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1. 发明公开

KR1020010104607A 반도체 디바이스의 외관 검사장치 및 그 검사방법 无效
标题翻译：用于检查半导体器件表面的器件和方法
公开(公告)号：KR1020010104607A
公开(公告)日：2001-11-26
申请号：KR1020000059820
申请日：2000-10-11
申请人： 주식회사 큐빅비젼
发明人： 강호달
IPC分类号： G01N21/01
CPC分类号： H01L22/30 , G01B11/06 , G01N21/01 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2201/068
摘要： 본 발명은 피검사물인 반도체 디바이스에 수직으로 조사되는 광 빔에 의하여 피검사물의 높이변화에 따라 다른 양으로 반사되는 광을 3차원 센서로 촬상하고 이 촬상 이미지의 그레이 레벨을 이용하여 피검사물의 높이를 환산하여 피검사물의 3차원적인 외형을 검사하는 반도체 디바이스의 외관 검사장치 및 그 검사방법에 관한 것이다. 본 발명의 검사장치는 피검사물인 반도체 디바이스의 상측에서 수직하게 광을 조사하는 조명수단과, 상기 반도체 디바이스의 상측에 배치되어 상기 반도체 디바이스에서 반사된 광을 촬상하는 촬상수단과, 상기 촬상수단에 의하여 촬상된 이미지를 저장하는 이미지저장수단과, 상기 이미지저장수단에 저장된 이미지의 그레이 레벨에 근거하여 상기 반도체 디바이스의 소정 부위의 높이를 산출하는 산출수단과, 상기 이미지저장수단에 저장된 이미지와 상기 산출수단에 의하여 산출된 결과데이터를 출력하는 출력수단과, 상기 각 수단을 제어하는 제어수단을 포함하여 구성된다.

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