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1. 发明授权

KR101922881B1 체적 음향 공진기 有权
公开(公告)号：KR101922881B1
公开(公告)日：2018-11-29
申请号：KR1020170062807
申请日：2017-05-22
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 한원 , 김대호 , 김용석 , 한승훈 , 이문철 , 임창현 , 이성준 , 윤상기 , 김태윤 , 손상욱
IPC分类号： H03H9/17 , H03H9/15 , H03H9/54
摘要： 기판과함께캐비티를형성하는멤브레인층과, 상기멤브레인층상에배치되는하부전극과, 상기하부전극의평탄면상에배치되는압전체층및 상기압전체층의적어도일부를덮도록형성되며상기압전체층의측면이외기로노출되도록형성되는상부전극을포함하며, 상기압전체층은측면으로부터연장형성되며상기하부전극의평탄면상에배치되는단차부를구비하는체적음향공진기가개시된다.

2. 发明公开

KR1020160125770A 센서 소자 및 그 제조 방법 审中-实审
标题翻译：传感器元件及其制造方法
公开(公告)号：KR1020160125770A
公开(公告)日：2016-11-01
申请号：KR1020150056660
申请日：2015-04-22
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 임창현 , 김태윤 , 이성준 , 정대훈 , 이태훈
IPC分类号： G01P15/03 , B81B7/02 , B81B7/00 , B81B3/00
摘要： 본발명은질량체가파손되는것을최소화할수 있는센서소자및 그제조방법에관한것이다. 이를위한본 발명의실시예에따른센서소자는, 프레임, 상기프레임의내부에배치되는질량체, 상기프레임과상기질량체를연결하는연결부, 및상기질량체에서상기프레임의내벽을향해돌출되어형성되는하나의스토퍼를포함할수 있다.
摘要翻译：传感器元件及其制造方法技术领域本发明涉及一种能够使质量体损坏最小化的传感器元件及其制造方法。根据本发明实施例的传感器元件包括框架，设置在框架内部的质量块，连接框架和质量体的连接部以及从质量体朝向框架的内壁突出的传感器部。它可以包括一个塞子。

3. 发明公开

KR1020160096483A 각속도 센서 有权
标题翻译：角速度传感器
公开(公告)号：KR1020160096483A
公开(公告)日：2016-08-16
申请号：KR1020150018213
申请日：2015-02-05
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 김종운 , 한원 , 김태윤
IPC分类号： G01P3/02
CPC分类号： G01C19/5712 , G01P3/02
摘要： 본발명의일실시예에따른각속도센서는질량체와, 상기질량체의외측에구비된제1 프레임과, 상기질량체와상기제1 프레임을연결하는제1 가요부와, 상기질량체와상기제1 프레임을연결하는제2 가요부와, 상기제1 프레임의외측에구비된제2 프레임과, 상기제1 프레임과상기제2 프레임을연결하는제3 가요부과, 상기제1 프레임과상기제2 프레임을연결하는제4 가요부를포함하고, 상기질량체는회전및 병진변위가가능하도록상기제2 가요부에의해상기제1 프레임에고정되고, 상기제1 프레임은회전변위가능하도록상기제4 가요부에의해제2 프레임에연결된다.
摘要翻译：本发明提供了一种角速度传感器，其中能够检测单轴至三轴角速度，角速度传感器能够被小型化，能够去除机械和电气噪声，功耗可以是减少了，并且能够简化包装。根据本发明的实施例，角速度传感器包括：质量体; 布置在质量体外的第一框架; 第一柔性部分，用于将质量体连接到第一框架; 第二柔性部分，用于将质量体连接到第一框架; 布置在第一框架外部的第二框架; 将第一框架连接到第二框架的第三柔性部件; 以及将第一框架连接到第二框架的第四柔性部件，其中质量体通过第二柔性部件固定到第一框架以能够旋转和平移位移，并且第一框架通过第二框架连接到第二框架第四个柔性部分能够旋转位移。

4. 发明公开

KR1020160028825A 가속도 센서 및 가속도 센서의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：声学谐振器的声学谐振器和制造方法
公开(公告)号：KR1020160028825A
公开(公告)日：2016-03-14
申请号：KR1020140117868
申请日：2014-09-04
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 김태윤 , 한승훈 , 임창현
IPC分类号： G01P1/00 , G01P15/00
CPC分类号： G01P15/123 , B81B2203/0145 , G01P2015/0842
摘要： 본발명의일 실시예에따른가속도센서는압저항소자가구비되는복수의빔의외부면, 상기복수의빔에연결된질량체의상부및 상기지지체의상부를보호층으로감싸외부환경으로부터전기적인외란이상기압저항소자에전달되는것을방지할수 있다.
摘要翻译：根据本发明的实施例，加速度传感器覆盖多个梁的外表面，连接到多个梁的质量的上部，以及保护层的支撑件的上部; 从而防止电扰动从外部环境传递到压电装置。

5. 发明公开

KR1020150090629A 다기능 MEMS 센서 审中-实审
标题翻译：加速传感器
公开(公告)号：KR1020150090629A
公开(公告)日：2015-08-06
申请号：KR1020140011519
申请日：2014-01-29
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 김종운 , 임창현 , 이준규 , 한승훈 , 김태윤 , 송종형
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/02 , G01C19/56 , H01L29/84
CPC分类号： B81B3/0018 , B81B7/02 , G01C19/5621 , H01L29/84
摘要： 본발명의일실시예에따른다기능 MEMS 센서는질량체와, 상기질량체에결합된가요성빔과, 상기가요성빔이연결되고상기질량체를부상가능하도록지지하는지지부를포함하는제1 센싱부및 상기질량체에대향되도록상기지지부에결합된완충빔부와, 상기완충빔부에결합된변형검출부를포함한다.
摘要翻译：根据本发明的一个实施例，多功能MEMS传感器包括：第一感测单元，具有质量并且具有耦合到所述质量块的柔性梁，并具有支撑单元，其中所述柔性梁被连接并支撑待浮动的质量块; 以及变形检测单元，耦合到缓冲梁单元，该缓冲梁单元联接到所述支撑单元以面对所述质量。

6. 发明公开

KR1020100136179A 액적 리시버 및 액적 수용 방법 有权
标题翻译： DROPLET接收器和接收DROPLETS的方法
公开(公告)号：KR1020100136179A
公开(公告)日：2010-12-28
申请号：KR1020090054403
申请日：2009-06-18
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 김상진 , 김태윤 , 조영호 , 오용수 , 구보성 , 강성구
IPC分类号： B41J2/17 , B41J2/175
CPC分类号： B01L3/50853 , B01L3/0268 , B01L3/502715 , B01L2200/0642 , B01L2200/0673 , B01L2200/141 , B01L2200/142 , B01L2300/12
摘要： PURPOSE: A droplet receiver and a droplet receiving process are provided to prevent the exterior pollution and evaporation droplet in a droplet receiving unit by the formation of an isolating fluid layer. CONSTITUTION: A droplet receiver comprises a partition structure(100), an isolating fluid layer(300), and a droplet receiving unit(500). The partition structure comprises an internal space and an input unit. The internal space accepts droplet(600). The input unit opens an internal space. The droplet receiving unit is formed of the internal space and the isolating fluid layer. The droplet receiving unit is isolated from the outside by the isolating fluid layer.
摘要翻译：目的：提供液滴接收器和液滴接收过程，以通过形成隔离流体层来防止液滴接收单元中的外部污染和蒸发液滴。构成：液滴接收器包括分隔结构（100），隔离流体层（300）和液滴接收单元（500）。分隔结构包括内部空间和输入单元。内部空间接受液滴（600）。输入单元打开内部空间。液滴接收单元由内部空间和隔离流体层形成。液滴接收单元通过隔离流体层与外部隔离。

7. 发明授权

KR102248528B1 음향 공진기 및 그 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102248528B1
公开(公告)日：2021-05-06
申请号：KR1020190080121
申请日：2019-07-03
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 이태경 , 김태윤 , 이문철 , 임창현 , 정대훈 , 이화선 , 윤상기 , 한원 , 김종운
IPC分类号： H03H9/17 , H03H3/02 , H03H9/02
摘要： 본발명의실시예에따른음향공진기는, 기판및 상기기판상에제1 전극, 압전층, 제2 전극이순차적으로적층된중앙부와, 상기중앙부의둘레를따라배치되는확장부로구성되는공진부를포함하며, 상기확장부에서상기압전층하부에는삽입층이배치되고, 상기압전층은, 상기중앙부내에배치되는압전부및 상기확장부내에배치되고상기삽입층의형상을따라상기압전부에서연장되는굴곡부를포함하며, 상기굴곡부는상기삽입층의형상을따라경사지게형성되는경사부를포함하고, 상기제2 전극의끝단은상기경사부상에배치될수 있다.

8. 发明授权

KR102248524B1 체적 음향 공진기 및 이를 구비하는 필터 有权
公开(公告)号：KR102248524B1
公开(公告)日：2021-05-06
申请号：KR1020200112430
申请日：2020-09-03
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 이태경 , 한원 , 김태윤 , 김대호 , 이문철 , 이태훈 , 임창현 , 윤상기 , 김종운
IPC分类号： H03H9/25 , H03H9/02
摘要： 기판보호층이상면에형성되는기판및 상기기판과함께캐비티를형성하는멤브레인층을포함하며, 상기기판보호층과상기멤브레인층은중 적어도하나는질화알루미늄(AlN) 재질로이루어지며, 상기기판보호층과상기멤브레인층중 적어도하나는서로다른두 부분에서의두께차이가 170Å이하인체적음향공진기가개시된다.

9. 发明授权

KR102052829B1 음향 공진기 및 이를 포함하는 음향 공진기 필터 有权
公开(公告)号：KR102052829B1
公开(公告)日：2019-12-09
申请号：KR1020180068717
申请日：2018-06-15
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 이태경 , 김태윤 , 김종운 , 이문철 , 강용진 , 이남정
IPC分类号： H03H9/17 , H03H9/54

10. 发明授权

KR102052795B1 음향 공진기 有权
公开(公告)号：KR102052795B1
公开(公告)日：2019-12-09
申请号：KR1020170036738
申请日：2017-03-23
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 이태경 , 김태윤 , 윤상기 , 임창현 , 김종운 , 이문철
IPC分类号： H03H9/05 , H03H9/17

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