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71. 发明授权

KR101042587B1 원료의 기화 공급 장치 및 이것에 이용하는 자동 압력 조정장치 有权
标题翻译：材料蒸发器/供应商及其使用的自动压力调节器
公开(公告)号：KR101042587B1
公开(公告)日：2011-06-20
申请号：KR1020087027489
申请日：2007-06-13
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 히라타카오루 , 나가세마사아키 , 히다카아츠시 , 마츠모토아츠시 , 도히료우스케 , 니시노코우지 , 이케다노부카즈
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/455
CPC分类号： C23C16/4481 , C23C16/52 , G05D16/2013 , Y10T137/7737
摘要： 본 발명은 MODVC법에 의한 반도체 제조에 사용하는 원료 기화 공급 장치의 구조의 간소화와 소형화를 꾀함과 아울러, 원료의 프로세스 챔버에의 공급량을 고정밀도로 제어함으로써 반도체의 품질의 안정화와 품질의 향상을 꾀한다.
본 발명의 원료의 기화 공급 장치는 원료를 저류한 소스 탱크와, 캐리어 가스 공급원으로부터 일정 유량의 캐리어 가스를 유량 조정하면서 상기 소스 탱크의 원료 중에 공급하는 유량 제어 장치와, 소스 탱크의 상부 공간에 저류된 원료의 증기(G
4 )와 캐리어 가스(G
1 )의 혼합 가스(Go)를 도출하는 1차 배관로와, 상기 1차 배관로의 혼합 가스(Go)의 압력 및 온도의 검출값에 기초해서 1차 배관로의 말단에 끼워 설치한 컨트롤 밸브의 개방도를 조정하고, 혼합 가스(Go)가 유통되는 통로 단면적을 조정함으로써 소스 탱크 내의 혼합 가스(Go)의 압력을 일정값으로 유지하는 자동 압력 조정 장치와, 상기 소스 탱크 및 자동 압력 조정 장치의 연산 제어부를 제외한 부분을 설정 온도로 가열하는 항온 가열부로 이루어지고, 소스 탱크 내의 내압을 소망의 압력으로 � �어하면서 프로세스 챔버에 혼합 가스(Go)를 공급하는 구성으로 한다.
기화 공급 장치

72. 发明授权

KR101032034B1 압전소자 구동식 금속 다이어프램형 제어 밸브 有权
公开(公告)号：KR101032034B1
公开(公告)日：2011-05-02
申请号：KR1020107012259
申请日：2006-11-13
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 마츠모토아츠시 , 히라타카오루 , 도히료우스케 , 이케다노부카즈 , 니시노코우지
IPC分类号： F16K31/02 , F16K7/14
CPC分类号： F16K24/04 , F16K7/14 , F16K31/004 , F16K31/007 , F16K51/02
摘要： 고온 환경하에 있어서도 고정밀도의 안정된 유량 제어를 행함과 아울러 제어 밸브 자체를 분해하지 않고 압전소자에 가해지는 압축력을 조정할 수 있도록 한다.
구체적으로는, 밸브 챔버(7a') 및 밸브 시트(7c)를 형성한 바디(7)와, 밸브 챔버(7a') 내에 배치되고 밸브 시트(7c)에 접촉·분리되는 금속 다이어프램(8)과, 바디(7)측으로 고정된 액츄에이터 박스(10)와, 액츄에이터 박스(10) 내에 배치되고 전압의 인가에 의해 하방으로 신장되어 다이어프램 누름부(12)를 통해 금속 다이어프램(8)을 누르는 압전소자(13)와, 금속 다이어프램(8)이 밸브 시트(7c)에 접촉되었을 때에 압전소자(13)의 신장을 흡수함과 아울러 밸브 시트(7c) 등에 소정의 압박력을 인가하는 접시스프링 기구(14)와, 압전소자(13)에 상시 상향의 압축력을 가함과 아울러 압전소자(13)에 가해지는 압축력을 외부로부터 조정 가능한 예압 기구(21)로 구성한다.

73. 发明授权

KR101001194B1 노말 오픈형의 압전소자 구동식 금속 다이어프램형 제어밸브 有权
标题翻译：由压电元件驱动的正常开启的金属膜片控制阀
公开(公告)号：KR101001194B1
公开(公告)日：2010-12-17
申请号：KR1020087014479
申请日：2006-11-13
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 마츠모토아츠시 , 히라타카오루 , 도히료우스케 , 이케다노부카즈 , 니시노코우지
IPC分类号： F16K31/02 , F16K7/14
CPC分类号： F16K24/04 , F16K7/14 , F16K31/004 , F16K31/007 , F16K51/02
摘要： 고온 환경하에 있어서도 고정밀도의 안정된 유량 제어를 행함과 아울러 제어 밸브 자체를 분해하지 않고 압전소자에 가해지는 압축력을 조정할 수 있도록 한다.
구체적으로는, 밸브 챔버(7a') 및 밸브 시트(7c)를 형성한 바디(7)와, 밸브 챔버(7a') 내에 배치되고 밸브 시트(7c)에 접촉·분리되는 금속 다이어프램(8)과, 바디(7)측으로 고정된 액츄에이터 박스(10)와, 액츄에이터 박스(10) 내에 배치되고 전압의 인가에 의해 하방으로 신장되어 다이어프램 누름부(12)를 통해 금속 다이어프램(8)을 누르는 압전소자(13)와, 금속 다이어프램(8)이 밸브 시트(7c)에 접촉되었을 때에 압전소자(13)의 신장을 흡수함과 아울러 밸브 시트(7c) 등에 소정의 압박력을 인가하는 접시스프링 기구(14)와, 압전소자(13)에 상시 상향의 압축력을 가함과 아울러 압전소자(13)에 가해지는 압축력을 외부로부터 조정 가능한 예압 기구(21)로 구성한다.
노말 오픈형의 압전소자 구동식 금속 다이어프램형 제어 밸브

74. 发明公开

KR1020100115815A 유량 자기 진단 기능을 구비한 압력식 유량 제어 장치의 압력 제어 밸브용 구동 회로 有权
标题翻译：压力型流量控制装置的压力控制阀驱动电路流量自动诊断功能
公开(公告)号：KR1020100115815A
公开(公告)日：2010-10-28
申请号：KR1020107021434
申请日：2009-02-18
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 스기타카츠유키 , 이케다노부카즈 , 니시노코우지 , 도히료우스케 , 히라타카오루 , 나카타니타카토시
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7762
摘要： 본 발명은 유량 자기 진단 기능을 구비한 압력식 유량 제어 장치의 압력 제어 밸브용 피에조 소자 구동 회로(5)에 있어서 제어부의 구동 회로와 병렬로 제어 밸브를 고속 폐지시키기 위한 폐지 회로(8)를 설치하고, 유량 자기 진단시에 있어서의 밸브의 폐지 시간 지연을 적게 함으로써 유량 자기 진단시에 고정밀도의 진단 결과가 얻어지도록 한다.

75. 发明公开

KR1020100102202A 솔레노이드 밸브 有权
标题翻译：电磁阀
公开(公告)号：KR1020100102202A
公开(公告)日：2010-09-20
申请号：KR1020107017464
申请日：2009-03-26
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 고쿠리츠 다이가쿠 호진 도호쿠 다이가쿠
发明人： 오미타다히로 , 니시노코우지 , 타니가와츠요시 , 야마지미치오 , 이케다노부카즈 , 도히료우스케
IPC分类号： F16K31/06 , H01F7/16
CPC分类号： F16K31/0658 , F16K31/0675 , H01F7/1816 , H01F2007/1822
摘要： 구동하는 전용 전원을 소형화하고 공간 절약화를 도모한 솔레노이드 밸브를 제공한다. 저직류 내부 저항 및 저등가 직렬 저항을 갖는 전기 이중층 커패시터를 동력 전원으로 하는 것을 특징으로 하는 순시 개폐 가능한 솔레노이드 밸브를 제공한다. 전기 이중층 커패시터는 단일 셀의 전기 특성이 정전 용량 1∼5F이고, 정격 전압 2.1∼2.7V이고, 직류 내부 저항 0.01∼0.1Ω이고, 또한 1㎑에서의 등가 직렬 저항 0.03∼0.09Ω이며, 비표면적이 1∼500㎡/g의 글래시 카본으로 이루어지는 분극성 전극을 구비한다.
摘要翻译：提供一种用于减小用于驱动和节省空间的专用电源的尺寸的电磁阀。提供了一种能够瞬时打开和关闭的电磁阀，其特征在于，使用具有低直流内阻和低等效串联电阻的双电层电容器作为电源。一种双电层电容器是电源故障，一个单电池1〜5F容量，额定电压2.1〜2.7V的电特性，和直流内部电阻0.01〜0.1Ω，并且在1㎑也0.03〜0.09Ω的等效串联电阻，比表面积并且由冰晶碳制成的可极化电极为1至500m 2 / g。

76. 发明公开

KR1020090018647A 캠식 밸브 有权
标题翻译：凸轮阀
公开(公告)号：KR1020090018647A
公开(公告)日：2009-02-20
申请号：KR1020087030781
申请日：2007-08-21
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 도히료우스케 , 니시노코우지 , 이케다노부카즈 , 사와다요헤이
IPC分类号： F16K31/524 , F16K31/04 , F16K41/10 , F16K7/16
CPC分类号： F16K31/04 , F16K7/16 , F16K31/52491
摘要： A cam valve in which a zero point adjustment of the valve is simply and easily made by finely vertically adjusting an actuator made up of a stepping motor and a cam mechanism. In the cam valve (1) of a stepping motor drive type, a stem (7) is vertically movably installed in a body (2) having an inflow path (2a), an outflow path (2b), a valve chamber (2c), and a valve seat (2d). The stem (7) is lowered by the actuator composed of the stepping motor (9) provided above the stem (7) and of the cam mechanism (10) for converting the rotational motion of the stepping motor (9) into linear motion and transmitting it to the stem (7). This causes a diaphragm (3) placed in the valve chamber (2c) or a valve body (30) placed at the lower end of the stem (7) to be in contact with the valve seat (2d). A lifting support mechanism (11) for liftably supporting the actuator is provided on a bonnet (5) covering the valve chamber (2c) of the body (2), and the lifting support mechanism (11) is provided with a fine height adjustment mechanism (12) for performing a fine adjustment of the height of the actuator relative to the stem (7).
摘要翻译：一种凸轮阀，其中通过精细垂直调节由步进电机和凸轮机构构成的致动器简单且容易地制造阀的零点调节。在步进电机驱动型的凸轮阀（1）中，杆（7）可上下移动地安装在具有流入路径（2a），流出路径（2b），阀室（2c）的主体（2），以及阀座（2d）。杆（7）由设置在杆（7）上方的步进电动机（9）和凸轮机构（10）所构成的致动器下降，用于将步进电动机（9）的旋转运动转换为直线运动并传递它到茎（7）。这使得放置在阀室（2c）中的隔膜（3）或放置在阀杆（7）的下端处的阀体（30）与阀座（2d）接触。在覆盖主体（2）的阀室（2c）的发动机罩（5）上设置有用于可升降地支撑致动器的升降支撑机构（11），并且提升支撑机构（11）设置有精细的高度调节机构（12），用于执行致动器相对于杆（7）的高度的微调。

77. 发明授权

KR100820653B1 내식 금속제 유체용 센서 및 이것을 이용한 유체 공급 기기 失效
标题翻译：使用相同的防静电金属和流体供应装置的流体传感器
公开(公告)号：KR100820653B1
公开(公告)日：2008-04-11
申请号：KR1020067016133
申请日：2005-01-13
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 히라타카오루 , 이케다노부카주 , 니시노코우지 , 도히료우수케
IPC分类号： G01F1/684 , G01F1/692 , G01F1/696 , G01L19/00
CPC分类号： G01L19/0023 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , Y10T137/7761
摘要： 본 발명은, 열식 질량 유량 센서의 내식성을 높임과 아울러, 압력변동에 대한 측정 정밀도의 안정화, 응답성의 향상, 파티클 프리, 제품 품질의 불균형의 방지 및 압력측정 등을 가능하게 한 내식 금속제 유체용 센서와, 이것을 이용한 유체 공급 기기를 제공하는 것이다. 구체적으로는, 본 발명의 내식 금속제 유체용 센서는, 내식성 금속 기판(2)과, 그 내식성 금속 기판(2)의 유체 접촉 표면의 이면측에 설치한 온도센서(3a)와 가열용 히터(3b)를 형성하는 박막으로 이루어지는 질량 유량 센서부(1)와, 내식성 금속 기판(2)의 유체 접촉 표면의 이면측에 설치한 변형 센서 소자(4a)를 형성하는 박막으로 이루어지는 압력 센서부(4)를 구비하고, 유체의 질량 유량 및 압력을 계측하도록 구성되어 있다.

78. 发明公开

KR1020080025415A 압력 센서를 보유하는 유량 제어 장치를 이용한 유체공급계의 이상 검출 방법 有权
标题翻译：检测流体供应系统异常的方法，使用具有压力传感器的流速控制装置
公开(公告)号：KR1020080025415A
公开(公告)日：2008-03-20
申请号：KR1020087002907
申请日：2006-08-28
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 나가세마사키 , 도히료스케 , 이케다노부카즈 , 니시노코우지 , 히라타카오루 , 스기타카츠유키 , 마츠모토아츠시
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G01F1/42 , F16K37/0091 , G05D7/0635
摘要： Abnormalities such as operational malfunction and seat leakage of valves assembled in a fluid supply system using a flow rate control device can be simply, quickly, and accurately checked without removing them from a pile line of the fluid supply system with the use of a function of the flow rate control device having a pressure sensor. In the fluid supply system having the flow rate control device provided with the pressure sensor that has a flow rate setting mechanism, and a flow rate/pressure display mechanism and/or a flow rate self-diagnosis mechanism, an abnormality of the flow rate control device and a control device on the upstream side or downstream side of the flow rate control device is detected using a pressure display value of the flow rate control device and/or a diagnosis value of the flow rate self-diagnosis mechanism. ® KIPO & WIPO 2008
摘要翻译：使用流量控制装置组装在流体供应系统中的阀的操作故障和阀座泄漏等异常可以简单，快速和准确地检查，而不会从流体供应系统的桩线中移除它们，流量控制装置具有压力传感器。在具有设置有具有流量设定机构的压力传感器和流量/压力显示机构和/或流量自诊断机构的流量控制装置的流体供给系统中，流量控制的异常使用流量控制装置的压力显示值和/或流量自诊断机构的诊断值来检测流量控制装置的上游侧或下游侧的装置和控制装置。 ®KIPO＆WIPO 2008

79. 发明授权

KR100686595B1 유체통로의 폐쇄방법과 이것에 이용하는 워터 해머리스밸브장치 有权
标题翻译：关闭流体通道的方法和无水阀
公开(公告)号：KR100686595B1
公开(公告)日：2007-02-26
申请号：KR1020067013154
申请日：2003-12-18
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 이케다노부카주 , 니시노코우지 , 나가세마사아키 , 도히료스케 , 니시무라류타로
IPC分类号： G05D16/02
CPC分类号： F16K47/02 , F16K47/023 , F16L55/043 , Y10T137/0324 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/86389 , Y10T137/86461
摘要： 매우 간단한 장치나 조작에 의해, 워터 해머가 발생되는 일없이, 또한 단시간내에 유체통로를 긴급폐쇄할 수 있도록 한다.
그것을 위해서, 유체통로에 개재된 액추에이터 작동식 밸브와 액추에이터 작동식 밸브에 2단계상의 액추에이터 작동압(Pa)을 공급하는 전공변환장치와, 상기 액추에이터 작동식 밸브의 상류측 관로에 착탈가능하게 부착한 진동센서와, 진동센서에 의해 검출한 진동검출신호(Pr)가 입력됨과 아울러 전공변환장치에 상기 2단계상의 액추에이터 작동압(Pa)의 스텝작동압(Ps')의 크기를 제어하는 제어신호(Sc)를 출력하고, 상기 제어신호(Sc)의 조정에 의해 전공변환장치로부터 진동검출신호(Pr)가 대략 0이 되는 스텝작동압(Ps')의 2단계상의 액추에이터 작동압(Pa)을 출력시키는 튜닝박스로 워터 해머리스 폐쇄장치를 구성한다.

80. 发明授权

KR100625071B1 유체통로의 폐쇄방법과 이것에 이용하는 워터 해머리스 폐쇄장치 有权
标题翻译：用于封闭流体通道的方法和水无缝闭合装置
公开(公告)号：KR100625071B1
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：KR1020047019218
申请日：2003-12-18
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 이케다노부카주 , 니시노코우지 , 나가세마사아키 , 도히료스케 , 니시무라류타로
IPC分类号： G05D16/02
CPC分类号： F16K47/02 , F16K47/023 , F16L55/043 , Y10T137/0324 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/86389 , Y10T137/86461
摘要： 매우 간단한 장치나 조작에 의해, 워터 해머가 발생되는 일없이, 또한 단시간내에 유체통로를 긴급폐쇄할 수 있도록 한다.
그것을 위해서, 유체통로에 개재된 액추에이터 작동식 밸브와 액추에이터 작동식 밸브에 2단계상의 액추에이터 작동압(Pa)을 공급하는 전공변환장치와, 상기 액추에이터 작동식 밸브의 상류측 관로에 착탈가능하게 부착한 진동센서와, 진동센서에 의해 검출한 진동검출신호(Pr)가 입력됨과 아울러 전공변환장치에 상기 2단계상의 액추에이터 작동압(Pa)의 스텝작동압(Ps')의 크기를 제어하는 제어신호(Sc)를 출력하고, 상기 제어신호(Sc)의 조정에 의해 전공변환장치로부터 진동검출신호(Pr)가 대략 0이 되는 스텝작동압(Ps')의 2단계상의 액추에이터 작동압(Pa)을 출력시키는 튜닝박스로 워터 해머리스 폐쇄장치를 구성한다.

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