여플라스마분위기의희가스이온으로표적을스퍼터링함으로써기판표면에산화인듐계산화물막을성막한다. 타겟측에서기판으로향하는방향을위로하여, X축방향에서기판단영역 (Sa) 직하의제 1 위치및 X축방향에서기판단(Se)으로부터타겟단을향해신장되는연장영역(Ea) 직하의제 2 위치중 적어도한쪽으로부터기판을향해산소가스를도입한다.

7. 发明公开

KR20200125490A 유압구동 시스템, 게이트 밸브 审中-公开
公开(公告)号：KR20200125490A
公开(公告)日：2020-11-04
申请号：KR20200048781
申请日：2020-04-22
申请人： ULVAC INC
发明人： TOKUHIRA SHINNOSUKE , INOUE HIDEAKI , SHIBAYAMA KOUJI , WADE TAKUYA , FURUSE HARUKUNI , ENDO JIROU , SUZUKI MIKIYA , WADA SHINICHI , TERUI TAKAAKI , SAKODA SEIYA , ISHIDA TOMOYA
IPC分类号： F15B13/042 , F15B13/044 , F16K3/30 , F16K31/12 , F16K51/02 , H02K7/102 , H02K26/00
摘要： 본발명의유압구동시스템은진공분위기가되는챔버내에서대상물을누름가능하도록신축하는유압구동시스템이다. 유압구동시스템은진공액추에이터와유압구동부를가진다. 상기유압구동부는유압발생부와, 상기유압발생부를구동하는구동부와, 상기구동부에급전하는전원을구비한다. 상기유압구동부로부터고정부에공급된작동유압에의해신축로드를구동가능하게된다. 상기구동부에는유압바이어스부재의바이어스력에의해상기신축로드가상기대상물로부터이간하는방향으로이동했을때, 모터의역전상태에대응하는역전대응부가설치된다.

8. 发明公开

KR20180032638A 심자외 LED 및 그 제조 방법 审中-公开
标题翻译：外在LED及其制造方法
公开(公告)号：KR20180032638A
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：KR20187005503
申请日：2016-09-02
申请人： MARUBUN CO LTD , TOSHIBA MACHINE CO LTD , RIKEN , TOKYO OHKA KOGYO CO LTD , ULVAC INC
发明人： KASHIMA YUKIO , MATSUURA ERIKO , KOKUBO MITSUNORI , TASHIRO TAKAHARU , HIRAYAMA HIDEKI , KAMIMURA RYUICHIRO , OSADA YAMATO , MORITA TOSHIRO
IPC分类号： H01L33/58 , H01L33/00 , H01L33/06 , H01L33/10 , H01L33/40
CPC分类号： H01L33/00 , H01L33/10 , H01L33/32 , H01L33/36
摘要： 설계파장을λ로하는심자외 LED로서, 반사전극층과초박막금속층과 p형컨택트층을기판과는반대측으로부터이 순서로가지고, 상기 p형컨택트층측의상기기판이면에접합되는파장(λ)에대해투명한반구형렌즈를더 가지며, 상기반구형렌즈의굴절률은, 상기기판의굴절률과공기의굴절률의평균값이상상기기판의굴절률이내이고, 상기기판의내접원의반경이상외접원의반경정도의반경을갖는것을특징으로하는심자외 LED.
摘要翻译：作为将其它的LED的设计波长λ，它具有一个反射电极层和超薄金属层和所述p型接触层的相反侧eurobuteoyi为了将基板，透明的波长（λ）被结合到所述p型接触层侧的背面基板具有半球形透镜越多，半球形透镜的折射率不大于折射率的折射率和基片比所述基板的折射率的空气，其特征在于，与所述基片外接圆的内接圆的至少半径的径向范围的半径的平均值小于心脏外的LED。

9. 发明公开

KR20210007824A 진공챔버 및 기판 처리장치 审中-公开
公开(公告)号：KR20210007824A
公开(公告)日：2021-01-20
申请号：KR20200058798
申请日：2020-05-18
申请人： ULVAC INC
发明人： ETO KENJI , OKAYAMA SATOHIRO , KAMESAKI KOJI , ABE YOICHI
IPC分类号： H01L21/67 , B25J11/00 , H01L21/677 , H01L21/687
摘要： 본발명의진공챔버는기판의반송방향에서봤을때, 환형상의개구공간을가지는복수의블록체가상기반송방향을따라배치함으로써구성되고, 상기복수의블록체의상기개구공간이연통함으로써형성된내부공간의분위기를대기압분위기와진공분위기로전환가능한진공챔버로, 상기복수의블록체의하나인제1 블록체와, 상기복수의블록체의하나이며, 상기반송방향으로교차하는방향으로연장됨과동시에상기개구공간의내측하면에형성된홈을가지며, 씰부재를통해상기제1 블록체에접속고정된제2 블록체와, 상기홈이연재하는방향으로연장됨과동시에상기홈에감합된베이스부재와, 상기기판이접촉하는지지단과, 상기지지단과는반대측에위치하여상기베이스부재에고정되는고정단을가지며, 상기진공챔버의내부에서상기기판을지지하는복수의기판지지핀을가진다.

10. 发明公开

KR20200145703A 게이트 밸브 审中-公开
公开(公告)号：KR20200145703A
公开(公告)日：2020-12-30
申请号：KR20200071447
申请日：2020-06-12
申请人： ULVAC INC
发明人： TOKUHIRA SHINNOSUKE , INOUE HIDEAKI , SHIBAYAMA KOUJI , WADE TAKUYA , FURUSE HARUKUNI , ENDO JIROU , SUZUKI MIKIYA , WADA SHINICHI , TERUI TAKAAKI , ISHIDA TOMOYA , SAKODA SEIYA
IPC分类号： F16K3/18 , F16K3/06 , F16K31/12 , F16K31/528
摘要： 본발명의게이트밸브는, 제1 개구부및 제2 개구부를가지는밸브박스와, 상기밸브박스내의중공부내에위치하는밸브체와, 상기밸브체를지지하는회전축과, 상기밸브체를회전구동가능한회전구동부와, 상기회전축에상기밸브체를접속하는중립밸브부와, 상기밸브체에설치되는가동밸브틀부와, 상기중립밸브부와상기가동밸브틀부를접속하는밸브틀부세부와, 상기가동밸브틀부에대해판 접동씰부를통하여유로방향에위치이동가능하게상기밸브체에설치되는가동밸브판부와, 상기가동밸브틀부와상기가동밸브판부를접속하는밸브판부세부와, 상기가동밸브틀부를상기제1 개구부의주연에접촉하는밸브폐쇄위치를향해이동가능한밸브박스부세부와, 상기밸브박스부세부를구동하는구동부를구비한다. 상기밸브틀부세부는, 상기중립밸브부와상기가동밸브틀부중 일방에고정되는틀 가이드핀과, 상기중립밸브부와상기가동밸브틀부중 타방에설치되는관통구멍과, 상기틀 가이드핀에서의기초부의주위및 상기관통구멍의주위를상기유로방향의역방향으로부세하는틀 코일용수철을가진다.

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