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热词
    • 87. 发明公开
    • 회로 모듈의 제조 방법 및 성막 장치
    • 电路模块的制造方法和膜形成装置
    • KR20180007662A
    • 2018-01-23
    • KR20170067434
    • 2017-05-31
    • H01L23/485H01L21/285H01L23/00
    • (과제) 회로모듈에실드가되는금속막을고정밀도로형성한다. (해결수단) 실장면(10a), 윗면(10b) 및측면(10c)을갖는회로모듈(10)에실드가되는금속막(18)을형성하는회로모듈(10)의제조방법으로서, 회로모듈(10)의실장면(10a)에피복재층(25)을형성하는피복재층형성공정과, 점착부(22)를갖는홀더(21)의점착부(22)에, 회로모듈(10)에형성된피복재층(25)을접촉하고, 윗면(10b) 및측면(10c)을노출시킨상태에서회로모듈(10)을유지하는유지공정과, 회로모듈(10)의윗면(10b)측으로부터성막을행함으로써윗면(10b) 및측면(10c)에금속막(18)을형성하는금속막형성공정과, 회로모듈(10)로부터피복재층(25)을분리하는분리공정을포함한다.
    • 高精度地在电路模块上形成要被屏蔽的金属膜。 一种电路模块(10)的制造方法,用于在电路模块(10)上形成屏蔽金属膜(18),该电路模块具有安装表面(10a),顶表面(10b)和侧表面 覆盖材料层形成步骤,形成电路模块10的起居室10a的覆盖材料层25和覆盖材料层形成步骤 在层25与电路模块10的上表面10b和上表面10b接触的同时,保持电路模块10处于其中上表面10b和侧表面10c被暴露的状态下的保持步骤, 用于在上表面10b和侧表面10c上形成金属膜18的金属膜形成工艺以及用于将覆盖材料层25从电路模块10分离的分离工艺。
    • 89. 发明公开
    • 결정 방법, 형성 방법, 물품의 제조 방법 및 기억 매체
    • 晶体法,形成方法,制品制造方法和存储介质
    • KR1020170136444A
    • 2017-12-11
    • KR1020170067382
    • 2017-05-31
    • 캐논 가부시끼가이샤
    • 스미요시유헤이
    • H01L21/768H01L23/13H01L21/027H01L23/485
    • 제1 패턴요소가각각형성된복수의영역을갖는제1 층위의제2 층에, 제2 패턴요소를상기복수의영역의각각에대해서형성할때의오프셋값을결정하는결정방법은, 상기제2 층위에설치되어야할 제3 층에는제3 패턴요소가상기복수의영역에일괄해서형성되고, 상기결정방법은, 상기복수의영역의각각에있어서의상기제1 패턴요소의위치를나타내는제1 층정보를얻는제1 공정과, 상기제1 층정보에기초하여, 상기제3 층에형성해야할 상기제3 패턴요소의위치를나타내는제3 층정보를구하는제2 공정과, 상기제1 층정보및 상기제3 층정보에기초하여, 상기제2 패턴요소가, 상기제1 패턴요소와상기제3 패턴요소에각각중첩되도록상기오프셋값을결정하는제3 공정을포함한다.
    • 第一到具有多个区域的第一层的第二层,所述图案元件分别形成,在形成的时间来确定的偏移值,对于每一个的确定方法,所述多个第二图案元件的区域,其中所述第二 要在所述多个中,决策方法的区域共同形成的层上提供第三层,第三图案元件,所述第一层表示所述第一图案单元中的每个所述多个区域中的位置 第二步骤,基于第一层信息获得指示要形成在第三层上的第三图案元素的位置的第三层信息; 以及第三步骤,基于第三层信息确定偏移值,使得第二图案元素分别与第一图案元素和第三图案元素重叠。