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81. 发明公开

KR1020140140788A 관성센서 有权
标题翻译：惯性传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020140140788A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：KR1020130061601
申请日：2013-05-30
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 한승훈 , 양정승 , 이성준 , 임창현
IPC分类号： G01C19/56 , G01P15/09 , G01P15/14 , G01P3/44
CPC分类号： G01P15/123 , G01P15/0802 , G01P15/18 , Y10T29/42
摘要： 본 발명에 따른 관성센서는 가요부와, 상기 가요부에 연결된 질량체와, 상기 가요부에 연결되고 상기 질량체를 변위가능하도록 부유상태로 지지하는 지지부를 포함하고, 상기 가요부에는 상기 질량체의 변위를 검출하기 위해 상기 가요부의 일면부에 형성된 상부 압저항체와 타면부에 형성된 하부 압저항체를 포함한다.
摘要翻译：根据本发明的惯性传感器包括：柔性部件; 连接到柔性部件的重物体; 以及支撑部件，其连接到柔性部件并且以浮动状态支撑重物部件以移动。柔性部件包括一个表面上的上压阻体和另一表面上的下压阻体，以检测重量体的位移。

82. 发明授权

KR101454124B1 가속도 센서 有权
标题翻译：加速度传感器
公开(公告)号：KR101454124B1
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：KR1020130103026
申请日：2013-08-29
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 김종운 , 김태윤 , 임승모
IPC分类号： G01P15/09 , G01P15/125
CPC分类号： G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/0842
摘要： An acceleration sensor according to the embodiment of the present invention includes a mass body part, a flexible beam which has an electrode, or a piezoresistor and is combined with the mass body part, and a support part which supports the flexible beam. The mass body part, the flexible beam, and the support part are combined with a first substrate and a second substrate. A first masking pattern corresponding to the flexible beam, the mass body part, and the support is formed on one surface of the first substrate. A second masking pattern corresponding to the mass body part and the support part is formed on one surface of the second substrate.
摘要翻译：根据本发明的实施例的加速度传感器包括质量体部分，具有电极的柔性梁或压电电感器并与质量体部分组合，以及支撑柔性梁的支撑部分。质量体部分，柔性梁和支撑部分与第一基板和第二基板组合。在第一基板的一个表面上形成对应于柔性梁，质量体部分和支撑件的第一掩模图案。对应于质量体部分和支撑部分的第二掩模图案形成在第二基板的一个表面上。

83. 发明授权

KR101367049B1 가속도 센서 失效
标题翻译：加速传感器
公开(公告)号：KR101367049B1
公开(公告)日：2014-02-24
申请号：KR1020120151113
申请日：2012-12-21
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 이성준 , 임창현 , 양정승 , 한승훈
IPC分类号： G01P15/09 , G01P15/12
CPC分类号： G01P15/0922 , G01P15/123 , G01P15/18
摘要： According to one embodiment of the present invention, an acceleration sensor includes a flexible beam where a mass body and piezoelectric device comprising an X axis resistor element, an Y axis resistor element, and a Z axis resistor element are arranged, and connected to the mass body, and a support part connected to the flexible beam and supporting the flexible beam to float the mass body. The length of the Z axis resistor element adjacent to the mass body in one axis direction is shorter than that of the Z axis resistor element adjacent to the support part.
摘要翻译：根据本发明的一个实施例，加速度传感器包括柔性梁，其中布置了质量体和包括X轴电阻元件，Y轴电阻元件和Z轴电阻元件的压电器件，并且连接到质量块主体和连接到柔性梁的支撑部分并且支撑柔性梁以浮动质量体。 Z轴电阻元件在一个轴方向上与质量体相邻的长度短于与支撑部相邻的Z轴电阻元件的长度。

84. 发明公开

KR1020100037915A 기울기 또는 가속도 측정이 가능한 반도체 센서 및 그의 제조방법 有权
标题翻译：用于测量倾斜或加速度的半导体传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020100037915A
公开(公告)日：2010-04-12
申请号：KR1020080097259
申请日：2008-10-02
申请人： 경북대학교 산학협력단
发明人： 공성호 , 최주찬
IPC分类号： G01P15/08 , G01P15/09
CPC分类号： G01P15/0802 , G01P15/0897 , G01P15/18 , G01P2015/0868
摘要： PURPOSE: A semiconductor-sensor for measuring tilt or acceleration, and a manufacturing method thereof are provided to easily miniaturize by simplifying the configuration of a heating element and a temperature sensor. CONSTITUTION: An insulating layer(101) is formed with an insulating material. A heating element(110) is formed on the insulating layer. The temperature sensor(120) is formed on the top surface of the insulating layer. The temperature sensor is separated from the heating element. A cover houses the insulating layer, the heating element, and the temperature sensor. The heating element heats the air. The temperature sensor senses the temperature of the peripheral area.
摘要翻译：目的：提供一种用于测量倾斜或加速度的半导体传感器及其制造方法，通过简化加热元件和温度传感器的构造来容易地小型化。构成：绝缘层（101）由绝缘材料形成。在绝缘层上形成加热元件（110）。温度传感器（120）形成在绝缘层的顶表面上。温度传感器与加热元件分离。盖子容纳绝缘层，加热元件和温度传感器。加热元件加热空气。温度传感器检测周边区域的温度。

85. 发明授权

KR100832185B1 압전 장치 및 전자기기 有权
标题翻译：压电器件和电子设备
公开(公告)号：KR100832185B1
公开(公告)日：2008-05-23
申请号：KR1020060009437
申请日：2006-01-31
申请人： 세이코 엡슨 가부시키가이샤
发明人： 이마무라미네히로 , 미즈노신지
IPC分类号： H01L41/053 , G01P15/09 , H01L41/113
CPC分类号： G01P15/18 , G01C19/56 , G01P1/023 , G01P15/097
摘要： 본 발명은 소정의 검출 방향을 갖는 압전 소자를 각각의 내부에 갖는 복수의 패키지를 구비한 압전 장치로서, 상기 복수의 패키지는 상기 각 압전 소자의 상기 검출 방향이 서로 교차하도록 서로 연결되어 있다.

86. 发明授权

KR100829165B1 3축 ＭＥＭＳ 가속도 센서 失效
标题翻译：用于测量三轴加速度的MEMS设备
公开(公告)号：KR100829165B1
公开(公告)日：2008-05-13
申请号：KR1020070013749
申请日：2007-02-09
申请人： 주식회사 한국센시스
发明人： 문일권 , 정대화 , 정윤희
IPC分类号： G01P15/09
CPC分类号： G01P15/18 , G01P15/0897 , B81B2201/0235 , G01K7/023
摘要： A 3-axis MEMS(Micro Electro Mechanical System) acceleration sensor is provided to measure an acceleration in a space without measuring an external pressure or a temperature by compensating for a variation in a fluid pressure. First to fourth heating points(71,72,73,74), first to fourth thermal-electric pairs(30,40,50,60), and a first cavity(22) are formed on a first substrate(20). The thermal-electric pair has a thermal-electric pair junction which is contacted with the heating point to measure temperatures of the respective heating points. A fifth heating point, a fifth thermal-electric pair, and a second cavity are formed on a second substrate(120). The fifth thermal-electric pair has a thermal-electric pair junction, which is contacted with the fifth heating point. The first and second heating points are arranged to be apart from each other along a first axis line. The third and fourth heating points are arranged to be apart from each other along a second axis line, which is normal to the first axis line. The fifth and first heating points are arranged to be apart from each other along a third axis line, which is normal to the first and second substrates. A first axis acceleration is measured by using a temperature difference between the first and second heating points. A second axis acceleration is measured by using a temperature difference between the third and fourth heating points. A third axis acceleration is measured by using a temperature difference between the fifth and first heating points.
摘要翻译：提供3轴MEMS（微机电系统）加速度传感器，用于通过补偿流体压力的变化来测量空间中的加速度而不测量外部压力或温度。在第一基板（20）上形成有第一至第四加热点（71,72,73,74），第一至第四热电对（30,40,50,60）和第一空腔（22）。热电对具有与加热点接触的热电对结，以测量各个加热点的温度。在第二基板（120）上形成第五加热点，第五热电对和第二空腔。第五热电对具有热电对结，其与第五加热点接触。第一和第二加热点被布置成沿第一轴线彼此分开。第三和第四加热点被布置成沿着与第一轴线垂直的第二轴线彼此分开。第五和第一加热点被布置成沿着与第一和第二基板垂直的第三轴线彼此分开。通过使用第一和第二加热点之间的温度差来测量第一轴加速度。通过使用第三和第四加热点之间的温度差来测量第二轴加速度。通过使用第五和第一加热点之间的温度差来测量第三轴加速度。

87. 发明授权

KR100822775B1 가속도 센서 및 그것을 이용한 자기 디스크 장치 有权
标题翻译：加速传感器和使用该加速度传感器的磁性装置
公开(公告)号：KR100822775B1
公开(公告)日：2008-04-17
申请号：KR1020060057887
申请日：2006-06-27
申请人： 쿄세라 코포레이션
发明人： 쿠와하타미치히코
IPC分类号： G01P15/09
CPC分类号： G01P15/0922 , G01P15/0891 , G01P15/097 , G11B19/04
摘要： 직육면체형상의압전기판(21, 22)의외측주면에도체막(26, 29)을배치해서이루어지는진동소자(2)와, 그일부를끼워지지하는제1지지부재(3a, 3b)를구비하며, 제1지지부재(3a, 3b)가탄성체로이루어지고, 진동소자의굴곡점이제1지지부재(3a, 3b)에의해끼워지지되어있는지지영역(91) 내에위치한다. 이것에의해압전기판(21, 22)에있어서의변형이생기는영역이커지고, 발생하는전하가증가해서, 출력전압이증대하여가속도의검출감도를높게할 수있다.

88. 发明公开

KR1020080007218A 가혹 환경용 코팅 부재 및 그를 이용한 센서 失效
标题翻译：使用相同的墨水环境和传感器涂漆
公开(公告)号：KR1020080007218A
公开(公告)日：2008-01-17
申请号：KR1020077018018
申请日：2006-04-20
申请人： 델라웨어 캐피털 포메이션 인코포레이티드
发明人： 제프리씨.앙드레 , 하스켈레이츨비 , 브래드쇼존에이치
IPC分类号： H01L29/84 , G01P15/09
摘要： A coating providing high abrasion and chemical resistance composed of a barrier layer (40) from vanadium, molybdenum, niobium, tantalum and the like, and an outer layer (50) of diamond-like carbon. The coating is especially applicable for acoustic wave device (AWD) based sensors, and for passivating an electrode such as an electrode (30) deposited on the AWD sensing area. The coating provides excellent mechanical and acoustical characteristics for acoustic wave devices allowing the sensor to operate in harsh environments.
摘要翻译：由钒，钼，铌，钽等的阻挡层（40）和类金刚石碳的外层（50）组成的具有高耐磨性和耐化学性的涂层。该涂层特别适用于基于声波装置（AWD）的传感器，以及用于钝化诸如沉积在AWD感测区域上的电极（30）的电极。该涂层为声波器件提供出色的机械和声学特性，使传感器能够在恶劣的环境中工作。

89. 发明公开

KR1020070075125A 날개관입식 탄성파속도 측정장치 및 그를 이용한 측정방법 有权
标题翻译：用于表面特征的WING STYLE弹性波测量装置及其方法
公开(公告)号：KR1020070075125A
公开(公告)日：2007-07-18
申请号：KR1020060003535
申请日：2006-01-12
申请人： 고려대학교 산학협력단
发明人： 이종섭
IPC分类号： G01P15/09 , G01H5/00
CPC分类号： G01P15/0907 , G01H5/00 , G01M7/08 , G01N29/2431
摘要： An elastic wave velocity measurement device of a wing penetration type and a measurement method using the same are provided to measure an elastic wave even during penetration, without stopping a penetration test. An elastic wave velocity measurement device(100) of a wing penetration type is composed of a cylindrical rod(10) connected with a front end of an intrusion rod inserted into a bored hole; plural pairs of wing members(20) combined to the outer surface of the rod in a vertical direction; and plural pairs of piezoelectric elements(30) installed at the tips of each pair of the wing members facing each other. The cylindrical rod has the same diameter of the front end of the intrusion rod and connecting units formed at the upper and lower ends to join with the front end of the intrusion rod.
摘要翻译：提供了一种翼型穿透型的弹性波速度测量装置及其测量方法，以便在穿透期间测量弹性波而不停止穿透测试。弹性波速度测量装置（100）由与插入钻孔中的入侵杆的前端连接的圆柱杆（10）组成; 多个翼构件（20）在垂直方向上组合到杆的外表面; 以及多对压电元件（30），其安装在每对翼构件的彼此面对的顶端处。圆柱杆的入口杆的前端的直径与形成在上端和下端的连接单元与入口杆的前端相连。

90. 发明授权

KR100656698B1 반도체형 가속도 센서 失效
标题翻译：半导体加速度传感器
公开(公告)号：KR100656698B1
公开(公告)日：2006-12-14
申请号：KR1020050089124
申请日：2005-09-26
申请人： 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤
发明人： 이케다요시오 , 호소다마사유키 , 사카구치이사오 , 사이토마사카츠
IPC分类号： G01P15/09
CPC分类号： G01P15/18 , G01P15/0802 , G01P15/123
摘要： 본 발명은 X, Y, Z축의 가속도 검출 감도의 차가 작고, 검출 감도가 큰 반도체형 가속도 센서를 개시한다. 이 가속도 센서는 중앙에 질량부와, 그것을 둘러싸고 있는 지지 프레임과, 그들의 사이를 접속하고 있는 복수개의 가요성 암(flexible arm)을 갖고, 각 가요성 암은 양단에 폭 광역부와 그 사이에 폭 협소부를 가진다. 압전 저항소자가 가요성 암의 폭 광역부 상면 영역 내에 한정적으로 설치되어 있고, 금속배선과 압전 저항소자를 접속하고 있는 관통 홀이 질량부/지지 프레임 상에 있다. 복수의 가요성 암이 서로 질량부 중앙에 관해서 대칭으로 되어 있고, 각 가요성 암이 그 중심선에 관해서 대칭으로 되어 있다.
가속도 센서, 질량부, 지지 프레임, 가요성 암, 압전 저항소자

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